Nghiên cứu chế tạo cảm biến khí ứng dụng cho thiết bị quan trắc môi trường không khí

Bài viết này trình bày một số kết quả nghiên cứu tính chất nhạy khí ở nhiệt độ phòng của vật nanocomposite polyaniline/multi-walled carbon nanotuber (PANi/MWCNTs) ứng dụng cho thiết bị quan trắc môi trường.

Nghiên cứu khoa học công nghệ NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO CẢM BIẾN KHÍ ỨNG DỤNG CHO THIẾT BỊ QUAN TRẮC MƠI TRƯỜNG KHƠNG KHÍ Luyện Quốc Vương1,2,Nguyễn Thị Thủy3, Hồng Thị Hiến1, Bùi Văn Dân1, Chu Văn Tuấn1* Tóm tắt: Bài báo trình bày số kết nghiên cứu tính chất nhạy khí nhiệt độ phịng vật nanocomposite polyaniline/multi-walled carbon nanotuber (PANi/MWCNTs) ứng dụng cho thiết bị quan trắc mơi trường Nghiên cứu có tính hệ thống phân tích thành phần hóa học, liên kết hóa học, hình thái cấu trúc bề mặt vật liệu nanocomposite phù hợp cho việc chế tạo cảm biến khí thực Các kết khảo sát cho thấy cảm biến phát nồng độ khí NH3 mức 10 phần triệu (ppm) nhiệt độ phòng Kết nghiên cứu khẳng định khả chế tạo cảm biến khí NH3 có độ nhạy cao sở sử dụng vật nanocomposite tổng hợp phương pháp điện hóa Từ khóa: Vật liệu nanocomposite; Polyaniline; Ống nano cacbon đa lớp; NH3 ĐẶT VẤN ĐỀ Nghiên cứu vật liệu lai cấu trúc nano cho ứng dụng quan trắc môi trường hướng nghiên cứu công nghệ cao, tiếp cận với hướng nghiên cứu quan tâm giới đặc biệt hãng công nghiệp lớn IBM, Phillip, Intel,… Trong năm gần đây, việc nghiên cứu tổng hợp vật liệu polymer dẫn với nhiều tính chất độ bền mơi trường, độ dẫn điện tốt, dễ tổng hợp, dễ liên kết tích hợp với linh kiện điện tử [1, 2] Các cơng trình nghiên cứu phát rằng, vật liệu nano vật liệu lý tưởng để chế tạo loại cảm biến hóa học, xem vật liệu tiềm đầy hứa hẹn cho ứng dụng khoa học công nghệ vi điện tử, y sinh, đạt nhiều thành tựu định [2, 3] Trong số họ vật liệu polyme dẫn, phải kể đến polyaniline composite cấu trúc nano, kết hợp chất pha tạp để tạo tính chất ưu việt độ dẫn điện cao, diện tích bề mặt riêng lớn, thân thiện với môi trường, độ ổn định cao đặc biệt khẳ ứng dụng thiết bị quang học, cảm biến Cảm biến miễn dịch điện hóa xác định sớm ung thư cổ tử cung [13], cảm biến sinh học [14],… Tuy nhiên, ứng dụng vật liệu nanocomposite PANi/MWCNTs cảm biến khí hoạt động nhiệt độ phòng mở hướng nghiên cứu ứng dụng quan trắc môi trường [16] Đo lường môi trường vấn đề cấp thiết giới nói chung Việt Nam nói riêng Các sản phẩm thiết bị thí nghiệm phục vụ đo lường môi trường ngày đa dạng sẵn có thị trường Tuy nhiên, giá sản phẩm lại đắt phần lớn nhập Châu Âu Ở thời đại vấn đề sức khỏe người quan tâm đặt lên hàng đầu Sức khỏe người bị ảnh hưởng trực tiếp từ mơi trường xung quanh, đó, nhiễm mơi trường khơng khí, mơi trường nước gây cho sức khỏe tổn hại nghiêm trọng