Bài thuyết trình Vật lý màng mỏng: Các phương pháp đo tính chất của màng cỏ

Bài thuyết trình Vật lý màng mỏng: Các phương pháp đo tính chất của màng cỏ đưa ra các phương pháp đo độ cứng, mô hình Luật hòa hợp thể tích, các phương pháp đo độ bám dính. Đây là tài liệu hữu ích với các bạn chuyên ngành Vật lý và những ngành có liên quan.

TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN BỘ MÔN VẬT LÝ ỨNG DỤNG VẬT LÝ MÀNG MỎNG GVTH: PGS TS LÊ VĂN HIẾU HVTH: PHAN TRUNG VĨNH  Các tính chất điện  Độ gồ ghề (Roughness) (Electronic Properties)  Độ mài mòn (Erosion)  Các đặc tính ma sát  Độ hao mòn/Độ oxy hóa (Frictional Characteristics) (Corrosion/Oxidation)  Độ xốp (Porosity) Màng (Coating) Lớp xen phủ màng-đế Đế (Substrate) Hình 1: Một vài tính chất quan trọng hệ màng-đế ứng dụng công nghệ  Sức căng dư  Đa lớp (Multilayers) (Residual Stress)  Các thành phần xếp  Độ gắn kết (Cohesion) (Graded Composition)  Vết nứt/Sai hỏng  Độ bám dính (Adhesion) (Crackinh/Defect)  Tính chất quang  Sự khuyếch tán qua lại  Độ bám dính (Adhesion) (Interdiffusion)  Các tính chất đế  Các rào khuyếch tán (Substrate Properties) (Diffusion Barriers)  Độ giãn nở không  Độ sạch/Độ gồ ghề (Expansion Mismatch) (Cleanliness/Roughness) Độ cứng (Hardness) MÀNG CƠ Độ bám dính (Adhesion) Các phương pháp đo độ cứng Tùy thuộc Đ ộ dày màng Đ/N Tính chống lại Sự mài mòn Phương pháp đo trực tiếp Độ cứng vật liệu Sự biến dạng không đàn hồi (Plastic Deformation) Thang đo Macro Micro Nano Màng dày (>10μm) Màng mỏng (10μm) Màng mỏng (