Tổng hợp polime cảm quang trên cơ sở nhựa epoxy DR 331

ĐẠI HỌC QUỐC GIA TP HỒ CHÍ MINH TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA VÕ HỒ NGỌC NHUNG TỔNG HP POLIME CẢM QUANG TRÊN CƠ SỞ NHỰA EPOXY DR-331 Chun ngành : Vật liệu cao phân tử tổ hợp LUẬN VĂN THẠC SĨ TP HỒ CHÍ MINH, tháng 07 năm 2006 CÔNG TRÌNH ĐƯC HOÀN THÀNH TẠI TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA ĐẠI HỌC QUỐC GIA TP HỒ CHÍ MINH Cán hướng dẫn khoa học: GS.TS NGUYỄN HỮU NIẾU TS LA THỊ THÁI HÀ Cán chấm nhận xét 1: TS PHẠM THÀNH QUÂN Cán chấm nhận xét 2: TS HUỲNH BẠCH RĂNG Luận văn thạc só bảo vệ HỘI ĐỒNG CHẤM LUẬN VĂN THẠC SĨ TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA, ngày 21 tháng 07 năm 2006 PHÒNG ĐÀO TẠO SĐH CỘNG HÒA Xà HỘI CHỦ NGHĨA VIỆT NAM ĐỘC LẬP – TỰ DO – HẠNH PHÚC ÇÇÇÇÇ [œ\ TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA Tp HCM, ngày tháng năm 2006 NHIỆM VỤ LUẬN VĂN THẠC SĨ Họ tên học viên: VÕ HỒ NGỌC NHUNG Phái: Nữ Ngày, tháng, năm sinh: 01/03/1981 Nơi sinh: Bình Long-Bình Phước Chuyên ngành: Vật liệu cao phân tử tổ hợp MSHV: 00303061 I TÊN ĐỀ TÀI: Tổng hợp polime cảm quang sở nhựa Epoxy DR-331 II NHIỆM VỤ VÀ NỘI DUNG: III NGÀY GIAO NHIỆM VỤ (Ngày ký định giao đề tài): IV NGÀY HOÀN THÀNH NHIỆM VUÏ: V HỌ VÀ TÊN CÁN BỘ HƯỚNG DẪN (Ghi đầy đủ học hàm, học vị): CAÙN BỘ HƯỚNG DẪN CHỦ NHIỆM NGÀNH BỘ MÔN QUẢN LÝ CHUYÊN NGÀNH (Học hàm, học vị, họ tên chữ ký) Nội dung đề cương luận văn thạc só Hội Đồng Chuyên Ngành thông qua Ngày PHÒNG ĐÀO TẠO SĐH tháng năm KHOA QUẢN LÝ CHUYÊN NGÀNH LỜI CẢM ƠN Trước tiên xin gửi lời cảm ơn sâu sắc đến GS.TS Nguyễn Hữu Niếu TS La Thị Thái Hà giúp đỡ hướng dẫn cho tận tình thời gian thực đề tài Tôi xin cảm ơn thầy cô Khoa Công nghệ Vật liệu đồng nghiệp Trung Tâm Polymer truyền đạt cho kiến thức, kinh nghiệm vô quý báu giúp đỡ nhiệt tình để hoàn thành tốt luận văn Và lời cảm ơn chân thành xin gửi đến ba mẹ anh hai động viên lúc khó khăn, ủng hộ suốt bao năm học tập Tôi xin cảm ơn tất người bạn giúp đỡ nhiều trình học tập Xin chân thành cảm ơn Học viên Võ Hồ Ngọc Nhung MỤC LỤC Lời cảm ơn Abstract CHƯƠNG TỔNG QUAN VỀ POLIME CẢM QUANG 1.1 GIỚI THIỆU CHUNG 1.2 PHÂN LOẠI POLIME QUANG HOÏC 1.2.1 Polime cho ảnh dương 1.2.2 Polime cho aûnh aâm 1.3 PHẢN ỨNG ĐÓNG RẮN QUANG HOÏC 1.3.1 Quá trình quang lý 1.3.2 Phản ứng quang hoùa 1.3.2.1 Giai đoạn khơi mào a Trạng thái kích thích phân tử 10 b Cơ chế khơi mào quang gốc tự 11 a1 Cơ chế phân đôi 11 b1 Cơ chế trao đổi H• hay chế chuyển điện tử 13 c1 Cơ chế quang phân Norrish II 14 1.3.2.2 Giai đoạn phát triển mạch 14 1.3.2.3 Giai đoạn ngắt mạch (quá trình dập tắt gốc tự do) 14 a Cơ chế ngắt mạch monome 14 b Cơ chế ngắt mạch amin 15 c Sự cạnh tranh phân đôi tạo gốc tự dập tắt gốc tự 15 1.4 Các yếu tố ảnh hưởng đến trình quang trùng hợp 16 1.4.1 Ảnh hưởng hệ khơi mào 16 1.4.2 Ảnh hưởng bề dày màng 16 1.4.3 Ảnh hưởng nguồn xạ 17 1.4.4 Ảnh hưởng