CHƯƠNG IV: KẾT QUẢ VÀ BÀN LUẬN
4.1.2. Khảo sát sự ảnh hưởng điện trở suất theo khoảng cách bia và đế.
Giữ các thơng số tạo màng như nhiệt độ đế 2000C, áp suất khí làm việc là 3.10-
3torr, tỉ lệ phần trăm nitơ trong hỗn hợp khí là 10%, thế phún xạ là 550V. Thay đổi khoảng cách từ bia đến đế lần lượt là 3,5cm; 4,5cm; 5,5cm để khảo sát điện trở suất của màng.
Hình 4.7. Phổ nhiễu xạ tia X của các màng TiN được chế tạo ởđiều kiện:
Ts = 2000C, h = 4,5cm, P = 3.10-3torr, p = 1,5.10-4torr ÷ 4,5.10-4torr, U = 370V ÷ 640V.
(311) (200) (200)
Bảng 4.6. Điện trở suất của màng TiN thay đổi theo khoảng cách bia đế được chế tạo ởđiều kiện: Ts = 2000C, P = 3.10-3torr , p = 3.10-4torr, U = 550V. Mẫu h(cm) ρ(Ωcm) T74 3,5 6,6.10-5 Q54 4,5 3,9.10-5 T75 5,5 1,3.10-4
Khoảng cách giữa bia và đế cũng là vấn đề quan trọng cần phải khảo sát. Nếu khoảng cách bia đế quá xa thì năng lượng hạt tới khơng đủ để tạo tinh thể tốt, nếu khoảng cách gần thì dịng ion bắn phá sẽ làm tăng sai hỏng. Ở một khoảng cách tốt nhất, sự truyền xung lượng giữa ion và màng sẽ cho hợp thức tốt mà năng lượng bắn phá của ion chưa vượt qua ngưỡng để gây ra sai hỏng trong màng. Khi đĩ, màng hợp thức tốt nhất, điện trở suất của màng thấp nhất.
Từ kết quả trên, chúng tơi chọn và đo nồng độ hạt tải và độ linh động của các
(111
(200
(311
Hình 4.8. Phổ nhiễu xạ tia X của các màng TiN được chế tạo ởđiều kiện: Ts = 2000C, P = 3.10-3torr, p = 3.10-4torr, U = 550V, h = 3,5cm ÷ 5,5cm.
động của hạt tải lớn nhất. Điều đĩ phù hợp với sự lí giải cho mẫu Q54 cĩ điện trở suất thấp nhất. Như vậy, với mỗi hệ phún xạ sẽ tìm được một khoảng cách bia đế tốt nhất để
màng cĩ hợp thức tốt nhất.
Bảng 4.7. Kết quả sự phụ thuộc của điện trở suất độ linh động và nồng độ hạt tải theo khoảng cách giữa bia và đế.
Mẫu Khoảng cách giữa bia và đế (cm) Điện trở suất ρ (μΩ.cm) Độ linh động μ (cm2.V-1.S-1) Nồng độ hạt tải n (cm-3) T75 3,5 129 0,02 24,2.1023 Q54 4,5 39 0,45 3,56.1023 T74 5,5 66 0,25 3,79.1023