Vì vậy, việc phân tích, đánh giá phát khí thải độc hại nồng độ thấp yêu cầu đặt cho nhà khoa học nhóm nghiên cứu Để đáp ứng nhu cầu cấp thiết trên, cần phải xây dựng hệ thống thiết bị quan trắc khơng khí tự động sử dụng cảm biến khí hiệu suất cao (độ nhạy cao, giới hạn phát thấp cỡ ppm, thời gian hồi đáp/hồi phục nhanh, độ chọn lọc tốt) sử dụng vật liệu nanocomposit làm lớp nhạy khí Với quy trình kiểm tra đơn giản, nhanh, xác thành phần khí cần phát hiện, thiết bị nhỏ gọn Đối với cảm biến, có nhiều đại lượng đặc trưng cho tính chất cảm biến, liệt kê tính chất quan trọng Tạp chí Nghiên cứu KH&CN quân sự, Số Đặc san Hội thảo Quốc gia FEE, 10 - 2020 187 Kỹ thuật Điện tử – Vật lý – Đo lường + Độ nhạy thay đổi tín hiệu đo đơn vị nồng độ chất phân tích, điều hiểu độ dốc đồ thị biểu diễn biến đổi theo nồng độ Hệ số đôi lúc dễ bị nhầm lẫn với giới hạn đo Sự nhạy khí cảm biến đánh giá độ nhạy S, khả phát khí với nồng độ xác định, xác định tỷ số: S R R air (1) gas Trong đó: - Rair: Điện trở cảm biến chưa tương tác với khí đo - Rgas: Điện trở cảm biến tương tác với khí đo Thơng thường cảm biến khí có lớp nhạy khí vật liệu oxit kim loại bán dẫn Do đó, theo nghiên cứu logarit độ nhạy tỷ lệ tuyến tính với logarit nồng độ khí đo khoảng từ vài chục ppm đến vài nghìn ppm Tuỳ theo loại vật liệu sử dụng làm cảm biến cấu tạo lớp nhạy khí mà cảm biến có chế nhạy khí độ nhạy khác Hiện nay, lĩnh vực chế tạo vật liệu cảm biến khí, nhà khoa học quan tâm nghiên cứu chế tạo thử nghiệm mẫu vật liệu nhạy khí mới, nhằm tăng độ nhạy giảm nhiệt độ làm việc tối ưu cho vật liệu làm cảm biến khí, để cảm biến có độ bền cao cơng suất tiêu thụ thấp + Độ chọn lọc thuộc tính cảm biến mà cảm biến phản hồi chọn lọc với nhóm chất phân tích chất đặc biệt Sự có mặt loại khí khác gần khơng ảnh hưởng tới điện trở cảm biến Đây tính chất quan trọng cảm biến khí đảm bảo cho cảm biến hoạt động ổn định xác định xác lượng khí cần đo mơi trường khí hỗn hợp Tính chọn lọc cảm biến phụ thuộc vào yếu tố như: vật liệu chế tạo, loại tạp chất bán dẫn, nồng tạp chất, nhiệt độ làm việc,… + Giới hạn đo nồng độ thấp chất phân tích cảm biến phát với điều kiện nhiệt độ + Khoảng làm việc khoảng nồng độ chất phân tích từ giới hạn đo tới nồng độ cao để cảm biến hoạt động + Độ tuyến tính độ lệch tương đối đồ thị hiệu chuẩn thực nghiệm xác định tạo thành đường thẳng lý tưởng + Độ phân giải nồng độ thấp mà cảm biến phân biệt + Thời gian đáp ứng thời gian cho cảm biến phản hồi thay đổi nồng độ (90% giá trị bão hoà) + Thời gian hồi phục thời gian mà tín hiệu cảm biến trở giá trị ban đầu trước cho khí + Nhiệt độ làm việc nhiệt độ mà cảm biến có độ hồi đáp cao + Tuổi thọ thời gian lớn mà cảm biến cịn hoạt động NỘI DUNG CẦN GIẢI QUYẾT 2.1 Chuẩn bị thực nghiệm 