oxy 17 1.4.5 Ảnh hưởng monome oligome 18 1.5 CÁC PHƯƠNG PHÁP ĐÁNH GIÁ POLIME CẢM QUANG 19 1.5.1 Phương pháp phổ quang hoïc 19 1.5.2 Phương pháp quang nhiệt vi sai 21 1.5.3 Phương pháp đo độ dãn nở co rút sau đóng rắn 21 1.5.4 Phương pháp phân tích tính chất vật lý tính 22 1.5.5 Phương pháp phân tích nhiệt động 22 1.6 ỨNG DỤNG CỦA POLIME CẢM QUANG 22 1.6.1 Mực in, lớp phủ, màng sơn keo đóng rắn tia UV 22 1.6.2 Bản kẽm công ngheä in 23 1.6.3 Photopolime công nghệ sản xuất vi mạch điện tử 23 1.6.4 Vật liệu y sinh 23 1.6.5 Các ứng dụng khác 24 1.7 QUI TRÌNH QUANG KHẮC 24 1.7.1 Các giai đoạn trình quang khắc 24 1.7.1.1 Tạo maøng photoresist (resist coating) 26 1.7.1.2 Post-apply bake (PAB) 27 1.7.1.3 Chiếu xaï (Exposure) 28 1.7.1.4 Post-exposure bake (PEB) 29 1.7.1.5 Phát triển rửa (development and rinse) 29 1.7.1.6 Etching 30 1.7.1.7 Tẩy màng photoresist (stripping) 30 CHƯƠNG NHỰA EPOXY 31 2.1 GIỚI THIỆU VỀ EPOXY 31 2.2 TÍNH CHẤT NHỰA EPOXY 33 2.2.1 Lý tính 33 2.2.2 Hóa tính 34 2.2.2.1 Tính chất chung 34 2.2.2.2 Khả phản ứng nhóm epoxy 34 2.2.2.3 Khả phản ứng nhóm hydroxyl 35 2.3 ĐÓNG RẮN NHỰA EPOXY 36 2.3.1 Đóng rắn amin 37 2.3.2 Đóng rắn anhydric 38 2.3.3 Đóng rắn tác nhân khác 38 2.4 ỨNG DỤNG CỦA NHỰA EPOXY 39 2.4.1 Keo daùn 39 2.4.2 Compound đúc tẩm 39 2.4.3 Sôn 39 CHƯƠNG PHOTORESIST HỆ ACRYLAT 40 3.1 NHỰA VINYLESTE 40 3.1.1 Giới thiệu chung nhựa vinyleste 40 3.1.2 Một số đăëc điểm nhựa vinyleste 40 3.1.3 Quy trình tổng hợp nhựa vinyleste 41 3.1.3.1 Phaûn ứng tổng hợp nhựa vinyleste 41 a Axit acrylic hoaëc axit metacrylic 41 b 2-Hydroxyl Ethyl Methacrylat (HEMA) 42 3.1.3.2 Phản ứng đóng rắn nhựa vinyleste 43 3.2 CÁC LOẠI PHOTORESIST HỆ ACRYLAT 45 3.2.1 Giới thiệu chung 45 3.2.2 Phân loại photoresist hệ acrylat 46 3.2.2.1 Heä epoxy acrylat 46 3.2.2.2 Heä uretan acrylat 46 3.2.2.3 Heä polyeste acrylat 46 3.2.2.4 Heä polyete acrylat 47 3.2.2.5 Hệ polyete acrylat biến tính amin 47 3.2.2.6 Heä acrylic acrylat 47 3.2.2.7 Caùc oligome acrylat khaùc 48 3.2.3 Thành phần màng polime quang hóa 49 3.2.3.1 Thành phần không no 49 3.2.3.2 Monome pha loaõng 49 3.2.3.3 Tác nhân khơi mào quang học 50 CHƯƠNG PHƯƠNG PHÁP THỰC NGHIỆM 53 4.1 NGUYÊN LIỆU 53 4.1.1 Nhựa Epoxy DR-331 53 4.1.2 2-hydroxyletyl metacrylat 53 4.1.3 Chất ổn định 53 4.1.4 Monome pha loaõng 54 4.1.4.1 Sartomer SR 339 54 4.1.4.2 Sartomer SR 306 54 4.1.4.3 Sartomer SR 351 55 4.1.5 Chất khơi maøo quang 55 4.1.5.1 Igracure 651 55 4.1.5.2 Igracure 369 56 4.1.6 Xúc tác LiCl 57 4.1.7 Dung môi rửa 57 4.2 PHƯƠNG PHÁP NGHIÊN CỨU 58 4.2.1 Tổng hợp nhựa epoxy acrylat 58 4.2.1.1 Quy trình tổng hợp nhựa epoxy acrylat 58 4.2.1.2 Caùc tính chất nhựa sau tổng hợp 59 4.2.2 Khảo sát hệ photoresist 59 4.2.3 Khảo sát trình đóng rắn polime caûm quang 60 a Ảnh hưởng hàm lượng chất khơi mào quang 62 b Ảnh hưởng cường độ tia UV 62 c Ảnh hưởng bề dày màng 62 d Ảnh hưởng tác động oxy đến trình