Nghiên cứu chế tạo cảm biến khí no2 trên cơ sở dây nano tungsten ( wo3) bằng phương pháp mọc trực tiếp

... cứu chế tạo cảm biến khí NO2 sở dây nano tungsten ( WO3 ) phương pháp mọc trực tiếp? ?? khảo sát nghiện cứu theo giai đoạn sau: -Giai đoạn 1: Nghiên cứu chế tạo cảm biến phương pháp mọc trực tiếp dây. .. chế tạo cảm biến khí NO2 sở dây nano Tungsten (WO3) phương pháp mọc trực tiếp? ?? với mục tiêu: - Chế tạo thành cơng cảm biến nhạy khí NO2 phương pháp mọc trực tiếp ( on-chip growth ) cho độ đáp ứng... tính chất nhậy khí dây nano WO3 mọc đế Al2O3 3.2.1 Kết chế tạo cảm biến: Bằng công nghệ On-chip chế tạo thành cơng cảm biến khí dây nano WO3 đế Al2O3 Cảm biến chế tạo với số lượng lớn ( 12 điện cực/