... ở trong lòng các hạt mà còn ơ biên. Các vật liệu nanomet có điệt trở suất cao hơn rất nhiều và hệ số nhiệt điện trở cao hơn rát nhiều so với các vật liệu khác. Ngoài ra các vật liệu tinh thể ... tăng lên.Hiệu suất phún xạ phụ thuộc vào ion khí trở (cụ thể là Ar+), Ar cho được hiệu suất cao nhất (cột cuối của bảng tuần hoàn(7,8: cột cuối)). Do đó phải cung cấp một năng lượng lớn nhưng ... ra tương tự như hiện tượng phóng điện trong khí kém (áp xuất thấp). Đối với những hạt có bức xạ cao đòi hỏi mức năng lượng trung bình nghóa là phải nhỏ hơn những bức xạ khác.# Ngưởng phún xạ:...