Nghiên cứu chế tạo vật liệu bán dẫn pha tạp từ

DAI HOC QC GIÀ HA NĨI TRl/ỊNG DAI HOC KHOA HOC Tl/NHIÈN Détài NGHIÈN cuti CHE TAO VAT LIÈU BÀN DAN PHA TAP TÌT MA-SO: QT.04-09 Chù tri de tài: PGS TS Nguyén Thi Thuc Hién Càc càn bò tham già: ThS Tran Vlnh Thàng CN Ngò Xuàn Dai CN Nguyén Anh Tuàn HA NOI - 2005 Bào cào tóm tat a Tén de tài: Nghién cùu che tao vat liéu bàn dùn pha tap tu Ma so: QT 04 - 09 b Chù tri de tài: PGS TS Nguyén Thi Thuc Hién e Càc càn bò tham già: l.Ths Tran Vinh Thàng CN Ngò Xuàn Dai CN Nguyén Anh Tuàn d Miic tiéu va nói dung nghién cùu (theo dàng ki) • • • Che tao càc màng mòng ZnO va ZnO pha kim loai chuyén tièp trén càc loai de khàc nhu Sì, thuy tinh Che tao bót ZnO pha kim loai chuyén tièp Nghién cùu càc qua trình tao màu nhu càc ti'nh chat vai ly, dac bièt tinh chat tu cùa càc màng dà che tao e Càc ké't qua dat dugc De tài dà tap trung nghién cùu vat lieo ZnO pha tap Co, day chat bàn dàn pha tu loàng DMS ( diluted magnetic semiconductor) dang dugc thè giói tap trung nghién cùu rat manh Càc kèt qua dat dugc góm: • • • • Dà tao dugc càc màng va bót ZnO bang phuang phàp sol-gel Dà tièn hành pha tap Co va Ga vào ZnO va nghién cùu càc tinh chat càu trùc, quang va tu cùa càc màng co pha tap Nàng càp dugc he phó truyén qua Huóng dàn sinh vièn nghién cùu khoa hoc: - Dà va dang hng dàn sinh vièn làm khồ ln tot nghiép ngành Khoa hoc Vài liéu va chuyén ngành Vat ly Chat ràn - Cao hoc ( mot hoc vién dà bào ve luan vàn ) • Càc bào cào tai càc hòi nghi Khoa hoc: bào cào tai hịi nghi Vàt ly Chàu Ha Nói 11/2004 bào a tap chi Khoa hoc, DHQGHN,2004,57 bào cào tai hòi thào Viét Due, 5/2005 (1 bào cào dàng " Nhùng vàn de hién dai cùa Vat ly chat ràn", 2004, 676) f Tinh hình kinh phì cùa de tài Kinh phi dugc cà'p: 15 trièu Dà co dù chùng tu qut tồn vói Phịng tài vu HàNòi ngày thàng 10 nàm 2005 KHOA QUÀN LY CHÙ TRI DE TÀI PGS.TS.* Nguyén Thi Thuc Hién CHÙ TRI DE TÀI GS.TS.^^lJv^ Jy-uù Resumé a Name of project: Preparation of semiconductor materials doped with magnetic impurities Code: QT 04 - 09 b Leader of project: Assoc Prof Dr Nguyén Thi Thuc Hien e Participant members: MSc Tran Vinh Thang BSc Ngo Xuan Dai BSc Nguyén Anh Tuan d Purpose and contents of investigation project • • Preparation of Co-doped ZnO films and powders by sol-gel method Investigation of the technology as well as the physical properties of produced films, especially magnetic and optical properties e The main results • • • • • Preparing ZnO films and powders by sol-gel method Doping ZnO by Co, Ga Investigating structural, optical and magnetic properties Adapting the build absorption apparatus publications bave been presented at scientific conferences as the followings: report in Proceedings of the 3'"^ National conferences on Solid state physics, Thai Nguyén 11/2003 paper in Journal of Science, VNU Hanoi, November 2004 report in the Asian Conference on Physics, Hanoi 11/2004 report in Proceedings of the ninfth