Định nghĩa Một thiết bị nghiên cứu vi cấu trúc vật rắn, sử dụng chùm điện tử có năng lượng cao chiếu xuyên qua mẫu vật rắn mỏng và sử dụng các thấu kính từ để tạo ảnh với độ phóng đại lớ
Trang 1Tên đề tài:
Quan sát thao
tác nano
Trang 2
NỘI DUNG BÁO CÁO
II
I
Trang 3Kích thước từ vài đến vài trăm nano mét.
-Gồm hàng trăm đến hàng nghìn nguyên tử giống nhau
- Hạt nano tinh thể bán dẫn huyền phù hay còn được gọi là các chấm lượng tử (Qds)
Kích thước từ vài đến vài trăm nano mét
-Gồm hàng trăm đến hàng nghìn nguyên tử giống nhau
- Hạt nano tinh thể bán dẫn huyền phù hay còn được gọi là các chấm lượng tử (Qds)
CHƯƠNG I: TỔNG QUAN
Trang 5CHƯƠNG II: QUAN SÁT THAO TÁC NANO
08/05/17
NỘI
DUNG
Kính hiển vi điện tử truyền qua (TEM)
Hiển vi điển tử quét truyền qua (STEM) Kính hiển vi điện tử quét (SEM)
Hiển vi quét đầu dò (SPM )
Trang 62.1.1 Định nghĩa
Một thiết bị nghiên cứu vi cấu trúc vật rắn, sử dụng chùm điện tử có năng lượng cao chiếu xuyên qua mẫu vật rắn mỏng và sử dụng các thấu kính từ để tạo ảnh với độ phóng đại lớn.
- Ảnh có thể tạo ra trên màn huỳnh quang, hay trên film quang học, hay ghi nhận bằng các máy chụp kỹ thuật số.
Trang 72.1.2 Cấu tạo và nguyên lý hoạt động
Trang 9 Các hệ thấu kính và lăng kính
Thấu kính từ thực chất là
một nam châm điện có
cấu trúc là một cuộn dây
cuốn trên lõi làm bằng vật
liệu từ mềm.
Từ trường sinh ra ở khe
từ sẽ được tính toán để
có sự phân bố sao cho
chùm tia điện tử truyền
qua sẽ có độ lệch thích
hợp với từng loại thấu
kính
Trang 12 Sự tạo ảnh trong TEM
Tương phản nhiễu xạ: Liên quan đến việc các điện
tử bị tán xạ theo các hướng khác nhau do tính chất của vật rắn tinh thể
3
Tương phản biên độ: Đem lại do hiệu ứng hấp thụ điện tử (do độ dày, do thành phần hóa học) của mẫu vật
2
Trang 13Ảnh trường sáng trường tối.
Ảnh trường sáng
Chế độ ghi ảnh mà
khẩu độ vật kính sẽ
được đưa vào để hứng
chùm tia truyền theo
độ vật kính sẽ hứng chùm tia bị lệch một góc nhỏ Ảnh thu được là các đốm sáng trắng trên nền tối.Nền sáng tương ứng với các vùng mẫu có góc lệch được chọn,nền tối là từ các vùng khác
Trang 15Ảnh hiển vi điện tử truyền qua độ phân giải cao.
Là một trong những tính năng
mạnh của kính hiển vi điện tử truyền qua, cho phép quan sát độ
phân giải từ các lớp tinh thể của
chất rắn
Trang 162.1.3 Ưu điểm và nhược điểm
nên đem lại nhiều
thông tin hơn cho cấu
trúc vật liệu
Nhược điểm:
Đắt tiền: TEM có nhiều tính năng mạnh
và là thiết bị rất hiện đại do đó giá thành của nó rất cao
Đòi hỏi nhiều phép xử
lý mẫu phức tạp cần phải phá hủy mẫu
Việc điều khiển TEM rất phức tạp và đòi hỏi nhiều bước thực hiện chính xác cao.
