Bài thuyết trình Vật lý màng mỏng: Các phương pháp đo tính chất của màng cỏ đưa ra các phương pháp đo độ cứng, mô hình Luật hòa hợp thể tích, các phương pháp đo độ bám dính. Đây là tài liệu hữu ích với các bạn chuyên ngành Vật lý và những ngành có liên quan.
TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN BỘ MÔN VẬT LÝ ỨNG DỤNG VẬT LÝ MÀNG MỎNG GVTH: PGS TS LÊ VĂN HIẾU HVTH: PHAN TRUNG VĨNH Các tính chất điện Độ gồ ghề (Roughness) (Electronic Properties) Độ mài mòn (Erosion) Các đặc tính ma sát Độ hao mòn/Độ oxy hóa (Frictional Characteristics) (Corrosion/Oxidation) Độ xốp (Porosity) Màng (Coating) Lớp xen phủ màng-đế Đế (Substrate) Hình 1: Một vài tính chất quan trọng hệ màng-đế ứng dụng công nghệ Sức căng dư Đa lớp (Multilayers) (Residual Stress) Các thành phần xếp Độ gắn kết (Cohesion) (Graded Composition) Vết nứt/Sai hỏng Độ bám dính (Adhesion) (Crackinh/Defect) Tính chất quang Sự khuyếch tán qua lại Độ bám dính (Adhesion) (Interdiffusion) Các tính chất đế Các rào khuyếch tán (Substrate Properties) (Diffusion Barriers) Độ giãn nở không Độ sạch/Độ gồ ghề (Expansion Mismatch) (Cleanliness/Roughness) Độ cứng (Hardness) MÀNG CƠ Độ bám dính (Adhesion) Các phương pháp đo độ cứng Tùy thuộc Đ ộ dày màng Đ/N Tính chống lại Sự mài mòn Phương pháp đo trực tiếp Độ cứng vật liệu Sự biến dạng không đàn hồi (Plastic Deformation) Thang đo Macro Micro Nano Màng dày (>10μm) Màng mỏng (10μm) Màng mỏng (