L ỜI CẢM ƠN
3. Đối tượng và phạm vi nghiên cứu của luận án
2.6 Kết luận chươn g2
Nội dung chính của chương này tập trung xây dựng các công thức tính đại lượng
động lực học tương đương, khảo sát chuyển vị của vi chấp hành tĩnh điện răng lược hình chữ nhật theo tần số của điện áp, xây dựng công thức tính lực và xác định điều kiện ổn định cho vi chấp hành tĩnh điện răng lược hình thang cân. Một số kết quả
chính của chương bao gồm:
Các công thức tính độ cứng (2.38), khối lượng (2.44) và cản không khí quy đổi (2.62) trong mô hình động lực học tương đương (2.18) đã được thiết lập. Mô hình này có thể
áp dụng cho hệ dầm thẳng hai đầu ngàm (vi chấp hành tĩnh điện răng lược) và dầm nghiêng dạng chữ V (vi chấp hành điện nhiệt chữ V) nhằm nâng cao độ chính xác khi tính toán chuyển vị.
62 chuyển vị của một bộ vi chấp hành tĩnh điện răng lược hình chữ nhật đã được xác định trong trường hợp điện áp dẫn dạng xung vuông (23,8Hz) và xung hình sin (1kHz). Kết quả này là một gợi ý cho việc lựa chọn dạng điện áp dẫn và tính toán tối ưu kết cấu đểtăng dải tần số làm việc của vi chấp hành cũng như hệ thống.
Công thức tính lực tĩnh điện, điều kiện lựa chọn góc nghiêng bề mặt răng hợp lý và
điều kiện tránh hiện tượng chập bản tụ cho vi chấp hành tĩnh điện răng lược hình thang cân đã được xây dựng một cách có hệ thống. Kết quả này cung cấp các công thức lý thuyết cho người thiết kế có thể dễ dàng tính toán và nâng cao một số chỉ tiêu chất
lượng cho vi chấp hành như lực, chuyển vị, độ an toàn khi làm việc.
Từ các kết quả nghiên cứu này, tác giả cùng nhóm nghiên cứu đã công bố được một bài báo trong nước bằng tiếng Anh trên tạp chí VJM và một bài báo trên tạp chí quốc tế thuộc danh mục ISI (IF2019 = 1,737) (lần lượt tương ứng với bài báo số 1 và số 2 trong danh mục các công trình).
63
Chương 3 NGHIÊN CỨU ĐÁNH GIÁ CHẤT LƯỢNG LÀM VIỆC
CỦA VI CHẤP HÀNH ĐIỆN NHIỆT CHỮ V
Trong trường hợp một số hệvi cơ (thiết bị kiểm bền vật liệu nano, vi tay gắp, vi mô tơ quay) cần lực dẫn động lớn, điện áp dẫn thấp và không yêu cầu đáp ứng nhanh, vi chấp hành điện nhiệt chữ V có thểđược lựa chọn để thay thế cho vi chấp hành tĩnh điện răng lược. Để có thể nghiên cứu sâu hơn các vấn đềliên quan đến vi chấp hành
điện nhiệt chữ V, chương 3 sẽ xây dựng mô hình toán điện-nhiệt-cơ dựa trên phương
pháp sai phân hữu hạn. Trên cơ sởđó, phương pháp xác định tần số tới hạn theo điều kiện ổn định chuyển vị cho trường hợp điện áp xung vuông sẽ được đề xuất, ảnh
hưởng của kích thước dầm đến tần số tới hạn và hệ số phẩm chất Qcũng được khảo
sát và đánh giá.