7. Bố cục của luận án
1.5 Kết luận chươn g1
Chương này đã trình bày tổng quan những vẫn đề liên quan đến hai bộ vi chấp hành tĩnh điện răng lược và điện nhiệt dạng chữ V. Thông qua việc tổng hợp, phân tích và đánh giá các ưu và nhược điểm của các công trình đã công bố, luận án đã xác định được các vấn đề còn tồn tại để tập trung nghiên cứu làm rõ. Các vấn đề đó là:
- Xây dựng hệ thống công thức tính các đại lượng động lực học quy đổi như độ cứng, khối lượng và cản của không khí tổng quát có thể dùng chung cho hai bộ vi chấp hành tĩnh điện răng lược và điện nhiệt chữ V. Xác định tần số tới hạn theo điều kiện ổn định chuyển vị và khảo sát ảnh hưởng của kích thước dầm đến hệ số phẩm chất cho từng bộ vi chấp hành tĩnh điện răng lược và điện nhiệt chữ V.
- Xác định mối quan hệ giữa điện áp và độ cứng nhỏ nhất để tránh hiện tượng chập cho vi chấp hành tĩnh điện răng lược hình thang cân.
- Xác định các điện áp giới hạn đảm bảo điều kiện an toàn nhiệt và ổn định dọc dầm cho vi chấp hành điện nhiệt chữ V.
- Tối ưu kích thước dầm để vi chấp hành điện nhiệt chữ V đạt chuyển vị tĩnh lớn nhất đồng thời đảm bảo điều kiện an toàn nhiệt và ổn định cơ.
26
Chương 2 NGHIÊN CỨU ĐÁNH GIÁ CHẤT LƯỢNG LÀM VIỆC CỦA VI CHẤP HÀNH TĨNH ĐIỆN RĂNG LƯỢC
Chương này sẽ xây dựng mô hình động lực học tương đương cho vi chấp hành tĩnh điện răng lược dựa trên các tham số động lực học quy đổi như độ cứng, khối lượng và cản không khí. Trên cơ sở đó, tần số tới hạn theo điều kiện ổn định chuyển vị của vi chấp hành tĩnh điện răng lược được xác định theo hai dạng phổ biến của điện áp dẫn là xung vuông và xung hình sin. Dựa trên lý thuyết tĩnh điện, công thức tính lực tĩnh điện cho vi chấp hành răng lược hình thang cân được thiết lập và khảo sát, qua đó xác định điều kiện tránh hiện tượng chập bản tụ.