Tóm tắt Luận văn Thạc sĩ: Nghiên cứu, thiết kế, chế tạo hệ thống cảm biến vi lỏng phát hiện vật thể trong kênh dẫn

Đề tài này thực hiện nghiên cứu, thiết kế, chế tạo và thử nghiệm một cấu trúc hệ thống cảm biến vi lỏng phát hiện vật thể trong kênh dẫn hướng tới các ứng dụng trong lĩnh vực y sinh học... Cấu trúc đề xuất hoạt động dựa trên nguyên lý điện dung vi sai với khả năng hoạt động trong các điều kiện môi trường đặc thù. Thiết kế các mạch tích hợp điều khiển, xử lý điện tử đánh giá khả năng hoạt động và kết quả phát hiện vật thể trong kênh dẫn.

ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ - - TRẦN HOÀI NAM NGHIÊN CỨU, THIẾT KẾ, CHẾ TẠO HỆ THỐNG CẢM BIẾN VI LỎNG PHÁT HIỆN VẬT THỂ TRONG KÊNH DẪN Ngành: Công Nghệ Kỹ thuật Điện tử, Truyền thông Chuyên ngành: Kỹ thuật Điện tử Mã số: 8510302.01 TÓM TẮT LUẬN VĂN THẠC SĨ CÔNG NGHỆ KỸ THUẬT ĐIỆN TỬ, TRUYỀN THÔNG HÀ NỘI – 2018 Mục lục Mục lục MỞ ĐẦU Chương GIỚI THIỆU CHUNG 1.1 Một số ứng dụng Công nghệ Nano Sinh học 1.2 Vi cảm biến kiểu tụ điện Chương THIẾT KẾ MÔ PHỎNG HỆ THỐNG CẢM BIẾN VI LỎNG PHÁT HIỆN VẬT THỂ TRONG KÊNH DẪN 2.1 Cấu trúc cảm biến 2.2 Mô phần cứng 2.3 Thiết kế mạch điều khiển tập trung tế bào 13 Chương CHẾ TẠO VÀ THỬ NGHIỆM 17 KẾT LUẬN 21 Kết luận 21 Hạn chế và hướng phát triển 21 TÀI LIỆU THAM KHẢO 23 MỞ ĐẦU Tổng quan Những nghiên cứu cơng nghệ sinh học thường đòi hỏi số lượng lớn trang thiết bị phòng thí nghiệm, cụ thể phân tích DNA, nghiên cứu loại thuốc, trang thiết bị thu thập thông tin người bệnh film chụp X-quang, cắt lớp…Để đáp ứng nhu cầu vấn đề trên, kỹ thuật hàng đầu lĩnh vực này nghiên cứu chế tạo là chíp sinh học (Biochip) Biochip ứng dụng nhiều lĩnh vực, phổ biến là nghiên cứu gene, nông nghiệp, kiểm nghiệm thực phẩm; dùng để nghiên cứu độc chất, protein, hóa sinh; phát loại vi trùng gây bệnh, xuất thức ăn, nước uống và thể người; hay phát nhanh tác nhân chiến tranh hóa, sinh học Hình 1: Một số mẫu chíp sinh học (nguồn: Internet) Microfluidic (kênh dẫn vi lỏng) lĩnh vực thú vị khoa học kỹ thuật cho phép phân tích kiểm sốt quy mơ nhỏ thiết bị nhỏ gọn, tiết kiệm chi phí, hiệu hệ thống thơng thường khác Chúng có khả đáp ứng nhu cầu phản ứng tốc độ nhanh cách giảm kích thước kênh dòng chảy khơng gian phản ứng, qua giảm không gian khuếch tán Công nghệ vi lỏng ứng dụng nhiều ngành: Kỹ thuật, Vật lý, Hóa học, Công nghệ vi chế tạo Công nghệ sinh học Công nghệ này bước trở thành công nghệ mũi nhọn cho phép chế tạo vi hệ thống sử dụng vi thể tích chất lỏng, (còn biết đến với tên “phòng thí nghiệm siêu nhỏ tích hợp chip” labon-chip) Các cảm biến sở hệ vi lỏng có khả phát vi rút cúm A, tế bào ung thư,… Được ứng dụng nhiều lĩnh vực khác như: nuôi cấy tế bào, lọc tách thành phần sinh học, hóa học… Mục tiêu đề tài Đề tài này thực nghiên cứu, thiết kế, chế tạo và thử nghiệm cấu trúc hệ thống cảm biến vi lỏng phát vật thể kênh dẫn hướng tới ứng dụng lĩnh vực y sinh học… Cấu trúc đề xuất hoạt động dựa nguyên lý điện dung vi sai với khả hoạt động điều kiện môi trường đặc thù Thiết kế mạch