Tài liệu hạn chế xem trước, để xem đầy đủ mời bạn chọn Tải xuống
1
/ 129 trang
THÔNG TIN TÀI LIỆU
Ngày đăng: 11/07/2021, 16:41
Xem thêm:
HÌNH ẢNH LIÊN QUAN
ch
thước và hình dạng hạt (Trang 21)
Hình 1
8 Phương pháp top-down chế tạo SiNWs (Trang 29)
Hình 1
10 Quy trình ăn mòn tạo lớp sợi nano silic theo quy trình 2 bước [114] (Trang 30)
Hình 1
12 Lỗi “cỏ” thường gặp trong quy trình khắc khô vật lý [154-156] Công suất ICP (Trang 34)
Hình 1
13 Sự gia tăng mật độ khuyết tật phụ thuộc vào thời gian phơi sáng (Trang 38)
Hình 1
17 Hệ số hấp thụ theo năng lượng photon của c-Si, a-Si:H và µc-Si:H [178] (Trang 41)
Hình th
ành gốc Silyl bằng cách tách hydro từ silic hydride (Trang 44)
Hình 2
3 Đế được rửa bằng hóa chất (Trang 48)
Hình 2
8 Thiết bị RTA 2.1.3.3 Kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường (FE-SEM) (Trang 51)
Hình 2
11 Đế silic với mặt nạ vàng 3µm (Trang 53)
Hình 2
16 Hệ thống PECVD 2.3.3.2 Hoạt động (Trang 57)
Hình 2
17 Quy trình [B] làm sạch đế silic (Trang 58)
Hình 2
18 Thiết bị phổ kí Raman (Trang 62)
Hình 2
24 Mô hình màng mỏng đa lớp với nhiều mặt tiếp xúc giữa đế và vật liệu màng mỏng, giữa các lớp màng mỏng với nhau (Trang 67)
Hình 2
26 Quá trình tính toán của phần mềm Delta Psi2 (Trang 68)
iao
diện của chương trình như Hình 2- 27 (Trang 69)
Bảng 3
1 Kết quả khảo sát kích thước Au NPs phụ thuộc vào độ dày màng Au (Trang 79)
Hình 3
11 Hạt vàng được tạo thành trong môi trường khí trơ khác nhau (Trang 81)
Hình 3
14 Hạt nano vàng hình thành trong môi trường khí nung nitơ (Trang 82)
Hình 3
17 Phổ phản xạ của các mẫu thí nghiệm (Trang 84)
Hình 3
20 Phổ phản xạ của các mẫu thí nghiệ mở bước sóng từ 500nm đến 1000nm (Trang 86)
Hình 3
22 Bề mặt đế silic sau khi khắc DRIE với mặt nạ vàng 3µm, công suất thay đổi a) 500 W, b) 300 W, c) 100 W (Trang 88)
Hình 3
23 SiNWs tạo thành sau quy trình a) 150 vòng lặ p- SF6 khắc 4 giây, b) 300 vòng lặp - SF 6 khắc 2 giây (Trang 89)
Hình 3
24 Ảnh FE-SEM và mô phỏng bề mặt 3D của mẫu D1 (Trang 90)
3.2.3.2
Ảnh hưởng của hình dạng hạt nano vàng đến chất lượng sợi silic (Trang 95)
Bảng 3
7 Điện thế phân cực thay đổi theo áp suất khí (Trang 103)
Hình 3
45 Phổ Raman của màng silic tinh thể micro (Trang 107)
Hình 3
49 Vị trí 9 điểm khảo sát trên mẫu bằng phương pháp quang phổ ellipsometry (Trang 111)
Hình 3
52 Giản đồ pha của các mẫu với điều kiện lắng đọng khác nhau (Trang 113)
Bảng 3
10 Kích thước hạt tinh thể nano tạo thành theo áp suất khí (Trang 116)