đóng rắn màng 62 e Ảnh hưởng monome pha loãng 62 f Khảo sát tính chất nhiệt mẫu sau đóng raén 62 g Khảo sát ảnh hưởng màng dung môi khác 63 4.2.4 Khảo sát quy trình quang khắc 63 4.3 PHƯƠNG PHÁP ĐÁNH GIÁ 64 4.3.1 Xaùc định số epoxy 64 4.3.2 Phoå FTIR 65 4.3.3 Phương pháp phân tích nhiệt trọng lượng TGA 66 4.3.4 Phương pháp sắc ký gel 66 4.3.5 Thiết bị phân tích nhiệt động DMTA 66 4.3.6 Thiết bị tạo tia UV (UV Port) 67 4.3.7 Dụng cụ đo độ nhớt Brookfield 67 4.3.8 Duïng cụ đo bề dày màng Elcometer 67 4.3.9 Kính hiển vi điện tử 68 CHƯƠNG KẾT QUẢ VÀ BÀN LUẬN 69 5.1 KHAÛO SÁT QUY TRÌNH TỔNG HP EPOXY-ACRYLAT 69 5.1.1 Khảo sát ảnh hưởng nhiệt độ phản ứng 69 5.1.2 Khảo sát ảnh hưởng tỷ lệ mol cấu tử 72 5.1.3 Khảo sát ảnh hưởng hàm lượng xúc tác LiCl 73 5.2 KHẢO SÁT KHẢ NĂNG ĐÓNG RAÉN QUANG 77 5.2.1 Ảnh hưởng hàm lượng chất khơi mào quang 77 5.2.2 Ảnh hưởng bề daøy maøng 81 5.2.3 Ảnh hưởng khuếch tán oxy 83 5.2.4 Ảnh hưởng cường độ tia UV 87 5.2.5 Ảnh hưởng loaïi monome 89 5.2.6 Khảo sát nhiệt độ Tg hệ nhựa 91 a Hệ khơi mào Irgacure 369 91 b Heä khơi mào Irgacure 651 92 c Các loại monome khaùc 94 5.2.7 Độ bền nhiệt hệ nhựa 94 5.2.8 Ảnh hưởng dung môi 95 5.2.8.1 Dung moâi HCl 10% 96 5.2.8.2 Dung moâi NaOH 10% 96 5.2.8.3 Dung moâi Xylen 97 5.2.8.4 Dung moâi Toluen 97 5.3 QUY TRÌNH QUANG KHẮC 98 5.3.1 Ảnh hưởng dung môi rửa 99 5.3.2 Ảnh hưởng thời gian chiếu tia UV 100 5.3.2.1 Cường độ tia UV 550mW 101 5.3.2.2 Cường độ tia UV 280mW 101 Kết luận Kiến nghị Tài liệu tham khảo Phụ lục Chương 5: Kết bàn luận − MEK: mẫu có mẫu bị bong ít, thời gian rửa nhanh khoảng 30s − Dung môi butyl acetat: mẫu sau rửa 120s không ảnh hưởng đến màng, nhiên thời gian rửa lâu − Mẫu rửa hỗn hợp 50% MEK 50% Butylacetat: thời gian rửa nhanh khoảng 30s mẫu sạch, đạt yêu cầu Như ta thấy mẫu rửa hỗn hợp MEK Butyl acetat tốt nhất, thời gian rửa đảm bảo không ảnh hưởng đến tính chất màng Chọn dung môi rửa để khảo sát nghiên cứu 5.3.2 Ảnh hưởng thời gian chiếu tia UV Do khảo sát sở hai loại chất khơi mào quang Irgacure 369 651 để so sánh khả tạo ảnh hai loại Nghiên cứu với hàm lượng 0,5% Irgacure 369 651, khoảng cách từ mặt nạ đến mẫu < 1mm, thời gian chiếu, cường độ bề dày màng khảo sát, mẫu sau chiếu UV đem sấy sơ nhiệt độ 90 ÷ 1200C 60s, để nguội rửa hệ dung môi MEK + Butylacetat (tỉ lệ 1:1) 30s, sau tiếp tục đem sấy đuổi phần dung môi thừa, chiếu UV lần để thực trình đóng rắn hoàn toàn, sau mẫu đem ăn mòn dung dịch FeCl3 (10% nước) nơi đồng không che chắn lớp nhựa đóng rắn thời gian 1h Cuối mẫu rửa để loại bỏ lớp nhựa lại bề mặt hỗn hợp dung môi xylen toluen Do quy trình quang khắc yêu cầu chủ yếu đạt hình ảnh sắc nét kích thước tương đương với mask yếu tố đánh giá dựa cảm quang chủ yếu Xác định bề dày, cường độ thời gian chiếu thích hợp sở độ nét hình ảnh mắt thường kính hiển vi - Trang 100 - Chương 5: Kết bàn luận 5.3.2.1 Cường độ tia UV 550mW Bảng 5.19 