PHẦN: THỰC NGHIỆM
3.3. CẤU TẠO HỆ MAGNETRON GẦN CÂN BẰNG.
Đối với màng mỏng TiN trong thời gian gần đây đã cĩ rất nhiều nghiên cứu và chế tạo màng, nhưng với những mục đích ứng dụng khác nhau. Mục đích của chúng tơi trong luận văn này, là tạo màng TiN thay thế cho màng kim loại bạc trong hệ màng đa lớp phản xạ nhiệt. Do đĩ, địi hỏi màng dẫn điện tốt nên phải cĩ cấu trúc bĩ chặt, mật
độ khối cao. Với điều kiện như thế thì quá trình tạo màng cần nhận xung lượng từ dịng ion bắn phá lên màng. Nên chúng tơi đã xây dựng hệ magnetron gần cân bằng theo mục
đích ứng dụng trên. Hệ magnetron gần cân bằng được thiết kếđơn giản ở đĩ từ trường
ở một cực khơng cân bằng với cực kia.
Hệ magnetron gần cân bằng trong luận văn này cĩ kích thước cụ thể như sau: • Vỏ ngồi làm bằng inox được nối đất cĩ chức năng làm giá đỡ và làm anode.
Kích thước của vỏ 119 x 119 x 51 mm.
• Vỏ trong làm bằng inox được nối âm cực cĩ chức năng định vị nam châm và làm cathode.
• Áo nước làm lạnh bia được chế tạo bằng đồng, bao gồm một tấm đồng kích thước 110 x 110 x 5 mm và một hộp rổng hình chữ nhật được hàn vào tấm đồng. Ngồi ra để tăng khả năng giải nhiệt, giữa hộp rổng được hàn thêm những lá
đồng.(hình 3.5)
• Từ trường được tạo bằng loại nam châm vĩnh cửu Ferit, cường độ từ trường khoảng 600 Gauss. Hệ nam châm được xếp liền nhau tạo thành một khung hình vuơng và giữa khung này đặt nam châm đối cực với các nam châm bên ngồi. Hệ
nam châm này được xếp sao cho phần lớn đường sức từ trường cĩ hướng song song bề mặt bia.
Độ cao của nam châm: 2,5 cm
Chiều ngang thanh nam châm ngồi: 2cm Chiều dài thanh nam châm ngồi: 11cm
Chiều ngang và chiều dài thanh nam châm trong: 2,6 cm
Khoảng cách giữa thanh nam châm trong và ngồi bằng độ rộng của áo nước giải nhiệt: 2,2 cm
3.4. HỆ CHÂN KHƠNG TẠO MÀNG.
Màng TiN được tạo trong hệ chân khơng đặt tại phịng vật lý chân khơng, hệ thiết bị
này gồm cĩ các thơng số:
• Kích thước của hệ 1130 x 800 x1880(mm). • Trọng lượng 480 kg.
• Buồng chân khơng làm bằng Inox cĩ thơng số như hình vẽ. • Áp suất trong buồng cĩ thểđạt tới 10-4torr.