tích hợp điều khiển, xử lý điện tử đánh giá khả hoạt động và kết phát vật thể kênh dẫn Chương GIỚI THIỆU CHUNG 1.1 Một số ứng dụng Công nghệ Nano Sinh học Công nghệ sinh học nghiên cứu vào phát triển và tồn dạng tế bào và mô đa chức thực vật, động vật, ảnh hưởng từ tế bào sinh vật đến hoạt động hệ thống sinh học Hình 2: Phạm vi ứng dụng cơng nghệ nano sinh học [4] Phạm vi ứng dụng công nghệ sinh học nano rộng, từ lĩnh vực y học, dược phẩm, sinh học, tới ngành công nghiệp thực phẩm và nông nghiệp Trong lĩnh vực sinh học và y tế, công nghệ sinh học nano ứng dụng để nghiên cứu gene học (genomics), tin sinh học (bioinformatics), xác định trình tự gene, tìm kiếm và sàng lọc dược phẩm, tế bào… Đặc biệt, hệ thống dẫn chuyển và hướng đích dược phẩm sở công nghệ nano ngày càng quan tâm nghiên cứu và đưa vào ứng dụng, thực tế hầu hết dược phẩm khơng có tác dụng dược lý hữu ích mà có tác dụng phụ Các hệ thống này bao gồm hạt nano (nanoparticles) có chức điều khiển dược phẩm tác động trực tiếp và tế bào đích và khơng gây ảnh hưởng đến tế bào xung quanh Trong lĩnh vực dược phẩm, công nghệ nano sinh học với ngành hóa học tạo phát triển mạnh mẽ mảng tìm kiếm dược phẩm Những triển vọng công nghệ dược phẩm mở với đời và phát triển công nghệ DNA chip hay DNA microarray Trong ngành công nghiệp thực phẩm và nông nghiệp, công nghệ nano sinh học ứng dụng để bảo quản thực phẩm, chế tạo màng nhựa tổng hợp nano phân hủy sinh học, kỹ thuật siêu lọc.v.v… 1.2 Vi cảm biến kiểu tụ điện Cảm biến điện dung bình thường mang lại lựa chọn đặc biệt hấp dẫn phương pháp phát khơng xâm nhập, nhạy cảm cao và phù hợp cho việc dẫn điện cách điện chất lỏng Phần lớn máy dò này đòi hỏi phải có máy phân tích trở kháng bên ngoài, làm cho khó khăn để kết hợp trực tiếp vào thiết bị microfluidic nhỏ Cảm biến điện dung điển hình hoạt động dựa thay đổi thông số cấu trúc tụ điện theo thông số cần cảm biến dẫn đến thay đổi điện dung Có nhiều cấu trúc cảm biến điện dung thiết kế và chế tạo, cấu trúc đơn giản và phổ biến là cấu trúc hai điện cực song song Tùy thuộc vào thông số thay đổi tụ điện mà cảm biến điện dung chia thành loại chính: - - - Cảm biến điện dung loại ε (ε-type): cảm biến điện dung với giá trị A và d không thay đổi, cảm biến hoạt động dựa thay đổi tính chất chất điện mơi, thường sử dụng cho cảm biến đo dịch chuyển, phân tích Cảm biến điện dung loại A (A-type): cảm biến điện dung với chất điện môi khoảng cách điện cực (ε và d) không thay đổi, cảm biến hoạt động dựa thay đổi diện tích hiệu dụng tụ Cảm biến loại này thường dùng cho ứng dụng đo dịch chuyển Cảm biến điện dung loại D (D-type): cảm biến điện dung với giá trị A và ε không thay đổi, cảm biến hoạt động dựa thay đổi khoảng cách điện cực Loại này thường sử dụng cho cảm biến đo khoảng cách, phát dịch chuyển, phát vật thể A, d ε đại diện cho tiết diện cực, khoảng cách cực lớp chất điện mơi điện cực đặt Cảm biến điện dung coplanar đề xuất năm gần Với nhu cầu thiết bị lab-on-a-chip và nhu cầu thu nhỏ cảm biến cấu trúc phẳng, cảm biến điện dung