Vietnamese - German seminar on Physics and Engineering, May 2005 • Have been instructed several students in scientific reseachs: (done and being done) university graduate theses on specialities of Materials Science and Solid state Physics Msc thesies (One has been done) Bào cào chuyén mòn De tài: Nghién cufu che tao vàt liéu bàn dàn pha tap tir Muc lue ' • Ma dàu Chucmg I: Tóng quan ve vat liéu ZnO 1.1 Mot so tinh chà't vat ly 1.1.1 Càu trùc tinh thè L1.2 Tinh chat dién 1.1.3 Tfnh chat quang 1.1.4 Tinh chat tu, quang- tu 1.1.4.1 Càu trùc vùng nàng lugng cùa ZnO pha ion kim loai chuyén tièp 1.1.4.2 Tmh chat quang va tu quang cùa ZnO pha ion kim loai chuyén tièp 1.1.4.3 Tinh chat tu cùa ZnO pha Co " Chucmg II: Càc phucmg phàp che tao vat liéu 2.1 Giói thieu chung 2.2 Càc phuang phàp tao màng 2.2.1 Phuang phàp phun tinh dién 2.2.2 Phuang phàpphùn xa Katot (sputtering) 2.2.3 Phuang phàp sol-gel 2.3 Phuang phàp tao bịt 2.3.1 Tao bót bang phuang phàp sol-gel 2.3.2 Tao bót bang phucmg phàp dịng kèt tua 15 15 15 15 15 16 16 16 Chucmg III: Càc kèt qua va thào luan 3.1 Che tao màng ZnO pha Co va nghién cùu càc tinh chat vat ly 3.1.1 Che tao màng ZnO 3.1.2 Màng ZnO pha kim loai chuyén tièp Co 3.2 Càc tmh chat Vàt ly cùa bòt ZnO pha Co 18 18 18 19 28 3.3 Kèt luan T, Kèt luan ^^ Tài liéu tham khào o^ Tóm tàt càc cịng trình nghién cùu Phu lue 35 MODÀU Hien nay, trén thè giói, càc hgp chat bàn dàn pha tu lồng DMS (diluted magnetic semiconductors) thc nhóm A"'B^ va A " B ^ ' dang dugc quan tàm nghién cùu manh me Do càc vat liéu ma càc bàn dàn khóng co tu tinh dugc pha tap bang càc kim loai chuyén tièp co nòng dò thàp de tao dugc tinh sàt tu nhàm su dung mot càch kèt hgp giùa dién tich cùa dién tu va spin cùa chùng ( huóng spin tu hay spintronics ) Trong càc bàn dàn dò, ZnO dugc xem nhu mot "hot topics" dugc du doàn bang tinh toàn ly thuyèt co tu tinh a nhièt dị phịng Ngồi ra, nị co nhiéu tinh chat qui bau nhu dị róng vùng càm lón (ca 3,3 eV ị nhiét dị phịng), nàng lugng lién ké't exciton tu lón (60 meV), dị ben vùng, dị ón dinh, nhiét dị nóng chày cao Vi vay ZnO hùa hen nhiéu trién vong su dung khóng nhùng linh vuc spin tu (spintronics) ma làm càc linh kién quang dién tu nhu man hình hién thi, bó Ipc song àm, laser, diode phàt quang, dién cuc suót Tuy bàn dàn pha tu loàng hùa hen nhiéu trién vong cho nhùng linh kién hién dai tucmg lai, dac biét thè he mày tmh lucmg tu, nhung hién cóng nghé che tao nhu viéc hiéu rò ca che sàt tu cùa vat liéu DMS càn phài thào luan va nghién cùu nhiéu.Trén thè giói, nhùng cóng trình nghién cùu ve DMS thu dugc nhùng kèt qua rat khàc Ve màt còng nghé che tao vat liéu,do nhiét dị nóng chày cùa ZnO rat cao va vàt liéu thàng hoa rat de bi tàch pha nén nị thng dugc che tao di dang màng mịng bang càc phuang phàp nhu phùn xa Katot [1], epitaxy bang chùm phàn tu [2], phun tinh dién [3], sol-gel [4] hồc di dang bịt nhu thuy phàn cng che, solgel, dóng kèt tua Phuang phàp epitaxy chùm