Hình ảnh mẫu theo thời gian chiếu cường độ 550mW Bề dày (µm) Loại khơi mào Hình ảnh theo thời gian chiếu (s) Irgacure 651 0,06 0,08 0,1 10 ÷ 15 Irgacure 369 Irgacure 651 30 ÷ 35 Irgacure 369 Irgacure 651 50 ÷ 55 Irgacure 369 0,11 0,12 0,13 0,05 0,06 0,07 0,08 0,09 0,1 0,14 0,15 hö 0,16 0,11 0,12 0,13 0,14 0,05 0,08 0,10 0,11 0,12 0,13 0,14 0,15 0,16 0,17 0,18 hö 0,04 0,05 0,06 0,07 0,08 0,09 0,10 0,11 0,12 0,13 0,14 0,14 hö 0,08 0,1 0,11 0,12 0,13 0,14 0,15 0,16 0,17 0,18 0,03 0,04 0,05 0,06 0,07 0,08 0,09 0,10 0,11 0,12 0,13 Đối với cường độ tia UV cao thời gian để hình mẫu sắc nét thấp, hệ Irgacure 651 cho hình ảnh đẹp 369 Bề dày màng lớn hình mẫu xảy tượng đóng rắn lan nên kích thước lớn so với mặt nạ 5.3.2.2 Cường độ tia UV 280mW Do cường độ cao thời gian chiếu ngắn làm cho trình đóng rắn xảy đột ngột nên tốc độ lớn ảnh hưởng đến hình thành mạng không gian, không chặt chẽ nên dễ bị bong trình rữa etching Vì tiếp tục khảo sát cường độ tia UV nhỏ để giảm tốc độ phản ứng đóng rắn nhằm tạo mạng không gian chặt chẽ - Trang 101 - Chương 5: Kết bàn luận Bảng 5.20 Hình ảnh mẫu theo thời gian chiếu cường độ 280mW Bề dày (µm) Loại khơi mào Hình ảnh theo thời gian chiếu (s) Irgacure 651 0,1 0,2 0,3 0,4 0,5 0,6 0,7 0,8 0,9 1,0 10 ÷ 15 Irgacure 369 Irgacure 651 30 ÷ 35 Irgacure 369 Irgacure 651 0,1 0,1 0,2 0,2 0,1 0,3 0,4 0,3 0,4 0,2 0,1 0,2 0,3 0,3 0,4 0,5 0,6 0,5 0,6 0,7 0,8 0,4 0,5 0,6 0,7 0,5 0,6 0,7 0,5 0,6 0,8 0,7 0,8 0,9 0,9 1,0 1,1 1,2 0,8 0,9 0,9 1,0 1,0 1,1 1,0 1,1 1,2 50 ÷ 55 Irgacure 369 0,1 0,2 0,3 0,4 0,7 0,8 0,9 1,0 1,1 Khi cường độ tia UV thấp thời gian để hình ảnh đạt độ sắc nét lớn so với cường độ lớn Ta thấy mẫu Irgacure 651 sắc nét so với Irgacure 369, tốc độ đóng rắn chậm nên không gây tượng đóng rắn lan vùng lân cận (vùng ánh sáng chiếu vào) Tuy nhiên hình ảnh không đạt yêu cầu độ sắc nét kích thước Như hệ Irgacure 651 thích hợp để nghiên cứu cho ứng dụng nhựa lónh vực quang khắc Cường độ tia UV phải lớn thời gian chiếu ngắn để trình đóng rắn xảy nhanh chóng hạn chế tượng đóng rắn lan gây độ sắc nét sản phẩm Dựa vào hình ảnh ta chọn quy trình quang khắc sau: − Cường độ tia UV : 550mW − Thời gian chiếu : 0,08 ÷ 0,1s − Bề dày màng : 30 ÷ 35 µm - Trang 102 - Chương 5: Kết bàn luận Chụp lại hình mẫu có điều kiện kính hiển vi điện tử với độ phóng đại 100 lần để xác định độ sắc nét mẫu sau: (a) (b) Hình 5.29 Ảnh chụp kính hiển vi mẫu thời gian chiếu 0,08 (a) 0,1s (b) Các mẫu sắc nét, hình ảnh thu rõ ràng không bị đóng rắn lan So sánh với mẫu chiếu thời gian (5.31 a) nhiều (5.31 b) ta thấy hình ảnh không sắc nét, kích thước hình ảnh bị thay đổi, thời gian nên dễ dàng làm trôi thành phần nhựa rìa mẫu nhỏ ngược lại thời gian chiếu lâu gây tượng đóng rắn lan nên kích thước hình ảnh lớn (b) (a) Hình 5.30 Ảnh chụp kính hiển vi điện tử mẫu 0,06 (a) 0,11s (b) Dựa kết tiến hành thử số hình ảnh đồng hệ với mặt nạ sử dụng