Đang tải... (xem toàn văn)
Bài thuyết trình Các loại màng quang học bao gồm những nội dung về phân loại các loại màng quang học, phương pháp tạo màng học, màng chống phản xạ, màng phản xạ cao, màng ITO, màng lọc giao thoa. Mời các bạn tham khảo để nắm bắt nội dung chi tiết.
Các loại màng quang học Bộ môn: Quang học ứng dụng GV Hướng dẫn: TS Lê Vũ Tuấn hùng HV thực hiện: Lê Thị Lụa Tô Lâm Viễn Khoa Dàn ý • Phân loại loại màng quang học • Các phương pháp tạo màng quang học • Màng chống phản xạ • Màng phản xạ cao • Màng ITO • Màng lọc giao thao I CÁC LOẠI MÀNG QUANG HỌC: Giới thiệu • Màng quang học là: • hay nhiều lớp vật liệu mỏng • phủ thiết bị quang học thấu kính hay gương (những thiết bị cho phép biến đổ đường ánh sáng phản xạ hay I CÁC LOẠI MÀNG QUANG HỌC: Giới thiệu iệu quang lộ: Độ phản xạ đế: I CÁC LOẠI MÀNG QUANG HỌC: Giới thiệu trận truyền qua: Đối với lớp màng Đối với màng đa lớp Sử dụng nhiều ma trận Mi liên tiếp I CÁC LOẠI MÀNG QUANG HỌC: Phân loại Màng chống phản xạ Màng phản xạ cao Màng dẫn điện suốt Màng lọc giao thoa Phương pháp gưng tụ vật lý (PVD) Physical Vapor Deposition ạt vật liệu ngưng tụ đế → Màng ạt vật uyển Phương pháp ngưng tụ hóa học (CV Chemical Vapor Deposition Các hạt vật liệu ngưng tụ phản ứng với chất khí → Hợp chất → Tđế < 5000C Tđế ≈ 900 – 12000C Các phản ứng hình thành hợp chất (nếu có), xảy đường M khí đ vào ( Các hạt vật liệu di chuyển ác phương pháp PVD phổ biến ốc bay hiệt bốc bay ốc bay chùm điện tử ốc bay xung laser (PLD) hún xạ hún xạ DC hún xạ RF hún xạ phản ứng hún xạ magnetron ốc bay nhiệt điện trở uá trình lắng đọng màng Sự chuyển vật liệu c bay từ pha rắn sang ng thành nhiệt ện trở Sự di chuyển uyên tử từ nguồn đến đế Nguyên tử hấp thụ n đế kết tụ Tinh thể hóa màng ng thông số nh Phát triển thành àng liên tục điểm thể lắng đọ tốc độ cao 0.1 nm/s uyên tử bay lượng thấp (0.1 eV) p bẩn khí dơ thấp ơng gây nhiệt cho đế ơn giản, không đắt iều vật liệu khác (Au, Ag, Al, Sn, Cr, Ti, Cu…) thể đạt nhiệt độ 1800oC ng điện 200 300 A IV MÀNG PHẢN XẠ CAO (HR): Màng Điện môi Nguyên tắc: ồm hai lớp màng chiết suất c đặt xen kẽ với au ớp chiết suất cao thường là: S (n = 2,32), TiO2 (n = 2,4) ớp chiết suất thấp thường MgF2 (n = 1,38), SiO2 (n = 9) IV MÀNG PHẢN XẠ CAO (HR): Màng Điện môi Nguyên tắc: - Bề dày lớp thường 1/4 bước sóng tới (λ/4) - Phản xạ mặt tiếp hai lớp HL, hiệu qua tăng thêm 1/2 bước sóng triệt tiêu trường hợp AR - Do phản xạ lớp Hra độ lệch pha sai khác 18 với lớp L-H > sóng giao khơng bị triệt tiêu mà cịn IV MÀNG PHẢN XẠ CAO (HR): Màng Điện môi Ưu điểm: Cho độ phản xạ cao, lên đến 99,99% Việc chế tạo đơn giản, giá thành không đắt Hạn chế: Chỉ cho độ phản xạ cao dải bước sóng hẹp Ngồi khoảng phản xạ khơng q cao IV MÀNG PHẢN XẠ CAO (HR): Màng Điện môi Ứng dụng: Định hướng laser Kính viễn vọng Đĩa CD Màn hình gương IV MÀNG PHẢN XẠ CAO (HR): Màng Điện môi Ứng dụng: Màn hình