2.1.1 Các thiết bị - Hệ điện hóa AutoLab PGS302 (Metrohm AutoLab, Hà Lan) để tổng hợp mạng dây nano PANi vật liệu nanocomposite - Máy đo điện trở Keithley 2700 phần mềm VEE Pro đọc ghi giá trị điện trở từ 188 L Q Vương, …, C V Tuấn, “Nghiên cứu chế tạo cảm biến … môi trường khơng khí.” Nghiên cứu khoa học cơng nghệ máy Keithley 2700, hệ dùng để khảo sát đặc tính nhạy khí 2.1.2 Hóa chất - Anilin 98% hãng Merch - Đức - Axít sunfuric H2SO4 99,5%, Trung Quốc - Axeton 99,5%, Trung Quốc - Khí Nitơ N2 99,9% mua từ công ty Air Liquide Group Singapore - Khí chuẩn NH3 có độ 99,99% mua từ công ty Air Liquide Group Singapore 2.2 Tổng hợp vật liệu nhạy khí Trước q trình điện hóa, vi điện cực xử lý bề mặt K 2Cr2O7/H2SO4 (bão hịa), sau hoạt hóa điện hóa dung dịch 0,5 M H2SO4 điện áp từ -1,5 V đến +2,2 V, tốc độ quét 25 mV/s Để pha tạp polyaniline với ống nano cacbon đa lớp (PANi/MWCNTs), sau xử lý bề mặt, hạt nano sắt cấy lên bề mặt vi điện cực (tạo mầm để cấy MWCNT lên) cách ngâm vi điện cực dung dịch FeSO4 M giờ, sau đó, quét xung thời gian 15 giây để tạo hạt nano Fe lên vi điện cực Sau cấy hạt nano sắt lên bề mặt điện cực, MWCNTs tiếp tục mọc lên phương pháp tổng hợp lắng đọng hóa học pha CVD nhiệt độ 700 oC thời gian phút 10 phút Sau đó, tiến hành pha tạp PANi/MWCNTs, cách điện hóa dung dịch LiClO4 0,1 M, pH = 7; 0,5 mM aniline 98%; tốc độ quét 0,1 mVs-1; khoảng quét 0,00 ÷ 0,65 V; số vịng qt: 02 vịng Sau q trình điện hóa, vi điện cực làm nước khử ion sấy khô nhiệt độ 80 oC Mẫu sau tổng hợp, phân tích cấu trúc kính hiển vi điện tử quét phân tích thành phần hóa học phổ tử ngoại UV-Vis phổ hồng ngoại FT-IR 2.3 Khảo sát tính chất nhạy khí cảm biến Để đo đặc trưng nhạy khí sử dụng khí chuẩn điều khiển lưu lượng khí để pha trộn khí tạo nồng độ khí cần đo Sơ đồ nguyên lý hệ đo hình Hình Sơ đồ nguyên lý hệ trộn khí Các phận hệ đo là: - Bộ điều khiển lưu lượng khí (MFC): hệ dùng điều khiển lưu lượng khí để pha trộn khí nhằm tạo nồng độ khí cần đo - Bộ gia nhiệt: dùng nguồn điện đốt nóng dây điện trở tạo nhiệt độ cần thiết để cảm biến làm việc - Buồng chứa mẫu: gồm đầu đo để áp vào điện cực điện cực lược để đo điện Tạp chí Nghiên cứu KH&CN quân sự, Số Đặc san Hội thảo Quốc gia FEE, 10 - 2020 189 Kỹ thuật Điện tử – Vật lý – Đo lường trở cảm biến Đầu đo nối với máy điện trở Keithley 2700 - Máy đo điện trở Keithley 2700 phần mềm VEF Pro đọc ghi giá trị điện trở từ máy Keithley 2700 Chúng khảo sát đặc trưng nhạy khí thơng qua thay đổi điện trở cảm biến khơng khí mơi trường khí cần đo hệ đo điện trở Keithley 2700 phần mềm VEE Pro đọc-ghi giá trị điện trở từ máy Keithley 2700 Để đo đặc trưng nhạy khí chúng tơi sử dụng khí chuẩn điều khiển lưu lượng khí để pha trộn khí tạo nồng độ khí cần đo (bảng 1) Cảm biến