slide in chữ sau: - Trang 103 - Chương 5: Kết bàn luận PHOTORESIST Làm lại mẫu với thông số chọn để thấy rõ độ sắc nét hình ảnh tạo Kết theo bảng 5.21: Bảng 5.21 Hình ảnh mẫu theo thời gian chiếu (s) Thời gian chiếu (s) Hình ảnh 0,04 0,06 0,08 0,1 0,12 0,14 0,16 Như vậy, thời gian chiếu khoảng 0,08 – 0,1 s phù hợp hệ nhựa có thông số trên, hình ảnh tạo rõ nét Bên cạnh nghiên cứu số khác như: nhôm, inox, nhận thấy rằng, nhôm nhựa có độ bám dính tốt nên hình ảnh sắc nét rõ ràng Như ảnh hưởng khả kết dính nhựa quan trọng nên sử dụng thêm tác nhân liên kết - Nền nhôm: Trên bề mặt nhôm nhựa có độ kết dính tốt hình ảnh sắc nét môi trường ăn mòn NaOH môi trường ảnh hưởng đến tính chất nhựa Hình 5.31 Ảnh quang khắc Nhôm - Trang 104 - Chương 5: Kết bàn luận - Nền inox:Trên inox thực trình ăn mòn điện hóa nên màng phải có độ bám dính tốt với nhiên mẫu chưa đạt điều này, cần nghiên cứu thêm để khắc phục nhược điểm Hình 5.32 Ảnh quang khắc Inox - Trang 105 - KẾT LUẬN • Xác định quy trình tổng hợp nhựa epoxy acrylat sở nhựa epoxy DR-331 HEMA: tỷ lệ mol tác chất nhóm epoxy/nhóm hydroxyl = 1/1,2, nhiệt độ phản ứng 1100C, hàm lượng xúc tác sử dụng 0,8% so với tổng khối lượng mol tác chất, thời gian phản ứng 5h thời gian nhập liệu 1h • Đối với trình đóng rắn quang nhựa với hai loại khơi mào Irgacure 369 651 o Hàm lượng khơi mào tăng độ chuyển hóa tăng o Độ chuyển hóa tăng tăng bề dày màng o Cường độ tia UV lớn độ chuyển hóa cao o Khi có tác động oxy nhiều độ chuyển hóa màng giảm o Độ chuyển hóa cao tiếp xúc bề mặt màng với oxy để hạn chế khuếch tán oxy o Đối với hệ nhựa sử dụng Irgacure 369 có tốc độ phản ứng nhanh so với 651, độ chuyển hóa cuối gần o Triacrylat có tốc độ phản ứng độ chuyển hóa cao so với monoacrylat diacrylat o Khả chịu nhiệt mẫu tốt, mẫu đóng rắn hai loại khơi mào quang có độ bền nhiệt gần • Ảnh hưởng dung môi: o Mẫu có khả chịu môi trường acid o Mẫu sử dụng triacylat thích hợp cho sử dụng môi trường làm việc hóa chất • Irgacure 651 thích hợp làm quang khắc so với 369 tốc độ phản ứng vừa phải, không gây tượng đóng rắn lan làm ảnh hưởng đến độ sắc nét mẫu • Quy trình quang khắc cho hình ảnh đạt độ sắc nét: 30% monome diacrylat, be daứy maứng phim 30 ữ 35àm, haứm lượng khơi mào 0,5% Irgacure 651, thời gian chiếu 0,08 ÷ 0,1s, cường độ tia UV 550mW KIẾN NGHỊ • Sử dụng tác nhân liên kết với hexa methyl disilazane (HMDS) có tác dụng liên kết nhựa tốt hơn, đảm bảo độ bám dính • Nghiên cứu sâu ứng dụng polime cảm quang lónh vực khác: mực in, coating • Phối hợp loại monome cho phù hợp để có kết tốt dựa thông số đóng rắn nghiên cứu • Sử dụng chất khử oxy thiol, phosphin, acrylic amin, để trình đóng rắn hoàn toàn, đơn giản thiết kế hệ thống tủ chiếu UV với môi trường CO2 hay N2 • Nghiên cứu trình quang khắc khác TÀI LIỆU THAM KHẢO Nguyễn Đình Triệu (2000), “Các phương pháp vật lý ứng dụng hóa học”, NXB Đại học quốc gia Hà