Khuếch tán tạp chất

bài giảng Khuếch tán tạp chất trong môn công nghệ vi điện tử

1 Khuếch tán tạp chất TS. Trương thị Ngọc Liên Bộ môn: Vật liệu điên tử ĐHBKHN-Feb2009 2 NỘI DUNG 1. Hiện tượng khuếch tán 2. Mô hình khuếch tán 3. Phương trình khuếch tán 4. Hệ số khuếch tán 3 Định luật Fick I  Nồng độ tạp chất: C (nguyên tử/cm 3 )---> C(x)  Nếu nồng độ nguyên tử giảm đồng nhất từ bề mặt C(0) đến chiều sâu λ với C(λ) = 0 Dòng nguyên tử tạp đi vào vật rắn khi có hiện tượng khuyếch tán xảy ra là F (nguyên tử/cm 2 .s) x txC DF    ),( ĐL Fick I D: hệ số khuếch tán (cm 2 /s) : gradient nồng độ /Cx 4 Định luật Fick I /C x const   ( ) (0) (0) ( ) 0 C C C C C x          Do (0)C FD  