đo với cồn dải nồng độ từ 10 ppm đến 500 ppm nhiệt độ phòng Các khí chuẩn với độ 99,99 % mua từ công ty Air Liquide Group Singapore Vật liệu PANi/MWCNTs phủ lên hệ vi điệc cực Pt Mẫu đo đặt buồng thủy tinh, xả đầy khơng khí áp suất khí Khí đưa vào buồng cách bơm lượng cần đo thông qua hệ thống ống nối với buồng chứa mẫu Khi xuất chất khí có tính khử, điện trở cảm biến tăng, đợi điện trở cảm biến ổn định, mở buồng chứa mẫu, điện trở cảm biến quay giá trị ban đầu Độ nhạy khí (S) xác định tỷ số điện trở mẫu có khí NH3 (Rgas) khơng khí (Rair) Bảng Dải nồng độ khí NH3 cần đo (sử dụng khí chuẩn NH3 1%) MFC3(sccm) MFC4(sccm) MFC5(sccm) MFC1(sccm) MFC2(sccm) C(ppm) Air Air gas off off 200 199,5 0,5 25 off off 200 199 50 off off 200 198 100 off off 200 19 250 off off 200 190 10 500 KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN 3.1 Ảnh hiển vi điện tử quét Hình Ảnh FE-SEM a) MWCNTs, b) PANi/MWCNTs Trong báo này, chúng tơi dùng MWCNTs biến tính với PANi để tạo vật liệu nanocomposite (PANi/MWCNTs) Hình kết phân tích kính hiển vi điện tử quét dạng phân bố sợi MWCNTs, PANi/MWCNTs sau phủ bề mặt điện cực Các sợi MWCNTs thu (hình 2a) có đường kính từ đến 50 nm nhiệt độ 700 oC thời gian phút Kết phân tích kính hiển vi điện tử quét (hình 2b) cho thấy, pha tạp MWCNTs cấu trúc màng vật liệu nanocomposite có thay đổi rõ nét, tốc độ polyme hình thành nhanh dẫn đến vật liệu nanocomposite PANi/MWCNTs có cấu 190 L Q Vương, …, C V Tuấn, “Nghiên cứu chế tạo cảm biến … môi trường khơng khí.” Nghiên cứu khoa học cơng nghệ trúc xốp kích thước sợi lớn đường kính từ 50 đến 100 nm Khiến trình phân tán MWCNTs vào mạng dây PANi tốt Màng nhận MWCNTs bám thành dây PANi có cấu trúc xốp đặc biệt, đặn, có chiều sâu Cấu trúc quan tâm nghiên cứu thích hợp ứng dụng phát triển cảm biến khí hoạt động nhiệt độ phịng 3.2 Phân tích hồng ngoại Sự tăng dải hấp thụ tập trung 3167,81 đặc trưng cho liên kết kéo dãn N-H mạng PANi (hình 3a), điều phù hợp với việc tăng dải dao động co dãn tập trung 2363,11cm-1 đặc trưng cho dạng NH2+ –C6H4-NH2+-C6H4- [8,11], chứng tỏ mức độ q trình oxi hóa lớn dẫn đến lượng lớn muối emeraldine tạo trường hợp tổng hợp PANi Hơn nữa, hình thành nhóm NH2+ làm gãy cặp -electron nguyên tử N, kết tạo thành vị trí tích điện dương Điều làm tăng chuyển động electron đơn lẻ vị trí polaronic kết mạng polaron tạo thành Đỉnh 1300 1240cm-1 C-N+ kéo dãn dạng amine thứ sinh [5, 7, 9, 15] C-N+  kéo dãn [4, 6, 10] chúng tạo thành suốt q trình proton hóa chuỗi PANi Hình Phổ FTIR (a) PANi, (b) PANi/ MWCNTs Tạp chí Nghiên cứu KH&CN quân sự, Số Đặc san Hội thảo Quốc gia FEE, 10 - 2020 191 Kỹ thuật Điện tử – Vật lý – Đo lường Hình 3b phổ hồng ngoại PANi/MWCNTs quan sát vùng từ 800 đến 4000 cm-1 Tương tự trường hợp