Nội, Hà Nội, Việt Nam GS TSKH Từ Văn Mặc (2003), “Phân tích hóa lý Phương pháp phổ nghiệm nghiên cứu cấu trúc phân tử”, NXB Khoa học Kỹ thuật, Hà Nội, Việt Nam Jean-Pierre Fouassier (1995), “Photoinitiation, Photopolymerization, and Photocuring”, Hanser Publishers Mucich, Germany Ian Dukin, et al (2004), “Photochemistry”, Royal Society of Chemistry, London, England Malcom P Stevens (1999), ”Polymer Chemistry”, Oxford University Press New York, USA Sidney H Goodman (1998), “Handbook of Thermoset Plastic”, Noyes Publications New Jersey, USA David Harvey (2000), “Modern Analytical Chemistry”, McGraw-Hill Company, Singapore, Singapore Gerard Michael Schmid (2003), “Understanding molecular scale effect during photoreist processing”, Doctorate of Philosophy, University of Texas at Austin Seùamus P.J Higson (2003), “Analytic Chemistry”, Oxford University Press, New York, USA 10 Sean David Burns (2003), “Understanding fundamental mechanism of photoresist dissolution”, Doctorate of Philosophy, University of Texas at Austin 11 Shintaro Yamada (2000), “Design and study of advance photoresist material: positive tone photoresist with reduced environmental impact and material for 157 nm lithography”, Doctorate of Philosophy, University of Teas at Austin 12 Jack Richard Celeste, “Process for making photoresists”, United State Partent Office, No 3469982, 1969 13 N.Fang, C.Sun, X.Zhang, “Diffusion-limited photopolymerization in scanning micro-stereolithography”, Material Science and Processing, Applied Physics A, A79, 1839-1842 (2004) 14 Q.Yu, S.Nauman, J.P.Santerre, Zhu, “Photopolymerization behavior of di(meth)acrylate oligomers”, Journal of Materials Science 36, 35993605, 2001 15 C.Esposito Corcione, A.Greco, A.Maffezzoli, “Photopolymerization kinetics of an epoxy based resin for stereolithography”, Journal of Thermal Analysis and Calorimetry, Vol.72, 687-693, 2003 16 C C Su, E M Woo*, C.-Y Chen, Ru-Rong Wu, “N.m.r and FTi.r studies on transreactions and hydroxyl exchanges of bisphenoI-A polycarbonate with an epoxy upon heating”, Elsevier Science, Polymer Vol 38, No 9, pp 2047 2056, 1997 17 Mu-Shih Lin*, Ming-Wei Wang, Lon-An Cheng, “Photostabilization of an epoxy resin by forming interpenetrating polymer networks with bisphenol-A diacrylate”, Polymer Degradation and Stability 66, 343±347, 1999 18 Jong-Ho Lee, “Lithography”, School of EECS, Kyungpook National University 19 Warren W Flack, Warren P Fan, Sylvia White,”The Optimization and Characterization of Ultra-Thick Photoresist Films”, Ultratech Stepper, Inc., San Jose, CA 95134 20 M K Crawford*, W B Farnham, A E Feiring, J Feldman, R H French, K W Leffew, V A Petrov, W Qiu, F L Schadt III, H.V Tran, R C Wheland, F C Zumsteg, “Single Layer Fluoropolymer Resists for 157 nm Lithography”, DuPont Central Research and Development and DuPont Electronic Technologies, Wilmington, DE, 19880-0356 