SEM)
Các mẫu vải sẽ được quan sát bằng kính hiển vi điện tử quét tại Viện vật lý kỹ thuật Trường Đại học Bách Khoa Hà Nội.
Kính hiển vi điện tử quét là thiết bị có khả năng quan sát bề mặt của mẫu vật, bao gồm: súng điện tử, tụ kính, buồng tiêu bản, hệ thống đầu dò điện tử, hệ thống khuếch đại – máy tính và màn hình để quan sát ảnh. Chùm điện tử xuất phát từ súng điện tử đi qua tụ kính, rồi vật kính, sau đó chùm tia hộ tụ và quét trên toàn bộ bề mặt của mẫu, sự tương tác của chùm điện tử tới với bề mặt mẫu tạo ra các tia khác nhau(điện tử thứ cấp, điện tử tán xạ ngược, điện tử Auger, tia huỳnh quang calot, tia X đặc trưng…). Hình ảnh hiển vi điện tử quét được phản ảnh lại bởi các điện tử thư cấp và điện tử tán xạ ngược thu được nhờ các đầu dò gắn bên sườn của kính. Tia X đặc trưng có khả năng phản ánh thành phần nguyên tố trong mẫu phân tích nhờ bộ phận phân tích phổ tán sắc năng lượng tia X (EDS – Energy Dispersive X – ray Spectroscopy).
Cấu tạo chính của SEM gồm cột kính (súng điện tử, tụ kính, vật kính), buồng mẫu và đầu dò tín hiệu điện tử. Cột kính có chân không cao, áp suất 10-5 - 10-6 Torr đối với SEM thông thường và 10-8 – 10-9 Torr đối với SEM có độ phân giải cao (FE-SEM). Buồng mẫu có thể nằm ở hai chế độ chân không cao hoặc thấp, Hệ thống bơm chân không, hệ thống điện, điện tử, hệ thống điều khiển và xử lý tín hiệu là những bộ phận đảm bảo cho sự làm việc liên tục của SEM. Đặc trưng của SEM là các thông số: độ phóng đại M, Độ phân giải và điện áp gia tốc U.
Dưới đây là hình ảnh kính hiển vi điện tử quét phân giải cao tại phòng thí nghiệm Viện Vật Lý kỹ thuật trường Đại Học Bách Khoa Hà Nội.
Nguyễn Thị Thu Hường 50 Khóa học 2013 - 2015
Hình 2.6: Máy chụp SEM (FEI QUANTA 200)