PANi nguyên chất dải hấp thụ 1600 1500 cm-1 đặc trưng cho dao động kéo dãn vịng khơng đối xứng C6 dạng quinoid benzoid PANi [8, 10, 12] Tỷ lệ cường độ dạng (benzoid/quinoid) màng PANi/MWCNTs 7,3 điều chứng tỏ phần vòng quinoid chuyển thành vòng benzoid làm lượng vòng benzoid tăng quinoid giảm làm tăng khả dẫn điện màng Sự thay đổi mật độ bao gồm chuyển dạng ermeraldine pernigraniline thành dạng muối emeraldine cặp đơi với q trình pronton hóa Q trình proton hóa thúc đẩy tăng hàm lượng H+ dung dịch Tuy nhiên, lượng H+ lớn làm giảm dạng muối emeraldine H+ kết hợp lại với ion Xcủa muối emeraldine làm tái tạo lại dạng vòng quinoid Đỉnh 1660 cm-1 đặc trưng cho liên kết hóa trị nhóm cacbonyl dạng amide Như vậy, trường hợp tổng hợp composite PANi chứa MWCNTs thu kết cho màng thu độ dẫn điện cao có khả ứng dụng cảm biến sinh học [14] cảm biến khí hoạt động nhiệt độ phòng 3.3 Nghiên cứu đặc trưng nhạy khí Điện trở cảm biến: Từ hình 4, thấy thay đổi điện trở có mặt khí NH vật liệu PANi PANi/MWCNTs khác đáng kể Điện trở dây nano PANi tăng nhanh từ 18 kΩ lên đến 34 kΩ (hình 4a) điện trở vật liệu nanocomposite PANi/MWCNTs tăng từ 18 kΩ lên đến 200 kΩ (hình 4b) đặc biệt tăng từ 18 kΩ lên đến 48 kΩ (hình 4b) nồng độ khí NH 10 ppm, điều chứng tỏ dây nano PANi đặc trưng tính dẫn điện bán dẫn loại p phù hợp với nhận định từ ảnh SEM Hình Giản đồ thay đổi điện trở cảm biến Độ đáp ứng nhạy khí cảm biến: Hình cho thấy, độ đáp ứng cảm biến khí sử dụng vật liệu PANi vật liệu PANi/MWCNTs với nồng độ khí NH3 10, 25,50, 100, 250 500 ppm Nhìn qua hình vẽ dễ thấy, độ đáp ứng vật liệu composite PANi/MWCNTs có độ đáp ứng cao so với vật liệu PANi Do vật liệu bán dẫn khí NH3 khí khử nên đáp ứng cảm biến tăng ổn định giảm tạo thành xung tương ứng với có mặt khơng có mặt khí đo Dải nồng độ NH3 khảo sát thay đổi từ 10, 25, 50, 100, 250 500 ppm điều cho thấy khả phát nồng độ tương đối thấp nằm giới hạn mùi khó chịu Tín hiệu cảm biến sử dụng ổn định có độ lặp lại, độ tin cậy cao Như vậy, cảm biến khí sở màng nano PANi/MWCNTs ứng dụng tốt để phát khí NH3 với ngưỡng giới hạn phát nồng độ khí thấp 10 ppm [5] 192 L Q Vương, …, C V Tuấn, “Nghiên cứu chế tạo cảm biến … mơi trường khơng khí.” Nghiên cứu khoa học cơng nghệ Hình Độ đáp ứng của cảm biến khí NH3 vật liệu (a) PANi (b) PANi/MWCNTS Kh«ng khÝ 35 PANi 250 ppm NH3 Thời gian đáp ứng Điện trở (Ohm) 30 36 s 90% 25 90% 20 170 s Thêi gian håi phôc 15 10 1800 2000 2200 2400 2600 Thêi gian (s) Hình Thời gian đáp ứng thời gian hồi phục vật liệu PANi/MWCNTs 100 ppm khí NH3 nhiệt độ phịng Thời gian đáp ứng thời gian hồi phục: Sơ đồ tính thời gian đáp ứng thời gian hồi phục cảm khí NH3 nhiệt độ phịng mơ tả hình Thời gian hồi đáp cảm biến trường hợp 36 s, thời gian hồi phục cảm biến