21 Warren W Flack, Scott Kulas, David W Minsek, “Process Characterization of an Ultra-Thick Strippable Photoresist Using a Broadband Stepper”, Ultratech Stepper, Inc MicroChem Corp and Newton, MA 02464, San Jose, CA 95134 22 Benjamin Falk, “Optical Pyrometry: A Novel Method for Monitoring Photopolymerization Reactions and Synthesis, Characterization anh Modification of Epoxy and Hydroxyl-Functional Microspheres Produced By Cationic Suspension Photopolymerization”, Doctorate of Philosophy, Rensselaer Polytechnic Institute Troy, New York 23 Toshiyuki Urano, Hideki lto, Keiji Takahama and Tsuguo Yamaoka, “Photopolymerization Mechanisms of Acrylates in Poly(methyl methacrylate) Films”, Elsevier Science, Polymers For Advanced Technologies, Polym Adv Technol 10, 201±205 (1999) 24 Jakob Lange, “Viscoelastic Properties and Transitions During Thermaland UV Cure of a Methacrylate Resin”, Department of Chemical Engineering University of Queenslarui, QLLI 4072, Australia 25 Dan Rosu, Constantin N Cascaval, Liliana Rosu, “Effect of UV radiation on photolysis of epoxy maleate of bisphenol A”, Elsevier Science, Journal of Photochemistry and Photobiology A: Chemistry 177 (2006) 218–224 26 Frederick H Walker, John B Dickenson, Charles R Hegedus, Frank R Pepe and Renee Keller, “A new polymeric polyol for thermoset coatings: superacid-catalyzed copolymerization of water and epoxy resins”, Air Products and Chemicals, Inc 27 Katia Studer, Christian Decker, Erich Beckb, Reinhold Schwalm, “Overcoming oxygen inhibition in UV-curing of acrylate coatings by carbon dioxide inerting: Part II”, Progress in Organic Coatings 48 (2003) 101–111 28 www.dow.com 29 www.shokubai.co.jp 30 www.uspto.gov 31 www.SemiconFarEast.com 32 www.ibm.com 33 www.sartomer.com 34 www.coatings.de 35 www.angelfire.com BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO ĐẠI HỌC QUỐC GIA TP HỒ CHÍ MINH CỘNG HÒA Xà HỘI CHỦ NGHĨA VIỆT NAM Độc lập - Tự – Hạnh phúc TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA TRUNG TÂM NGHIÊN CỨU VẬT LIỆU POLYMER -o0o - LÝ LỊCH KHOA HỌC ĐƠN VỊ CÔNG TÁC : Nghề nghiệp Chuyên ngành : : Trung tâm NCVL Polymer, Đại học Bách Khoa Tp HCM Kỹ sư hóa học Polymer I LÝ LỊCH SƠ LƯC : PHOTO : VÕ HỒ NGỌC NHUNG : Không : 01/03/1981 : Bình Long, Bình Phước 1.5 Nguyên quán : Bình Dương 1.6 Địa thường trú : 262/37, Lê Văn Sỹ, P 14, Q 3, Tp HCM 1.7 Dân tộc : Kinh 1.8 Tôn giáo : Không 1.9 Quốc tịch : Việt Nam 1.10 Sức khỏe : Tốt 1.11 Ngày vào Đoàn TNCS Hồ Chí Minh : 26/03/1995 1.12 Email: ngocnhung8131@gmail.com 1.13 Điện thoại: 0908 207020 1.1 Họ tên 1.2 Bí danh 1.3 Năm sinh 1.4 Nơi sinh II QUÁ TRÌNH ĐÀO TẠO ĐẠI HỌC: Chế độ học Thời gian học Nơi học Ngành học Chuyên ngành Tên luận án TN Người hướng dẫn Ngày bảo vệ : Chính quy : Từ 1998 đến 2003 : Trường Đại học Bách khoa Tp HCM : Công nghệ hóa học dầu khí : Polymer : Khảo sát động học phản ứng