phàn tu cho càc màng co pham chat rat cao, co thè tao càc màng mòng c5 vài nguyén tu su dung càc càu trùc nanomét nhtmg nò dòi hòi thièt bi rat dàt tién khóng thè co dugc ị Viét Nam Chinh vi vay chùng tói dà tièn hành tao màng, bịt ZnO bang phuang phàp tucmg dói rè tién nhu Sol-gel Muc tiéu cùa de tài che tao dugc màng va bót ZnO pha tap tu coban cho chùng tao nèn DMS co nhiét dò Curie cao han nhiét dị phịng, co tu dị khà lón va góp phàn tìm hiéu thém ve ca che tu tinh cùa càc màu che tao dugc Kèt qua cùa de tài dà tao dugc càc màng va bòt ZnO pha tap Co va dóng pha tap Ga va nghién cùu càc tinh chat vat ly, dac biét tinh chat tu va quang cùa chùng Vói kinh phf de tài dugc ho trg chùng tói dà nàng càp dugc he phó truyén qua nhu : ghép nói mày tinh,vièt thém phàn mém xù ly kèt qua Ngồi ra, de tài dà góp phàn tao cu nhàn Vàt ly Chat ràn va Khoa hoc Vat liéu nhu càc sinh vièn nghién cùu khoa hoc a càc nàm duói, càc hoc vién cao hoc Mac dù kinh phi co han cho mot de tài thuc nghiém vói nhùng vàn de rat mói nhung co thè làm tién de dat muc tiéu tièn tói tap hgp càn bó trién khai nhùng huóng phàt trién cùa Khoa Vat ly va lièn kèt nghién cùu vói càc ca quan khàc Chucmg I TÓNG QUAN VE VÀT LIÈU ZnO 1.1 Mot so tinh chat vat ly cùa ZnO 1.1.1, Càu trùc tinh thè Hgp chat bàn dàn ZnO co càu trùc tinh thè lue giàc wurtzite Mói nguyén tu Zn lién kèt vói ngun tu oxy nàm ị dinh can tu dién (hình 1.1) Nguyén tu Zn Nguyén tu Zn Hình 1.1 Càu trùc lue giàc witrzite cùa ZnO » o o Hàng so mang càu trùc a= 3,24265 A va c= 5,1948 A Ngoài càu trùc wurzite, nhùng diéu kién dac biét, tinh thè ZnO co thè tón tai a trang thài càu trùc lue phuang già (ò nhiét dị rat cao) hồc càu trùc gióng tinh thè Natri Clorua NaCl (a àp suàt rat cao) Khi tao màng ZnO trén de, nèu truc e vng góc vói bé màt de thi màt trén va mat duói cùa màng co the màt (oOOl) hoac (OOOI) tue mat cùa càc ion Zn hoàc oxy Lièn kèt cùa mang tinh the ZnO vùa lièn kèt ion vùa lién kèt dóng hóa tri 1.1.2 Tinh chat dién Khi che tao, ZnO luòn co dò dàn loai n vói càc donor càc sai hịng tu nhién gay nèn bai nùt khuyèt oxy va nguyén tu dién kè Tuy nhién, càc màng ZnO khóng pha tap thng khóng ben vùng va co dị dàn khóng cao VI vay, ZnO dugc làm tàng dị dàn va dị ón dinh bang càch pha càc tap nhu Al, Ga, In Nóng dị tap ZnO co thè dé'n 10^" cm"^ vi vày vói dị rịng vùng càm lón (3,3 eV a nhiét dò phòng) nò rat thich hgp dùng làm càc dién cuc st cho man hình hién thi, pin mat tròi va tucmg lai sé thay thè cho màng ITO (SnOjiIn) truyén thóng nhimg già thành khà dàt Gàn day dà co mot so cịng trình [5] cịng bó ve viee tao dị dàn loai p cho ZnO bang càch dóng pha tap Ga va N Tuy nhién viéc tao dugc bàn dàn ZnO loai p mot vàn de càn dàu tu nghién cùu nhiéu nùa 1.1.3 Tinh chat quang ZnO co dò rịng vìing càm lón, chun mùc -thàng va dac biét co nàng lugng lién kèt exciton lón (60 meV) han hàn GaN ( 20 meV) mot vat liéu dang dugc quan tàm nhiéu Chfnh vi thè, ZnO mot vat liéu hùa