1 Chế tạo các loại mẫu thử như yêu cầu đặt ra
3.2.2.Thiết bị đánh giá tổ chức và tính chất lớp thấm
36
Để quan sát tổ chức tế vi của lớp thấm nitơ, kính hiển vi quang học Axiovert 25A của hãng Carl Zeiss (CHLB Đức ) với độ phóng đại 50, 100 và 500 lần đã được sử dụng (hình 3.5).
Hình 3.6: Máy đo độ cứng Struers Duramin-2
Việc xác định phân bố độ cứng tế vi của lớp thấm được thực hiện trên máy đo độ cứng Struers Duramin-2 (Đan Mạch) với tải trọng 100g (hình 3.6). Cả 2 thiết bị trên đều thuộc phòng thí nghiệm kim loại học và nhiệt luyện, trường ĐHBK Hà Nội.
Thiết bị hiển vi điện tử quét trường bức xạ (FESEM) Model JSM 7600F của hãng Oxford Instrument (Nhật Bản) trên hình (3.7) với một số đặc điểm sau:
Hình 3.7: Hiển vi điện tử quét bức xạ trường (FESEM)
+ Điện thế tăng tốc tối đa: 30kV + Độ phóng đại 25 đến 1.000.000 lần + Độ phân giải cao ~ 2nm
Thiết bị được sử dụng để xác định sự phân bố các nguyên tố trên mặt cắt ngang của mẫu sau thấm (phổ mapping). Ngoài ra, phổ EDX còn được sử dụng để xác định sự tồn tại của các pha cacbit, nitơrit trong tổ chức của lớp thấm. Thiết bị trên thuộc Viện tiên tiến khoa học và công nghệ - ĐHBKHN.
37 Bảng điều khiển
Hộp gá chứa mẫu Tay móc gá
Hình 3.8: Thiết bị nhiễu xạ tia X (D5005)
Để đánh giá sự tồn tại của các pha trong lớp thấm, đề tài đã sử dụng thiết bị phân tích nhiễu xạ X-ray Model D5005 của hãng SIEMENS thuộc Viện Vật lý – ĐHKHTN – Đại học Quốc gia HN (hình 3.8).
Một số đặc trưng thiết bị khi sử dụng: + Anod bằng đồng
+ Góc nhiễu xạ 2: 100 - 700