trường hợp 170 s tương ứng với nồng độ khí NH3 250 ppm KẾT LUẬN Bằng phương pháp điện hóa qt vịng tuần hồn nhóm tác giả tổng hợp thành cơng PANi pha tạp với MWCNTs để tạo vật liệu nanocomposte có định hướng ứng dụng làm cảm biến khí thiết bị quan trắc môi trường Chúng sử dụng vật liệu PANi/MWCNTs vào khảo sát tính chất nhạy với khí NH3, cảm biến nhạy nồng độ Tạp chí Nghiên cứu KH&CN quân sự, Số Đặc san Hội thảo Quốc gia FEE, 10 - 2020 193 Kỹ thuật Điện tử – Vật lý – Đo lường tương đối thấp 10 ppm Đặc biệt với cảm biến hoạt động nhiệt độ phòng, ổn định có độ lặp lại, độ tin cậy cao độ nhạy tuyến tính với nồng độ khí NH3 Kết thu cho thấy khả đưa thị trường loại cảm biến khí cho phép phát nồng độ NH3 hệ thống thiết bị quan trắc mơi trường khơng khí Lời cảm ơn: Nghiên cứu tài trợ Quỹ Phát triển khoa học công nghệ Quốc gia (NAFOSTED) đề tài mã số: 12/2020/TN TÀI LIỆU THAM KHẢO [1] U Lange et al, “Conducting polymers in chemical sensors and arrays”, A Chimica Acta, Vol 614 (2008), pp - 26 [2] M Andre et al, “Review of electronic and potical properties of semiconduction πconjugated polymers: applications in optoelectronics”, P International, Vol 53 (2004), pp 1397-1412 [3] D.N Debarnot et al “Polyaniline as a new sensitive layer for gas sensors”, A Chimica Acta, Vol 475 (2003), pp - 15 [4] J.L Bredas et al, “Polarons, bipolarons, and solitons in conducting polymers”, A Chem Res, Vol 18 (1985), pp 309-315 [5] M Hirata et al, “Characteristics of an organic semiconductor polyaniline film as a sensor for NH3 gas”, S Actuators A Phys, Vol 40 (1994), pp.159–163 [6] Z.M Huang et al, “A review on polymer nanofibers by electrospinning and their applications in nanocomposites”, C Sci Technol, Vol 63 (2003), pp 2223-2253 [7] A Hulanicki et al, “Chemical sensors: definitions and classification” P Appl Chem Vol 63 (1991), pp.1247-1250 [8] J.Y Kim et al , “The manufacture and properties of polyaniline nano-films prepared through vapor-phase polymerization”, S Met, Vol 157 (2007), pp 336-342 [9] Liu C et al, “Electrochemical deposition of nanostructured polyaniline on an insulating substrate”, Electrochem commun, Vol 12 (2010), pp 36–39 [10] M Matsuguchi et al, “Effect of humidity on NH3 gas sensitivity of polyaniline blend films”, S Actuators B Chem, Vol 94 (2003), pp 46-52 [11] S Mikhaylov et al, “The PANI-DBSA content and dispersing solvent as influencing parameters in sensing performances of TiO2/PANI-DBSA hybrid nanocomposites to ammonia”, RSC Adv, Vol (2016), pp 82625-82634 [12] A Ramanavičius et al, “Electrochemical sensors based on conducting polymerpolypyrrole”, Electrochim Acta, Vol 51 (2006), pp 6025-6037 [13] L D Tran et al, “Development of interdigitated arrays coated with functional polyaniline/MWCNT