(EDX)
Là một loại kính hiển vi điện tử có thể tạo ra ảnh với độ phân giải cao của bề mặt mẫu vật bằng cách sử dụng một chùm điện tử hẹp quét trên bề mặt mẫu.
Nguyên tắc: Hiển vi điện tử quét (SEM) tạo ra hình ảnh bằng electron thứ cấp phát xạ
từ bề mặt mẫu do chùm sóng electron ban đầu đập vào. Trong phương pháp này, chùm electron nhỏ được quét ngang qua mẫu, đồng thời tín hiệu sinh ra được thu nhận và hình ảnh sẽ được thể hiện lại bằng cách ánh xạ tín hiệu với vị trí của sóng theo từng điểm một. Tín hiệu được quan sát trên cùng vị trí của mẫu khi chùm electron đến. Hiển vi điện tử quét được sử dụng khá phổ biến vì có thể thu được những bức ảnh ba chiều có chất lượng cao, có sự rõ nét hơn và không đòi hỏi phức tạp trong khâu chuẩn bị mẫu. Phương pháp này đặc biệt hữu dụng vì cho độ phóng đại có thể thay đổi từ 10 đến 100.000 lần với hình ảnh rõ nét, hiển thị ba chiều phù hợp cho việc phân tích hình dạng và cấu trúc bề mặt.
Phổ tán xạ tia X (EDX) được sử dụng kết hợp với SEM để phân tích vi cấu trúc cung cấp thông tin về thành phần các nguyên tố của điểm đang quan sát SEM. Kỹ thuật này không phá hủy mẫu và có độ nhạy 0,1% đối với các nguyên tố nặng hơn cacbon. Người ta đặt mẫu dưới chùm tia electron, chùm tia electron này sẽ kích thích những nguyên tử ở trong mẫu làm cho mẫu phát ra tia X để giải phóng năng lượng dư. Chính năng lượng của tia X là đặc trưng của nguyên tử phát ra nó dẫn đến sự hình thành một pic trên phổ đồ EDX.
Thực nghiệm: Nhờ khả năng phóng đại và tạo hình ảnh rõ nét và chi tiết cho phép kính
hiển vi điện tử quét sử dụng để nghiên cứu bề mặt, kích thước, và hình dáng của vật liệu xúc tác, đồng thời dùng để xác định hình dạng cacbon hình thành trong sản phẩm rắn. Ảnh hiển vi điện tử quét được ghi trên máy JEOL 5410 LV tại Khoa Vật lý, ĐH KHTN, ĐHQG Hà Nội.