Hình 2.8 là sơ đồ nguyên lý đo phổ truyền qua và phổ phản xạ của quang phổ kế JΛSCO -V 530 - VV/ VIS (Hình 2.9) hoặc CARRY- 2000. Tuỳ thuộc vùng phổ khảo sát, một trong hai nguồn sáng được dùng là đèn có phổ liên tục với bước sóng trong vùng khả kiến và hồng ngoại gần hay trong vùng hồng ngoại xa.
Mẫu đo Cách tử nhiễu xạ Mẫu chuẩn CPU ROM, RAM Detector Đơn sắc Bộ lọc Đèn D2 Gương A/D Đèn WI
Hình 2.8
Sơ đồ nguyên lý đo phổ truyền qua và phổ phản xạ
Hình 2.9.
Hệ đo phổ truyền qua UV/VIS-NIR Jasco V570
Chùm sáng với phổ liên tục từ đèn được phản xạ trên gương M tới thiết bị lọc sắc. Sau khi qua thiết bị lọc sắc chùm sáng tới cách tử. Thiết bị lọc sắc F và cách tử G tạo ra tia với độ đơn sắc nhất định. Tia này phản xạ tới gương bán mạ, một phần truyền qua gương, phần còn lại phản xạ được đưa đến mẫu chuẩn R và mẫu đo S. Trong phép đo độ truyền qua, một tia truyền qua mẫu rồi tới detector, chùm kia truyền qua mẫu chuẩn (đế thuỷ tinh chưa có màng) rồi tới detector. Các detector D là cùng một loại photodiode Silic. Trong phép đo độ phản xạ, các chùm tia được phản xạ tương ứng trên mẫu và trên mẫu chuẩn. Trong trường hợp này mẫu chuẩn được dùng là một gương có độ phản xạ cao (gương mạ nhôm hoặc mạ vàng). Các tín hiệu quang từ hai chùm tia được biến đổi thành tín hiệu điện nhờ các detector và được so sánh để cho độ truyền qua hoặc độ phản xạ tương ứng với phép đo tại mỗi bước sóng trong vùng phổ khảo sát nhờ máy tính.
Kết luận
Các phương pháp nghiên cứu hiện đại đã được áp dụng để nghiên cứu tính chất của màng mỏng, góp phần tìm ra điều kiện công nghệ tối ưu và hoàn thiện phương pháp công nghệ cho từng loại màng mỏng ôxit vanađi. Đồng thời nghiên cứu đặc trưng tính chất của chúng dưới tác dụng của điện trường, nhiệt độ và chất khí, thông qua đó nhằm phát hiện, thiết kế mô hình và chế tạo linh kiện thử nghiệm ứng dụng vào thực tiễn. Chi tiết các vấn đề này sẽ được trình bày ở các chương tiếp theo.
CHƯƠNG 3
KHẢO SÁT CẤU TRÚC TINH THỂ, TÍNH CHẤT QUANG VÀ KHẢ NĂNG ỨNG DỤNG CỦA MÀNG MỎNG VO2
CHẾ TẠO BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHUN ÁP SUẤT
Trong chương này, chúng tôi trình bày kết quả nghiên cứu về công nghệ chế tạo màng VO2, cấu trúc, tính chất điện và tính chất quang - nhiệt sắc của chúng. Các kết quả khảo sát cấu trúc tinh thể, hình thái học và các tính chất của màng VO2 được thực hiện trên các thiết bị trường Đại sư phạm Hà nội, trường Đại học khoa học Tự nhiên, trường Đại học Công nghệ, ĐHQG Hà Nội và các cơ sở khoa học trong nước như Viện KHVL, Viện HLKH&CN Việt Nam.