1. Trang chủ
  2. Luận Văn - Báo Cáo

luận văn thạc sĩ ẢNH HƯỞNG NỒNG độ KHÍ HYDRO lên cấu TRÚC của MÀNG SIH CHẾ tạo BẰNG PHƯƠNG PHÁP PECVd

89 204 0
luận văn thạc sĩ ẢNH HƯỞNG NỒNG độ KHÍ HYDRO lên cấu TRÚC của MÀNG SIH CHẾ tạo BẰNG PHƯƠNG PHÁP PECVd

Đang tải... (xem toàn văn)

Tài liệu hạn chế xem trước, để xem đầy đủ mời bạn chọn Tải xuống

Thông tin tài liệu

... nhược điểm màng c - Si:H tập trung nghiên cứu, chế tạo thời gian gần phương pháp PECVD chế độ tạo màng có nồng độ khí Hydro pha loãng Nồng độ hạt tải, độ linh động Hall tính dẫn tối bò ảnh hưởng. .. số ảnh hưởng đến màng Trong thông số đặc trưng phương pháp chế tạo màng phương pháp PECVD, chọn thông số tỉ lệ khí pha loãng để khảo sát ảnh hưởng lên chuyển đổi cấu trúc màng Tỉ lệ dòng khí. .. chất chung màng Nhìn chung phương pháp chế tạo có ảnh hưởng trực tiếp lên tính chất màng tạo từ phương pháp 25 Tuy nhiên, phương pháp có ưu điểm khuyết điểm riêng Hai phương pháp tạo màng Si:H

Ngày đăng: 20/07/2018, 15:47

Xem thêm: luận văn thạc sĩ ẢNH HƯỞNG NỒNG độ KHÍ HYDRO lên cấu TRÚC của MÀNG SIH CHẾ tạo BẰNG PHƯƠNG PHÁP PECVd , 1 MÀNG SILICON HYDRO HÓA VÔ ĐỊNH HÌNH, 4 CÁC ỨNG DỤNG CỦA MÀNG Si:H TRONG CÔNG NGHIỆP, CHƯƠNG 2: TIẾN TRÌNH THỰC NGHIỆM, 1 QUÁ TRÌNH THỰC NGHIỆM, 2 CÁC THIẾT BỊ ĐO ĐẠC ĐẶC TRƯNG, CHƯƠNG 3: KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN

Từ khóa liên quan

Mục lục

  • ĐỀ TÀI: ẢNH HƯỞNG NỒNG ĐỘ KHÍ HYDRO LÊN CẤU TRÚC CỦA MÀNG SI:H CHẾ TẠO BẰNG PHƯƠNG PHÁP PECVD

    • 1.1 MÀNG SILICON HYDRO HÓA VÔ ĐỊNH HÌNH

      • 1.1.1. Các tính chất đặc trưng

        • 1.1.1.1. Liên kết Hydro trong màng a-Si:H

        • 1.1.1.2. Cấu trúc khuyết tật trong a-Si:H

        • 1.1.1.3. Các trạng thái của liên kết H trong a-Si:H và sự khuếch tán H trong mạng

        • 1.1.1.4. Cấu trúc màng Si:H

        • 1.1.1.5. Tính chất quang và điện của a-Si:H

        • 1.1.1.6. nh hưởng của phương pháp chế tạo lên tính chất chung của màng

        • 1.2 PHƯƠNG PHÁP CVD

        • 1.3 PHƯƠNG PHÁP PECVD

          • 1.3.1. Nguyên tắc chung của PECVD

          • 1.3.2. Các thông số ảnh hưởng đến màng

          • 1.4 CÁC ỨNG DỤNG CỦA MÀNG Si:H TRONG CÔNG NGHIỆP

            • 1.4.1. Pin mặt trời

            • 1.4.2. Cảm biến

            • 1.4.3. Transistor

            • CHƯƠNG 2: TIẾN TRÌNH THỰC NGHIỆM

              • 2.1 QUÁ TRÌNH THỰC NGHIỆM

                • 2.1.2. Xử lí mẫu

                • 2.1.3. Các điều kiện chế tạo

                • 2.1.4. Hệ PECVD

                • 2.1.5. Quá trình tạo màng

                • 2.2 CÁC THIẾT BỊ ĐO ĐẠC ĐẶC TRƯNG

                  • 2.2.1. Thiết bò đo phổ hấp thụ, truyền qua UV - Vis

                  • 2.2.2. Thiết bò đo hấp thụ hồng ngoại

                  • 2.2.3. Thiết bò đo độ dày Profilometer

                  • 2.2.4. Thiết bò đo phổ tán xạ Raman

Tài liệu cùng người dùng

Tài liệu liên quan