hen su dung làm càc linh kién quang dién tu, dac biét càc linh kién phàt quang vùng buóc song ngàn Phó quang huynh quang cùa ZnO a nhiét dò phòng thuòng co nhùng dai sau: Dai phàt xa a vùng tu ngoai gàn bị hàp thu, co dinh nàm a khồng 380nm ùng vói càc tài hgp exciton [61 Tùy theo phuang phàp che tao, chat lugng cùa màu, nò co thè exciton tu hoàc exciton lién kèt, exciton trang thài plasma hồc chóng chap nhiéu loai tài hgp Dai phó tu 390nm dé'n 410 nm ln tón tai vói mgi loai màu Dai tài hgp tap chat bièn màt nhiét dị lón 77 K va vi tri dinh phó khóng dói theo nhiét dị va bàn chat cùa nò tài hgp càp donor - acceptor [7] Vùng xanh Dinh phó huynh quang quanh buóc song 500nm co dac diém rat róng, tu Cho dé'n nay, co nhiéu quan diém khàc ve dinh tài hgp Co tàc già cho ràng tài hgp lién quan tói tap hydrị hoac sai hịng Zn nàm dién kè, co tàc già lai cho ràng bàn chat tài hgp gàn vói oxy dién kè [8,9,10] Tuy nhién, nhiéu cịng trình nghièng ve già thuyèt dò tài hgp lièn quan dé'n sai hòng tu nhién nùt khuyèt oxy [11] Cho dé'n nay, nguón góc cùa dinh vàn dugc thào luan Vùng da cam Bàn chat cùa dai phó tai 620 nm mang tinh thè ZnO tón tai càc nùt khuyèt cùa Zn hay càc ion O a vi tri dién kè tao thành cap donor - acceptor [12] Né'u ZnO tón tai tap chat càc kim loai kiém (Li, Na) thi dai se tàch thành vàng va cam Vùng dò Dinh chinh a 663 nm, càc lap lai phonon cùa nò Bàn chat cùa dai Fe-^"*" hoac Li"^ co càc hóa chat ban dàu dugc su dung de tao màu 1.1.4 Tinh chat tir, quang-tur 1.1.4.1 Càu trùc vùng nàng lugng cùa ZnO pha ion kim loai chuyén tiép Khi pha tap kim loai chuyén tièp, co su thay thè càc ion vào vi tri cùa ion kim loai nén mang tinh thè nén vùng càm hình thành nhiéu mùc tap chat Dói vói ZnO co càu trùc lue giàc xép chat, pha tap, ion Co^"" sé thay thè vào vi tri cùa Zn^"^ mang nén Cac ion dugc bao quanh bòi ion oxy tao nén càu trùc trng tu dién Ngun tó Co kim loai chuyén tièp co lóp 3d chua dién day Theo ly thut trng tinh thè lóp 3d sé bi rà suy bièn bòi va tàch thành mùc khàc nhau: mot suy bié'n bòi (ds) va mot suy bièn bòi (dy) Mùc suy bièn bòi co dói xùng xy, yz, zx Mùc suy bié'n bịi co dói xùng 3z^- r^ va x^- yl Hàm song cùa trang thài ds dugc tao bịi càc anion O^", co thè lai hồ vói trang thài p dai hoa tri cùa vàt liéu nén tao nén trang thài lién kèt (t^) va phàn lién kèt (t^*) Hàm song cùa trang thài suy bièn bòi 2(dy) nàm vùng càm dị su lai hồ vói trang thài p rat yèu, tón tai duói dang khóng lién ké't (e) va vàn nàm vùng càm (hình 1.2) E 3dY 3de d(3z^-r0,d(x^.y0 d(xy),d(yz), d(z Vùng hồ tri Hình 1,2 Sa cà'u trùc vùng nàng lugng kim logi chuyén tiép thay the vi tri kim logi nén tinh the 1.1.4.2 Tinh chóì quang va tu quang cùa ZnO pha ion kim logi chuyén tièp Càc tinh chat quang hoc cùa ion kim loai chuyén tièp xuàt hién co su chuyén dòi cùa càc dién tu giùa càc trang thài Chùng ta coi càc tap chat vat liéu nén tra quang hoc nhu tàm tich cuc quang hoc, bue xa dién tu co thè tucmg