coplanar với điện cực interdigital đề xuất là cấu hình điện cực định kỳ sử dụng nhiều Với cấu trúc điện cực cảm biến nằm mặt phẳng, mẫu vật dễ dàng cảm nhận kiểm tra từ mặt cảm biến, thay khơng gian điện cực, phần lớn mở rộng lĩnh vực ứng dụng cảm biến điện dung Bằng cách sử dụng kỹ thuật sản xuất tiên tiến, điện cực coplanar chế tạo chặt chẽ, và giá trị điện dung tương đối cao thu cách dễ dàng và ổn định so với phương pháp thông thường [6]–[10] Bằng cách tạo cấu trúc tụ điện phẳng hình vòng cung gồm điện cực tạo thành căp tụ vi sai với lớp điện môi bao gồm: chất lỏng mơi trường và tế bào đích Một cực cấy chế phẩm sinh học có đặc tính nhạy cảm với tế bào cần phát và giữ tế bào lại Khi số lượng tế bào nhận biết giữ lại, làm thay đổi giá điện dung hai điện cực, từ thu kết phát có diện tế bào bệnh hay không và ước lượng số lượng là thông qua thay đổi giá trị điện dung so với điện dung cặp điện cực so sánh Cấu trúc cảm biến có chức di chuyển tập trung làm giàu bào thông qua trường điện từ khơng đồng có khả điều chỉnh tín hiệu điện AC có tần số xác định khoảng 10kKHz đến 100MHz phương pháp thao tác tế bào điện di điện môi Chương THIẾT KẾ MÔ PHỎNG HỆ THỐNG CẢM BIẾN VI LỎNG PHÁT HIỆN VẬT THỂ TRONG KÊNH DẪN 2.1 Cấu trúc cảm biến Khoá luận đề xuất cấu tạo cảm biến bao gồm điện cực đặt trung tâm đế vật liệu tạo thành cấu trúc tụ điện phẳng coplanar C1 C2, tụ điện C1 tụ điện so sánh tụ điện C2 có cực phủ lớp vật liệu nhạy cảm với tế bào bệnh làm tụ điện phát Các vật liệu khác bố trí quanh cảm biến và đặt vào tín hiệu điện áp AC có tần số định với mục đích kiểm sốt hướng di chuyển tế bào vùng không gian cảm biến Cấu trúc cảm biến kết nối với bảng mạch tích hợp PCB có chức phát tín hiệu hiệu AC điều khiển tế bào bảng mạch PCB khác có mục đích chuyển đổi giá trị điện dung sang điện áp lối Khi có xuất vật thể đích cần phát hiện, giá trị điện dung cấu trúc tụ C2 tăng lên, việc so sánh biên độ sai lệch tụ điện C1 tụ điện C2, ta nhận biết tồn vật thể mẫu xét nghiệm số lượng vật thể mẫu Hình 3: Cấu trúc cảm biến tụ điện phẳng Mô phần cứng Hoạt động cảm biến tụ phẳng lựa chọn sử dụng phương pháp mô số với công cụ Comsol Multiphysics để mô trực quan hoá trường điện từ cấu trúc cảm biến sử dụng tụ điện phẳng coplanar Chương trình mơ thực q trình tính tốn giá trị điện dung cấu trúc vi tụ điện dựa phụ thuộc giá trị điện dung vào yếu tố là bề rộng điện cực số lượng vật thể phát 2.2.1 Kết giá trị điện dung phụ thuộc theo bề rộng điện cực Hình mơ tả kết đồ hoạ phần mềm mô biểu thị điện trường điện cực có kích thước 35 µm mảng tế bào a=5, có tổng số lượng tế bào 25, ta nhận thấy màu sắc khu vực cảm biến có thay đổi so với so với khu vực khác 2.2 Hình 4: Kết mơ theo bề rộng điện cực Trích xuất bảng liệu xây dựng đồ thị phụ thuộc giá trị điện dung theo theo thay đổi bề rộng điện cực d dải Hình 6: Đồ hoạ mô kết điện dung theo số lượng tế bào Hình 7: Đồ thị phụ thuộc giá trị điện dung theo số lượng tế bào Kết mô chênh lệch điện dung theo số lượng tế bào chênh lệch điện cực so sánh điện cực cảm