Kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường (Field Emission Scanning Electron Microscope) là một công cụ quan trọng để nghiên cứu hình thái bề mặt của mẫu,
Luận văn tốt nghiệp đại học
SVTH: Vũ Thị Hằng 2102243 20
dựa trên hiện tượng phát xạ các điện tử thứ cấp khi mẫu tương tác với điện tử có năng lượng cao. Chùm điện tử đi qua các thấu kính điện từ tiêu tụ lại thành một điểm rất nhỏ chiếu lên bề mặt mẫu cần nghiên cứu. Do đặc trưng lồi lõm của mẫu mà điện tử thứ cấp phát ra mạnh ở chỗ mặt mẫu lồi và phát ra yếu hơn ở chỗ mặt mẫu lõm. Bố trí cho chùm điện tử quét trên bề mặt mẫu và đồng thời cho tia điện tử ở đ n hình quét trên màn hình, cách quét của chùm tia điện tử trên màn hình rất đồng bộ với cách quét với cách quét của tia điện tử trên mẫu, ch có biên độ quét là khác nhau: Ở mẫu biên độ quét là d, còn ở màn hình biên độ quét là D. Bố trí detector thu điện tử thứ cấp, khi chùm tia điện tử quét đến chỗ lồi thì nhiều điện tử thứ cấp phát ra, điểm tương ứng trên màn hình là sáng, khi tia điện tử quét đến chỗ lõm trên mẫu thì ít điện tử thứ cấp phát ra, chỗ tương ứng trên màn hình là tối. Như vậy chỗ sáng tối trên màn hình ứng với chỗ lồi lõm trên bề mặt mẫu. Kích thước ảnh tạo ra trên màn hình lớn gấp D/d kích thước diện tích quét tương ứng trên mẫu, độ phóng đại của ảnh có thể thay đổi nhờ việc thay đổi biên độ quét trên màn hình.
Hình 3.5 Máy chụp ảnh hiển vi điện tử quét phát xạ trường JSM-7600F Các thông số kĩ thuật của máy chụp ảnh FESEM JSM-7600F sử dụng trong luận văn được trình bày ở phụ lục 1.