đóng rắn nhựa vinyl este sở dầu đậu nành epoxy hóa polybutadien lỏng epoxy hóa : ThS LA THỊ THÁI HÀ : 23/01/2003 III HOẠT ĐỘNG KHOA HỌC KỸ THUẬT: − Làm công tác nghiên cứu Trung tâm NCVL Polymer − Tham gia hướng dẫn thí nghiệm cho sinh viên môn học: “Thí nghiệm hóa học Polymer” phụ trách phòng thí nghiệm phân tích nhiệt − Thực nghiên cứu đề tài khoa học Trung tâm IV KẾT QUẢ HOẠT ĐỘNG KHOA HỌC KỸ THUẬT: 4.1 Tham gia đề tài khoa học: - Đề tài cấp Bộ: "Biến tính nhựa Vinyl este dầu đậu nành Epoxy hóa Polybutadien lỏng Epoxy hóa" - Mã số đề tài : 2001-2004 - Kết : Tốt - Chủ nhiệm : ThS LA THỊ THÁI HÀ Đồng tham gia : TS Nguyễn Đắc Thành, ThS Nguyễn Lê Hương, ThS Huỳnh Đại Phú, ThS Ngô Trí Dũng, KS Châu Thành Nhân, ThS Trần Thị Hồng Thủy, KS Võ Hồ Ngọc Nhung - Đề tài cấp Nhà Nước: “Nghiên cứu chế tạo ứng dụng vật liệu polime compozit làm việc nhiệt độ cao.” - Mã số đề tài : KHCN 02 – 16/2002-2004 - Kết : Tốt - Chủ nhiệm : GS.TS NGUYỄN HỮU NIẾU Đồng tham gia: TS Nguyễn Đắc Thành, ThS La Thị Thái Hà, ThS Huỳnh Đại Phú, KS Võ Hồ Ngọc Nhung, KS Huỳnh Công Trực - Đề tài cấp Thành Phố: “Tổng hợp, nghiên cứu tính chất polymer cảm quang ứng dụng lónh vực: mực in, in khắc, màng phủ, ” - Mã số đề tài : 10/2005 ÷ 10/2007 - Kết : thực - Chủ nhiệm : GS.TS NGUYỄN HỮU NIẾU Đồng tham gia: TS Nguyễn Đắc Thành, TS La Thị Thái Hà, KS Trần Việt Toàn, KS Võ Hồ Ngọc Nhung, KS Huỳnh Công Trực - Đề tài cấp Thành Phố: “Nghiên cứu, thiết lập tổ hợp vật liệu vinyl este biến tính sở dầu đậu nành epoxy hoá để làm lớp liên diện vật liệu composite bọc bê tông kim loại - Mã số đề tài : 08/2005 ÷ 08/2006 - Kết : thực - Chủ nhiệm : TS LA THỊ THÁI HÀ Đồng tham gia: GS.TS Nguyễn Hữu Niếu, TS Nguyễn Đắc Thành, KS Võ Hồ Ngọc Nhung, KS Nguyễn Hoàng Dương, KS Nguyễn Minh Hải, KS Huỳnh Công Trực 4.2 Kết hoạt động khoa học kỹ thuật: Bài báo 1: "Tính toán số đồng trùng hợp nhựa vinyl este nhựa vinyl este biến tính dầu đậu nành epoxy hoá (ESO) theo phương pháp phổ cộng hưởng từ hạt nhân 1HNMR" - Tạp chí hoá học ứng dụng, Số 9, Trang 32-37, 2003 - Tác giả: TS NGUYỄN ĐẮC THÀNH, LA THỊ THÁI HÀ (ThS), VÕ HỒ NGỌC NHUNG (Kỹ sư) Bài báo 2: "Xác định thông số động học phản ứng polymer hóa nhựa Vinyl este" - Tạp chí hoá học ứng dụng, Số 2, Trang 31-35, 2004 - Tác giả: TS NGUYỄN ĐẮC THÀNH, LA THỊ THÁI HÀ (ThS), VÕ HỒ NGỌC NHUNG (Kỹ sư) ... mạnh tetrahydrofuran (THF) - Trang 30 - Chương : Nhựa Epoxy CHƯƠNG NHỰA EPOXY 2.1 GIỚI THIỆU VỀ EPOXY [5], [6], [28] Nhựa epoxy loại polime có chứa nhiều nhóm epoxy mạch phân tử Nhựa epoxy có nhiều... NGHIÊN CỨU 58 4.2.1 Tổng hợp nhựa epoxy acrylat 58 4.2.1.1 Quy trình tổng hợp nhựa epoxy acrylat 58 4.2.1.2 Các tính chất nhựa sau tổng hợp 59 4.2.2 Khảo sát hệ... quang khắc Nhôm 104 Hình 5.32 Ảnh quang khắc Inox .105 Chương 1: Tổng quan polime cảm quang CHƯƠNG TỔNG QUAN VỀ POLIME CẢM QUANG 1.1 GIỚI THIỆU CHUNG [3], [4], [8], [10], [12] Polime