ứng Trong số trường hợp, tế bào không tập trung cực cảm ứng mà phân bố phần điện cực cảm ứng 2.2.3 11 Trong trường hợp này, mô cấu trúc đưa cho kết trực quan thực tế thử nghiệm Hình 8: Đồ hoạ mơ kết chênh lệch điện dung theo số lượng tế bào chênh lệch Hình 9: Đồ thị phụ thuộc giá trị chênh lệnh điện dung theo số lượng tế bào chênh lệch 12 Mô thực với ma trận tế bào điện cực so sánh có kích thước 2×2 ma trận tế bào điện cực cảm ứng có kích thước từ 2×2 đến 10×10 Kết mơ cho thấy ứng với chênh lệch số lượng tế bào điện cực cảm ứng điện cực so sánh tăng dần theo số lượng tế bào chênh lệch cấu trúc tụ điện 2.3 Thiết kế mạch điều khiển tập trung tế bào Một mạch tích hợp có chức phát tín hiệu AC có tần số xác định điều chỉnh được thiết kế chế tạo với mục đích kết nối với cấu trúc cảm biến, di chuyển tập trung làm giàu tế bào vùng cảm biến Mạch sử dụng IC chuyên dụng phát tần AD9850 điều khiển vi điều khiển Tín hiệu tần số tạo khuếch đại biên độ lên giá trị điện áp đỉnh đỉnh mong muốn từ 1V đến 30V để thu tín hiệu điều khiển phù hợp Hình 10 thể cấu trúc thiết kế nguyên lý mạch tích hợp điều khiển điện di điện mơi 13 Tín hiệu Hình 10: Sơ đồ khối mạch nguyên lý thiết bị phát tín hiệu Hình 11: Dạng tín hiệu điều khiển sau xử lý đưa vào cảm biến 14 Hình 12: Sơ đồ mạch nguyên lý 15 Hình 13: Mạch thành phẩm phát tín hiệu AC 16 Chương CHẾ TẠO VÀ THỬ NGHIỆM Một nguyên mẫu cấu trúc cảm biến chế tạo thử nghiệm để sử dụng đánh giá kết mơ phòng Dòng chất lỏng chứa mẫu tế bào thử nghiệm Sar-180 đưa vào kênh dẫn cấu trúc cảm biến tiến hành tạo tín hiệu điều khiển Máy ảnh có nhiệm vụ liên tục thu thập liệu tiến trình hoạt động tế bào bên kênh dẫn và lưu trữ máy tính Để tập trung Sar-180 sinh học vào khu vực cảm biến, phân bố tế bào kiểm sốt cách áp dụng tín hiệu khởi động đến cặp điện cực cụ thể Bằng cách đó, tế bào sống kích hoạt để di chuyển điện cực Hệ thống thí nghiệm hoạt động điều khiển tế bào kênh dẫn hình 14 gồm: - Nguyên mẫu cấu trúc cảm biến chế tạo thử nghiệm Kính hiển vi quan sát vật thể kênh dẫn Mạch điều khiển phát tín hiệu điều khiển Máy ảnh tốc độ cao Máy tính lưu trữ liệu thời gian thử nghiệm 17 Hình 14: Mơ hình thử nghiệm cảm biến Hình 15: Kênh dẫn vi lỏng với cảm biến nối điện cực Hình 16 cho thấy kết thí nghiệm tập trung tế bào Sar-180 từ toàn mẫu đến trung tâm buồng Các tế bào ban đầu phân bố ngẫu nhiên bên buồng 18 Hình 16: Kết thí nghiệm lực DEP lên tế bào Các kết thí nghiệm cho thấy ảnh hưởng lực dielectrophoresis lên tế bào sinh học để thao tác tế bào sống đến trung tâm kênh lỏng (a, b, c) Các tế bào điều khiển thúc đẩy tiến phía tâm kênh dẫn (d) Hầu hết tế bào tập trung tâm cấu trúc cảm biến 50 45 Điện áp lối (mV) 40 35 30 25 20 15 10 10 12 14 16 18 Số lượng tế bào chênh lệch Hình 17: Kết đo thể điện áp lối thay đổi theo số lượng tế bào đích xuất vùng cảm biến 19 Ứng dụng thiết bị chuyển đổi tín hiệu điện dung sang điện áp, ta thu dạng đồ thị tương đối giống so với kết mơ tín hiệu điện dung theo số lượng tế bào Vì điều kiện sở khơng đủ để nuôi cấy chế phẩm