4. Phương phỏp nghiờn cứu
2.4. Khảo sỏt đặc tớnh nhạy khớ
Chỳng tụi khảo sỏt đặc tớnh nhạy khớ của cỏc cảm biến được chế tạo với khớ NO2 ở cỏc nhiệt độ, cỏc điện ỏp và lưu lượng khớ khỏc nhau bằng cỏch đo sự thay đổi điện trở của cảm biến, để khảo sỏt và so sỏnh hiệu ứng tự đốt núng self-heating, đồng thời cũng khảo sỏt đặc trưng nhạy khớ với cỏc loại khớ khỏc nhau bằng hiệu ứng tự đốt núng.
Để đo đặc trưng nhạy khớ chỳng tụi sử dụng cỏc khớ chuẩn và cỏc bộ điều khiển lưu lượng khớ để pha trộn khớ tạo ra nồng độ khớ cần đo. Sơ đồ nguyờn lý của
43
Hỡnh 2.17: Sơ đồ nguyờn lý hệ trộn khớ.
Cỏc bộ phận chớnh của hệ đo này gồm cú:
- Bộ điều khiển lưu lượng khớ (MFC): hệ dựng 4 bộ điều khiển lưu lượng khớ để pha trộn khớ nhằm tạo ra nồng độ khớ cần đo.
- Bộ điều khiển nhiệt độ: dựng nguồn điện đốt núng dõy điện trở và tạo ra nhiệt độ cần thiết để cảm biến làm việc. Nhiệt độ tối đa của lũ là 450o C. - Đầu đo: ỏp vào 2 điện cực của điện cực răng lược để đo điện trở của cảm biến, đồng thời ỏp dũng điện hoặc điện ỏp trực tiếp vào cảm biến theo cài đặt. Đầu đo này được nối với mỏy đo Keithley 2602A.
- Phần mềm đo VEE-Pro: cú thể đọc, ghi và hiển thị cỏc giỏ trị cần đo trờn
44
Hỡnh 2.18: Giao diện chương trỡnh VEE-Pro.
Với cảm biến khớ truyền thống cần thiết phải cú lũ nhiệt ngoài để cung cấp nhiệt cho cảm biến hoạt động ở nhiệt độ thớch hợp, cũn với cảm biến khớ sử dụng hiệu ứng tự đốt núng cú thể hoạt động khụng cần lũ nhiệt ngoài mà chỳng hoạt động bằng cỏch ỏp dũng điện hoặc điện ỏp trực tiếp qua dõy nano (ỏp dũng điện hoặc điện
ỏp trực tiếp qua điện cực). Hỡnh 2.18.
Hỡnh 2.19: Mụ hỡnh cảm biến khớ (a) sử dụng hiệu ứng tự đốt núng, (b) sử dụng lũ nhiệt ngoài.
45
Chương 3 – KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN