Sơ đồ nguyên lý của thiết bị hiển vi điện tử truyền qua được trình bày trên hình 2.3. Thiết bị TEM thường được sử dụng để khảo sát hình dạng, kích thước của vật rắn có kích thước nhỏ và thậm chí vi cấu trúc của chúng khi sử dụng thiết bị có độ phân giải cao (HR-TEM). Thiết bị này sử dụng chùm tia điện tử có năng lượng cao và các thấu kính từ để tạo ảnh với độ phóng đại lớn (có thể tới hàng triệu lần). Ảnh TEM có thể được hiển thị trên màn huỳnh quang, phim quang học, hay có thể ghi nhận bằng các máy chụp kỹ thuật số. Độ tương phản trên ảnh TEM chủ yếu phụ thuộc vào khả năng tán xạ điện tử của vật liệu.
Hình 2.3. (a) Sơ đồ nguyên lý của kính hiển vi điện tử truyền qua, (b) Kính hiển vi điện tử truyền qua JEM 1010 đặt tại Viện Vệ sinh Dịch tễ Trung ương.
Các NC chế tạo được ly tâm để loại bỏ các chất dư thừa và sau đó được phân tán trong Toluen. Để thu được các ảnh TEM rõ nét chúng tôi đã tiến hành lấy cỡ 100 μl mẫu ly tâm với tốc độ 15000vòng/phút và sau đó phân tán vào 2 ml Toluene. Ảnh TEM được chụp trên thiết bị JEM1010 (JEOL) tại Viện Vệ sinh dịch tễ Trung ương. Đây là thiết bị sử dụng chùm điện tử được gia tốc ở điện thế 80 KV. Các mẫu chụp ảnh TEM được chuẩn bị bằng cách rỏ dung dịch Toluene chứa các NC Zn1-xCdxS với nồng độ rất nhỏ lên lưới đồng phủ Carbon và để khô. Sau đó ảnh TEM được sử lý bằng phần mềm ImageJ để xác định hình dạng, kích thước trung bình của các NC và dựng giản đồ phân bố kích thước hạt.