CHƯƠNG 2 THỰC NGHIỆM 2.1 Phương pháp tổng hợp vật liệu thanh nano ZnO
2.3. Khảo sát tính nhạy khí của SAW
Khảo sát quá trình nhạy khí của cảm biến là tiến hành đo sự thay đổi vận tốc sóng bề mặt.
Để khảo sát đặc tính nhạy khí của vật liệu, ta cần qua tâm đến các thông số sau: tốc độ đáp ứng, thời gian hồi phục, tính ổn định và nhiệt độ làm việc. Trong trường hợp này, trước tiên chúng tôi chọn độ ẩm để kiểm tra khả năng cảm nhận các cảm biến hóa học SAW sử dụng lớp nhạy thanh nano ZnO. Các thử nghiệm thiết lập để đo độ ẩm được thể hiện trong hình 2.8.
Hình 2.8. Hệ thống đo lường độ ẩm netword analyzer
Các môi trường độ ẩm được kiểm soát bằng cách sử dụng dung dịch bão hòa của K2CO3 (khoảng 30% hoặc 50% độ ẩm tương đối (RH)), CuSO4. 5H2O (đối với 70% và 90% RH), và (10% RH) trong buồng kính khép kín ở nhiệt độ dưới 25oC. Việc giám sát của các giá trị độ ẩm tương đối đã được khẳng định bằng việc sử dụng của một ẩm kế. Nhiệt độ hoạt động được theo
dõi bằng một cặp nhiệt điện ion / constantan. Điện áp được đo bằng một máy vạn năng (Line Seiki-tc-700). Phản ứng của các đặc tính truyền dẫn của cảm biến độ ẩm SAW, theo sự thay đổi độ ẩm tương đối, được đo bằng máy phân tích mạng Agilent 8802A trong phạm vi độ ẩm 10-90% ở nhiệt độ phòng (25o
C). Sự thay đổi trong hình thái của màng, cùng với nhiệt độ ủ và độ dày của màng, đã được kiểm tra bằng cách sử dụng FE-SEM.
Trong công trình này chúng tôi còn khảo sát độ nhạy của SAW trên ethanol để xác định xem vật liệu chế tạo có nhạy với khí, cụ thể là alcohol không. Hệ đo được thể hiện qua hình 2.9.
Hình 2.9. Hệ đo khảo sát trên alcohol