Cơ chế khuếch tán là cách thức chuyển động của các nguyên tử bên trong mạng tinh thể. Trong tinh thể bán dẫn thƣờng có ba cơ chế khuếch tán chính là: khuếch tán theo cơ chế nút khuyết, khuếch tán theo cơ chế xen kẽ, và khuếch tán theo cơ chế hỗn hợp. Khi pha tạp hệ số khuếch tán phụ thuộc vào nhiệt độ, nồng độ chất pha tạp,...
Phƣơng pháp khuếch tán nhiệt là phƣơng pháp chủ yếu dùng để tổng hợp vật liệu chất rắn dựa trên cơ chế khuếch tán và sự phụ thuộc nhiệt ccủa hệ số khuếch tán.
Ƣu điểm của phƣơng pháp khuếch tán nhiệt:.
Là phƣơng pháp đơn giản, hiệu quả cao, dễ thực hiện.
Năng lƣợng của các phân tử đƣợc phân bố đều: khi các phân tử va chạm lẫn nhau thì năng lƣợng các phân tử chuyển động nhanh ở vùng nhiệt độ cao hơn sẽ chuyển dần sang cho các phân tử chuyển động chậm hơn ở vùng nhiệt độ thấp hơn.
Nhiệt độ cũng đƣợc phân bố đều: khi các phần khác nhau trong một chất ở nhiệt độ khác nhau sẽ có hiện tƣợng truyền nhiệt từ nơi có nhiệt độ cao sang nhiệt độ thấp hơn.
Lƣợng mẫu thu đƣợc trong một lần chế tạo lớn. Có thể áp dụng cho nhiều loại vật liệu khác nhau.
Giảm thiểu quá trình mất mát do bay hơi, ít ô nhiễm môi trƣờng. Nhƣợc điểm:
Độ sâu lớp khuếch tán phụ thuộc nhiều vào nồng độ, nhiệt độ cũng nhƣ thời gian ủ nhiệt.
Với những ƣu điểm mà các phƣơng pháp trên chƣa có đƣợc nên tôi đã lựa chọn phƣơng pháp này cho đề tài nghiên cứu.
CHƢƠNG 2
THỰC NGHIỆM VÀ PHƢƠNG PHÁP KHẢO SÁT TÍNH CHẤTCỦA VẬT LIỆU