sinh học phù hợp với mục đích bắt giữ tế bào cần nhận biết thực hiện, đó, kết đưa hình 17 là kết phương pháp lấy chênh lệch vi sai điện cực việc nhận biết chênh lệch số lượng tế bào có điện cực Qua thử nghiệm đưa kết luận độ nhạy cấu trúc cảm biến đưa vào thử nghiệm là điện áp chênh lệch tín hiệu là 3mV/1 tế bào 20 KẾT LUẬN Kết luận Luận văn trình bày phương pháp và kiến thức cần biết để thiết kế cảm biến tế bào kênh dẫn vi lỏng Phân tích đánh giá ảnh hưởng yếu tố ảnh hưởng đến khả nhận biết cấu trúc cảm biến Đưa nhận định, xây dựng tính tốn số liệu tối ưu cho cấu trúc cảm biến Cấu trúc xây dựng mô phần mềm Comsol, đưa kết trực quan thông số cảm biến thiết kế Luận văn trình bày thiết kế mạch phát tần số điều khiển vi điều khiển phục vụ thử nghiệm khả điều khiển tế bào môi trường vi lỏng với dải phát tần từ 1KHz đến 2Mhz với điện áp đỉnh đỉnh điều khiển lên tới 30V và tần số lên tới 40MHz với điện áp đỉnh đỉnh là 1V Mạch thiết kế sử dụng vi điều khiển Atmega16 và lập trình ngơn ngữ lập trình C phần mềm Codevision Hạn chế hướng phát triển Do thời gian có hạn, luận văn chưa thể đưa kết thử nghiệm tín hiệu điện dung mạch chuyển đổi tín hiệu thiết bị theo cấu trúc thiết kế đưa Các kết đạt thể phần mềm mô Điều dẫn đến sai số so với thực tiễn ảnh hưởng yếu tố ảnh hưởng từ bên ngồi mà phần mềm mơ khơng hỗ trợ đưa vào Mạch phát tần số hạn chế dải tần số phát chưa thể phát hết dải tạo lực DEP 100MHz 21 Trong thời gian tới, đề xuất hướng phát triển sau: - Nghiên cứu, tìm hiểu đưa yếu tố ảnh hưởng môi trường vào mơ hình thử nhiệm phần mềm mơ - Nghiên cứu cải tiến cấu trúc cảm biến, giảm sai số cực nối - Nghiên cứu phát triển mạch phát tần với dải tần số biên độ tín hiệu rộng - Nghiên cứu thiết kế, thử nghiệm mạch xử lý tín hiệu điện dung 22 [1] [2] [3] [4] [5] [6] [7] [8] [9] [10] [11] [12] [13] TÀI LIỆU THAM KHẢO V Ũ Trung, “Chip sinh học,” no Bđ 1, pp 37–41, 2016 “Tìm hiểu Cơng nghệ nano - Tài liệu, ebook, giáo trình.pdf.” a Dowling, R Clift, N Grobert, D Hutton, R Oliver, O O’neill, J Pethica, N Pidgeon, J Porritt, J Ryan, and Et Al., “Nanoscience and nanotechnologies : opportunities and uncertainties,” London The Royal Society The Royal Academy of Engineering Report, vol 46, no July, pp 618–618, 2004 T Brandstetter, “Biochip-Technologies (2),” no 2, 2008 “https://congnghehoahoc.wordpress.com/2012/04/02/cảmbiến-sinh-học-diện-hoa-electrochemical-biosensors/.” H Cheng, Y Zhang, X Huang, J A Rogers, and Y Huang, “Analysis of a concentric coplanar capacitor for epidermal hydration sensing,” Sensors and Actuators, A: Physical, vol 203, pp 149–153, 2013 T Chen, “Capacitive sensors for measuring complex permittivity of planar and cylindrical structures,” p 204, 2012 J M Martinis, R Barends, and A N Korotkov, “Calculation of Coupling Capacitance in Planar Electrodes,” pp 1–5, 2014 X Hu and W Yang, “Planar capacitive sensors – designs and applications,” Sensor Review, vol 30, no 1, pp 24–39, 2010 Q L Do, T T Bui, T T H Tran, K Kikuchi, M Aoyagi, and T C Duc, “Differential