tàc vói càc tàm thóng qua qua trình lng cuc dién hồc lng cuc tu Do co su tucmg tàc này, càc tàm sé chuyén tu trang thài ban dàu (kich thich) sang trang thài cuòi (ca bàn) kèm theo qua trình bue xa photon Ion Co "^, nàm mang tinh thè ZnO sé chiù tàc dung cùa truòng tinh thè tu dién Do tucmg tàc Coulomb, tucmg tàc truòng tinh thè va tuang tàc spin - qui dao ma càc mùc nàng lugng cùa ion Co^^(3d^) tàch thành càc mùc nhu sa hình 1.3 ^E / / E,/2 / f \\• \ ''Ti El/2 El/2 ^\^A Ev2 El/2 ^E 'T, / / / El/2 ^^-^ E3/2 / - ^ E1/2 ^1/2 ^X^i ^/ E1/2 E.,,, ^A, ^A, E,2 '•^ A^I/2 HìnhL3 Cac mùc nàng lugng cùa Co^^ tritàng dó'i xùng tic dién Trong vat liéu DMS, tinh chat tu (dién tu 3d) cùa càc ion tap nhu Mn, Fé, Co, co thè dugc diéu khién bang tu trng va vi chùng co tucmg tàc manh vói dién tu hoà tri (dién tu sp) cùa bàn dàn chù, nén co the làm thay dói dị dàn cùa bàn dàn Su sàp xèp càc spin cùa ion kim loai chun tièp bang tu trng ngồi se ành huang tói càc chuyén dòi dién tu hay khà nàng phàt quang cùa bàn dàn, co thè goi dò hién tugng tu quang Nàng lugng cùa trang thài cùa nguyén tu co thè tàch thành nhiéu mùc co màt cùa tu tarịng, kèt qua phó phàt quang nhan dugc tra lèn rat phùc tap, nhu su bue xa cùa chuyén tièp luòng cuc giùa trang thài kich thich p va trang thài ban dàu s Càc mùc nàng lugng cùa càc trang thài p va s co ành huòng cùa tu truòng va su chuyén mùc giùa chùng dugc biéu dién trèn hình 1.4 10 ^ Bào cào Hịi nghi Vàt ly Chat ràn tồn qc thù TV, Nùi Coc 5-711 112003 Nan chàm Nd-Fe-B thiéu ket che tao trén ca so hgp kim thu dirac bang phuong phàp hoàn nguyén nhiét canxi 647 IT Tu, N.V Vumg, T.L Hung, N C Trang, N.C Kién, N.Q Trung Che tao màng mòng TiO^ bang phùn xa ca tòt chàn khóng 651 Nguyén Chi Thuàn, Nguyén Dàng Thành, Pham Thi Trang, Nguyén Xuàn Phùc, Nguyén Xuàn Nghia va Le Vàn Hong Càu truc tinh the màng mòng Pb(Zr,Ti)03 che tao bang phuong phàp phùn xa su dung bia góm càc phién kim loai thành phàn 656 Nguyén Thành Huy, Vu Ngoc Hùng, Nguyén Phù Thuy Ành huòng cùa pha tap Co va nhiét dò ù su tao thành pha TiOj anatase ^^^ Ngò Thi Hong Le, Nguyén Xuàn Nghia, Nguyén Xuàn Phùc, Le Quóc Minh, Le Vàn Hóng Nghién cùu che tao màng mịng ZnO pha tap Co bang phuang phàp nhùng phù HI Giang, N.T Hién, B.T.P Uyén, D.N Bà, N.N Toàn 666 Khào sàt càc iinh chat cùa màng mòng Zn,.^Co^O dugc che tao bang phuang phàp phàn huy nhiét 671 N.N Toàn, D.N Bà, H.T Giang, D.T.A Thu, N.T Hién Nghién cùu tinh chat quang, tir cùa màng ZnO pha Co che' tao bang phuang phàp sol-gel 676 Nguyén Thuc Hién, Ngò Xuàn Dai, Nguyén Anh Tuàn Che tao va nghién cùfu tinh chat quang cùa ZnO:Co D.H Làp, T.T.K Chi, N.Q Liém, N.N Tồn, D.T.A Thu, D.TX 681 Thào Anh hng cùa che dò xù ly nhiét dén càc tinh chat sàt dién, àp dién cùa góm PZT53/47 ^^^ Truìg Vàn Chucrng, Ngun Thi Thanh Huang, Nguyén Truòng Thg Mot so tfnh chat dién mịi, àp dién cùa góm PZT pha tap Nb 690 Plian Dinh Già, Nguyén Thi Khành Trang, VoDuy Dàn Nghién curu che tao màng mòng PZT trén ca sa phuong phàp sol-ge! 695 VùThu Hién, Vù Ngoc Hùng, Trinh Quang Thóng, Nguyén Phùc Hai, Nguyén Phii Thuy Hiéu ùng tu tra khóng Io vàt liéu manganite pha tap Ti 700 Phun Manh Huóng, Phun The Long, Seong-Cho Yu, Nguyén Chàu, Nguyén Due Thg •Ighién cùu hiéu umg tir tóng tra trén càc bang nanocomposite Fe73^Nb3CuiSii5^B7.