gương ường sử dụng hình LCD hệ điểm: độ tương phản cao, rõ, màu sắc rực rỡ, góc rộng n chế: dễ bị chói, bị ảnh ma sử dụng vùng sáng IV MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT: Màng TCO • Màng dẫn điện suốt sử dụng làm lớp phủ dẫn điện giải phóng điện tích tích tụ • Đặc điểm: • Độ truyền qua cao • Phản xạ hồng ngoại cao • Độ dẫn điện cao • Vật liệu dùng thường là: SnO2 IV MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT: Màng ITO dẫn điện: - Sn pha tạp vào tha In3+ b d - Sự thiếu Oxi cấu trúc màng -> mật độ điện tử tự d tăng cao IV MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT: Màng ITO ơng pháp: Phún xạ magnetron dòng ch Bia gốm ITO với thành phần In2O3 + 10 % SnO2Khoảng cách bia-đế: cm Khí làm việc Ar (độ tinh khiết 99 )Áp suất trước tạo màng 4x10-6 t suất khí làm việc điển hình khoảng x torr.Công suất 50 WĐộ dày 300 nm 600nmNhiệt độ tinh thể hóa màng IT 1500c IV MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT: Màng ITO ơng pháp: Phún xạ magnetron dòng ch ộ truyền phụ thuộc vào cấu trúc hình thái ặt màng ( độ truyền qua giảm độ dày màng tăng ) IV MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT: Màng ITO u điểm: - Độ dẫn điện cao - Độ truyền qua cao - Độ bám đế tốt, độ rắn cao - bề mặt gồ ghề - chế tạo nhiều phương pháp ạn chế: - cơng ITO khoảng 4,5-4,8 eV - sau chế tạo, màng ITO đòi hỏi phải xử lý nhiệt để nâ IV MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT: Màng ITO ng dụng: ện cực suốt hình mặt trời màng mỏng ng nghệ hình phẳng D) -ốt phát quang hữu ED) Hình Hình IV MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT: Màng ITO g dụng: OLED _ Chân không EA Cathode WF(anốt) IP ETL/EIL + WF(ca) EML LUMO HIL/HTL cathode Anốt Đế thủy tinh HOMO Anốt HIL/HTL EML OLED đa lớp ETL/EIL V MÀNG LỌC GIAO THOA Nguyên tắc: ựa nguyên tắc tương hư AR HR hủ nhiều lớp ng mỏng lên bề mặt thủy > tăng cường làm tiêu số bước sóng > màu V MÀNG LỌC GIAO THOA Ưu điểm: ọc màu sắc tốt hơn, lọc ánh goài vùng khả kiến ữ cường độ sáng cao, hao phí nhi Hạn chế: thành cao àm thủy tinh nên dễ vỡ V MÀNG LỌC GIAO THOA Ứng dụng: nh lọc dùng máy ảnh, n hình ti vi: loại bỏ sáng tử ngoại, hồng ngoại ng cần thiết, gây hại dụng công nghệ cáp ng: lọc lựa bước g cần thiết để truyền hay h thành sóng cần thiết ... Phân loại loại màng quang học • Các phương pháp tạo màng quang học • Màng chống phản xạ • Màng phản xạ cao • Màng ITO • Màng lọc giao thao I CÁC LOẠI MÀNG QUANG HỌC: Giới thiệu • Màng quang học. .. thiết bị quang học thấu kính hay gương (những thiết bị cho phép biến đổ đường ánh sáng phản xạ hay I CÁC LOẠI MÀNG QUANG HỌC: Giới thiệu iệu quang lộ: Độ phản xạ đế: I CÁC LOẠI MÀNG QUANG HỌC: Giới... truyền qua: Đối với lớp màng Đối với màng đa lớp Sử dụng nhiều ma trận Mi liên tiếp I CÁC LOẠI MÀNG QUANG HỌC: Phân loại Màng chống phản xạ Màng phản xạ cao Màng dẫn điện suốt Màng lọc giao thoa Phương