for electrochemical biodetection: Application for human papilloma virus”, Talanta, Vol 85 (2011), pp 1560–1565 [14] C.V Tuấn et al, “Nghiên cứu chế tạo vật liệu nanocomposite polyaniline ứng dụng cho cảm biến sinh học”, TC Khoa học & Công nghệ Việt Nam, số 61 (2019), tr 63-66 [15] B Butoi et al, “Morphological and Structural Analysis of Polyaniline and Poly(oanisidine) Layers Generated in a DC Glow Discharge Plasma by Using an Oblique Angle Electrode Deposition Configuration”, Polymers, Vol (2017), pp.732-750 [16] A Roy et al, “Polyaniline-multiwalled carbon nanotube (PANI-MWCNT): Room temperature resistive carbon monoxide (CO) sensor”, S Metals, Vol 245 (2018), pp 182-189 194 L Q Vương, …, C V Tuấn, “Nghiên cứu chế tạo cảm biến … mơi trường khơng khí.” Nghiên cứu khoa học cơng nghệ ABSTRACT RESEARCH FOR FABRICATION OF GAS SENSORS FOR APPLICATION EQUIPMENT AIR ENVIRONMENTAL MONITORING In the paper, some results obtained from studying the gas-sensitivity properties at room temperature for lattice structures of nanocomposite application for environmental monitoring equipment are presented A systematic investigation such as the analysis of the chemical composition, chemical bond, morphology of surface structure of nanocomposite lattice is found appropriate for fabricating the gas sensor Experimental studies show that the sensors may detect the concentration of NH3 gas reaching the rate up to 10/1000000 (ppm) at room temperature This confirms the possibility of fabricating high sensitive NH3 gas sensors based on using the nanocomposite lattice structures synthesized by electromchemical method Keywords: Nanocomposite materials; Polyaniline; Multiwalled carbon nanotubes; NH3 Nhận ngày 16 tháng năm 2020 Hoàn thiện ngày 05 tháng 10 năm 2020 Chấp nhận đăng ngày 05 tháng 10 năm 2020 Địa chỉ: 1Trường Đại học Sư phạm Kỹ thuật Hưng Yên, Dân Tiến, Khoái Châu, Hưng Yên; Trường Cao đẳng Cơ điện Hà Nội, 160 Mai Dịch, Cầu Giấy, Hà Nội; Trường Đại học Điện lực, 235 Hoàng Quốc Việt, Bắc Từ Liêm, Hà Nội * Email: chuvantuan78@mail.com Tạp chí Nghiên cứu KH&CN quân sự, Số Đặc san Hội thảo Quốc gia FEE, 10 - 2020 195 ... hướng ứng dụng làm cảm biến khí thiết bị quan trắc môi trường Chúng sử dụng vật liệu PANi/MWCNTs vào khảo sát tính chất nhạy với khí NH3, cảm biến nhạy nồng độ Tạp chí Nghiên cứu KH&CN quân sự,... 10 ppm [5] 192 L Q Vương, …, C V Tuấn, ? ?Nghiên cứu chế tạo cảm biến … mơi trường khơng khí. ” Nghiên cứu khoa học cơng nghệ Hình Độ đáp ứng của cảm biến khí NH3 vật liệu (a) PANi (b) PANi/MWCNTS... liệu cảm biến khí, nhà khoa học quan tâm nghiên cứu chế tạo thử nghiệm mẫu vật liệu nhạy khí mới, nhằm tăng độ nhạy giảm nhiệt độ làm việc tối ưu cho vật liệu làm cảm biến khí, để cảm biến có