Quy hoạch sử dụng đất huyện Từ Liêm (cũ) đến năm 2020, kế hoạch sử dụng đất kỳ đầu 2011-2015 được UBND thành phố Hà Nội phê duyệt tại Quyết định số 34/QĐ-UBND ngày 02/01/2014, theo đó các chỉ tiêu sử dụng đất đã được tính toán để phục vụ các yêu cầu của quận mới thành lập nhằm phát huy tối đa các nguồn lực, sử dụng đất đai một cách hiệu quả, tiết kiệm, bảo vệ môi trường.
Thực hiện Nghị quyết số 132/NQ-CP của Chính phủ ngày 27/12/2013 về việc điều chỉnh địa giới hành chính huyện Từ Liêm để thành lập 02 quận và 23 phường thuộc thành phố Hà Nội
Thành lập quận Nam Từ Liêm trên cơ sở toàn bộ diện tích tự nhiên và dân số của các xã: Mễ Trì, Mỹ Đình, Trung Văn, Tây Mỗ, Đại Mỗ; một phần diện tích tự nhiên và dân số của xã Xuân Phương (536,34 ha và 34.052 nhân khẩu phần phía Nam quốc lộ 32); một phần diện tích tự nhiên và dân số của thị trấn Cầu Diễn (137,75 ha và 23.279 nhân khẩu phần phía Nam quốc lộ 32 và phía Đông sông Nhuệ). Quận Nam Từ Liêm có 3.219,27 ha diện tích tự nhiên và 232.894 nhân khẩu. Thực hiện chỉ đạo tại Công văn số 2920/UBND-TNMT ngày 24/4/2014 của UBND thành phố Hà Nội về việc tổ chức lập và điều chỉnh quy hoạch sử dụng đất đến năm 2020 quận Bắc Từ Liêm và Nam Từ Liêm. UBND quận Nam Từ Liêm đã xây dựng phương án “Tách, điều chỉnh quy hoạch đến năm 2020, Hà Nội- kế hoạch sử dụng đất 5 năm kỳ đầu 2011 – 2015 quận Nam Từ Liêm, thành phố”.