^P^ Phan Manh Huàng, Ngun Chàu, Ngun Xn Chien, Seong-Cho-Yu, Ngun Hồng Luig, Phùng Quóc Thanh Bàn ve nguón góc thay dói entropy tir Ion manganite pha tap 7*^5 Nguyén Chàu, Phan Manh Huàng, Nguyén Due Thg, Phan The Long, Seong-Cho Yu, Nguyén Hoàng Lixang, Tran Due Hiép Tinh chat truyén dàn vàt liéu manganites Phan Vàn Nhàm, Tran Minh Tién '^" DAI HOC QC GIÀ HA NĨI TRl/ỊNG DAI HOC KHOA HOC TlTNHIÈN KHOA VÀT LY Pham Thi Mai \ • NGHIÈN CUU CHE TAO VA TINH CHAT CÙA VAT LIÈU ZnO Chuyén ngành: Vàt Ly chat ràn Mdso : 1.02.07 LUAN VÀN THAC SY KHOA HOC NGl/ÒI HirÒNG DÀN KHOA HOC PGS.TS Nguyén Thj Thuc Hién Ha Nói - nam 2005 Muc lue Lèi càm an Trang l Mòdàu Chuang I - Tóng quan ly thuyèt ve vàt liéu ZnO va ZnO pha tap Co 1.1 Mot so tfnh chat chung cùa vàt liéu ZnO 1.2 Càu trùc tinh thè cùa ZnO 1.2.1 Càu trùc mang luói kiéu lue giàc Wurtzite 1.2.2 Càu trùc mang luói kiéu làp phuang già kèm (Zinc - Blend) 1.2.3 Cà'u trùc mang luói kiéu NaCl 1.3 Cà'u trùc vùng nàng lirgng 1.3.1 Càu trùc vùng nàng lugng cùa ZnO 1.3.2 Cà'u trùc vùng nàng lugng cùa ZnO pha ion kim loai chuyén tiép 11 1.4 Mot so tfnh chat quang va tir 12 1.4.1 Tfnh chat hàp thu cùa bàn dàn 12 1.4.2 Cache phàt huynh quang bàn dàn 13 1.4.2.1 Khài niém chung 13 1.4.2.2 Tài hgp bue xa qua càc trang thài exciton 14 1.4.2.3 Tfnh chat huynh quang cùa ZnO 17 1.4.3 Tinh chat quang va tir quang cùa ZnO pha ion kim loai chuyén tiép 18 1.4.4.Tfnh chat tu cùa ZnO pha Co 22 1.4.4.1.Tfnh sàt lù cùa Coban 22 1.4.4.2 Tfnh chat tiìcùa ZnO pha Co 24 Chuang - Ky thuat thuc nghiém 28 2.1 Mot so phuang phàp che tao màng bàn dàn 28 2.1.1 Phuang phàp bó'c bay chàn khóng 28 2.1.2 Phuang phàp phun dung djch trén de nóng 28 2.1.3 Phuang phàp phun tinh dién 28 2.1.4 Phuang phàp phùn xa katot 28 , 2.1.5 Phuang phàp Sol-Gel 29 2.1.5.1 Giói thiéu chung 29 2.1.5.2 Càc khài niém ca bàn 29 2.1.5.3 Phucmg phàp nhùng phù 31 2.1.5.4 Lfu diém va nhugc diém cùa phuang phàp Sol-Gel ^^ 2.2 Càc phuang phàp nghién cùu vat liéu va he 32 2.2.1 Do bé day màng bang kfnh hién vi dién tu quél ( SEM ) 32 2.2.2 Phuang phàp nhicu xa tia X 33 2.2.3 Phuong phàp nghién cùu ifnh chat quang 35 2.2 3.1 Phuang phàp phó hàp thu va truyén qua 35 2.3.2 Phuong phàp phó quang huynh quang 35 2.2.4 Phuang phàp nghién cuu tfnh chat tu 37 Chuang 3: Ket qua thuc nghiém va thào luàn 40 3.1 Che tao màu 40 3.2 Ké't qua bé day màng 43 3.3 Két qua phàn tfch càu trùc 45 3.4 Két qua phàn tfch phó hàp thu va truyén qua 48 3.5 Két qua phàn tfch phó huynh quang 51 3.6 Ké't qua tu 54 Két luan 59 Tài liéu tham khào 60 DAI HOC QUÓC GIÀ, HA NĨI TRl/ỊNG DAI HOC KHOA HOC TU NHIÈN KHOA VAT L^