capacitively coupled contactless conductivity detection (DC4D) sensor for detection of object in microfluidic channel,” 2015 IEEE SENSORS - Proceedings, pp 5–8, 2015 A Vasudev, A Kaushik, and S Bhansali, “Electrochemical immunosensor for label free epidermal growth factor receptor (EGFR) detection,” Biosensors and Bioelectronics, vol 39, no 1, pp 300–305, 2013 E Kasner, C A Hunter, D Ph, K Kariko, and D Ph, “NIH Public Access,” vol 70, no 4, pp 646–656, 2013 J Z Chen, A A Darhuber, S M Troian, and S Wagner, “Capacitive sensing of droplets for microfluidic devices based 23 [14] [15] [16] [17] [18] [19] [20] [21] [22] [23] on thermocapillary actuation,” Lab on a Chip, vol 4, no 5, p 473, 2004 J Guo, P Hu, and J Tan, “Analysis of a segmented annular coplanar capacitive tilt sensor with increased sensitivity,” Sensors (Switzerland), vol 16, no 1, 2016 M F A Rahman, A A Manaf, and M R Arshad, “Capacitive effect of coplanar electrodes partially outside the microchannel region for underwater microfluidic-based sensor,” Indian Journal of Marine Sciences, vol 42, no 8, pp 987–991, 2013 S Bangalore Prakash, “Integrated CMOS capacitance sensor and microactuator control circuits for on-chip cell monitoring,” PhD Thesis, p xv, 167, 2008 J Q Huang, B Li, and W Chen, “A CMOS MEMS humidity sensor enhanced by a capacitive coupling structure,” Micromachines, vol 7, no 5, 2016 B Çetin and D Li, “Dielectrophoresis in microfluidics technology,” Electrophoresis, vol 32, no 18, pp 2410–2427, 2011 L Do Quang, T T Bui, T V Quoc, L P Thanh, H Tran, T Thuy, V T Dau, C P Jen, and T C Duc, “DIELECTROPHORESIS ENRICHMENT WITH BUILT-IN CAPACITIVE SENSOR MICROFLUIDIC PLATFORM FOR TUMOR RARE CELL DETECTION VNU University of Science , Hanoi , Vietnam University of Engineering and Technology , VNU , Hanoi , Vietnam Institute of Applied Physics and ,” pp 484–487, 2017 M Praeger, Z Li, J M Smallwood, and P L Lewin, “Numerical calculation of dielectrophoretic and electrostatic forces acting on micro-scale particles,” Journal of Physics: Conference Series, vol 646, p 12047, 2015 F B Diagram and G Description, “a 32-Bit Frequency Tuning Word,” 1998 F B Diagram and G Description, “a 10 MHz Update Data Loading Rate LATCH RS,” pp 1–20, 2002 Y H Chen, C C Peng, Y J Cheng, J G Wu, and Y C 24 Tung, “Generation of nitric oxide gradients in microfluidic devices for cell culture using spatially controlled chemical reactions,” Biomicrofluidics, vol 7, no 6, 2013 25 ... môi Chương THIẾT KẾ MÔ PHỎNG HỆ THỐNG CẢM BIẾN VI LỎNG PHÁT HIỆN VẬT THỂ TRONG KÊNH DẪN 2.1 Cấu trúc cảm biến Khoá luận đề xuất cấu tạo cảm biến bao gồm điện cực đặt trung tâm đế vật liệu tạo... 1.2 Vi cảm biến kiểu tụ điện Chương THIẾT KẾ MÔ PHỎNG HỆ THỐNG CẢM BIẾN VI LỎNG PHÁT HIỆN VẬT THỂ TRONG KÊNH DẪN 2.1 Cấu trúc cảm biến 2.2 Mô phần cứng 2.3 Thiết kế... học, hóa học… Mục tiêu đề tài Đề tài này thực nghiên cứu, thiết kế, chế tạo và thử nghiệm cấu trúc hệ thống cảm biến vi lỏng phát vật thể kênh dẫn hướng tới ứng dụng lĩnh vực y sinh học… Cấu