Trang 17Ứng dụng
Khoa học vật liệu cũng như ô nhiễm môi trường
Công nghệ
nano
Nghiên cứu chất bán dẫn
Trang 182.2.Kính hiển vi điện tử quét (SEM)
2.2.1 Định nghĩa
Kính hiển vi điện tử
quét là: Một loại kính
hiển vi điện tử có thể
tạo ra ảnh với độ phân
giải cao của bề mặt
Trang 192.2.2 Cấu tạo và nguyên lý hoạt động
Trang 21Sự tạo ảnh trong SEM
Sự tạo ảnh trong SEM và các phép phân tích được thực hiện thông qua việc phân tích các bức xạ phát ra khi điện tử tương tác
với bề mặt mẫu vật Các bức xạ chủ yếu gồm:
Điện tử tán xạ ngược là chùm điện tử ban đầu khi tương tác với
bề mặt mẫu bị bật ngược trở lại, do
đó chúng thường
có năng lượng cao
Trang 222.2.3 Ưu điểm và nhược điểm
khiển đơn giản hơn rất
nhiều so với TEM
Trang 24Hình ảnh chụp bằng SEM
Trang 252.3.1 Định nghĩa
Kính hiển vi điện tử truyền qua quét (STEM) là:
-Một kính hiển vi điện tử truyền qua mà ở đó, chùm tia điện tử được hội tụ thành một chùm tia rất hẹp, đồng thời quét trên bề mặt mẫu khi
truyền qua mẫu
- STEM đang là loại kính hiển vi điện tử truyền qua cho độ phân giải tốt nhất tới cấp độ nguyên
tử và nhiều phép phân tích hữu ích đi kèm
Trang 262.3.2 Cấu tạo và nguyên lý hoạt động
Trang 272.3.3 Ưu điểm và nhược điểm
Trang 29(a)TiO 2 cầu và (b)TiO 2
hình ống
Trang 3030
Hiển vi tunen (STM)
Hiển vi quang học quét trường gần (NSOM )
2.4 Hiển vi quét đầu dò (SPM )
Trang 31Định nghĩa:
• Là một thiết bị quan sát
cấu trúc vi mô bề mặt của vật rắn dựa trên
nguyên tắc xác định lực tương tác nguyên tử
giữa một đầu mũi dò
nhọn với bề mặt của
mẫu, có thể quan sát ở
độ phân giải nanômet
Trang 32Cấu tạo và nguyên lý hoạt động
Trang 33Các chế độ ghi ảnh:
Các chế
độ ghi
ảnh
Trang 34Chế độ tiếp xúc.
Chế độ tiếp xúc (chế độ tĩnh)
Chế độ mà khoảng cách
giữa đầu mũi dò và bề mặt
mẫu được giữ không đổi
trong quá trình quét, và tín
hiệu phản hồi từ tia laser sẽ
là tín hiệu tĩnh Tuy nhiên, bộ
điều khiển phản hồi sẽ điều
chỉnh để khoảng cách giữa
mũi và bề mặt là không đổi
trong suốt quá trình quét.
Trang 35hưởng bởi tương tác
giữa mẫu và mũi dò, do
đó sẽ có thêm nhiều
thông tin về mẫu được
biến điệu trong tín hiệu
Trang 36điện gắn trên cantilever
với biên độ lớn tới
100-200 nm, và tần số rất
gần với tần số dao
động riêng.
Trang 37Ưu điểm và nhược điểm AFM
Ưu điểm 1
Đo được cả vật dẫn điện và vật không
dẫn điện
Trang 38Ưu điểm và nhược điểm AFM
AFM không đòi
hỏi môi trường chân không cao,
có thể hoạt động ngay trong môi trường bình thường
Ưu điểm 2
Trang 39Ưu điểm và nhược điểm AFM
AFM cũng có thể tiến
hành các thao tác di chuyển và xây dựng ở cấp độ từng nguyên tử, một tính năng mạnh
cho công nghệ nano
Ưu điểm 3
Trang 40Ưu điểm và nhược điểm AFM
Mẫu chuẩn bị
đơn giản, cho thông tin đầy đủ hơn so với hình ảnh của hiển vi điện tử truyền qua
Ưu điểm 4
Trang 41Ưu điểm và nhược điểm AFM
AFM cung cấp
những phép đo
độ cao trực tiếp
về địa hình của mẫu và những hình ảnh khá rõ ràng về những đặc trưng bề mặt mẫu (không cần lớp bao phủ mẫu)
Ưu điểm 5
Trang 42Ưu điểm và nhược điểm AFM
Ưu điểm
Thứ 1,2
Thứ 3,4
Nhược Điểm
Trang 43Ưu điểm và nhược điểm AFM
Trang 44Ưu điểm và nhược điểm AFM
Nhược
điểm 2
Tốc độ ghi ảnh chậm do hoạt động ở
chế độ quét
Trang 45Ưu điểm và nhược điểm AFM
Nhược
điểm 3
Chất lượng ảnh bị ảnh hưởng bởi quá trình trễ của bộ quét
áp điện
Trang 46Ưu điểm và nhược điểm AFM
Đầu dò rung trên bề mặt nên kém an
toàn, đồng thời đòi hỏi mẫu có bề mặt sạch và sự chống rung
Nhược
điểm 4
Trang 47Công nghệ nano, công nghệ bán dẫn,dược phẩm, bán
dẫn…
Đo cơ học đơn phân
tử
Đo cơ học đơn phân
tử
Kiểm tra khuyết tật vật liệu
Kiểm tra khuyết tật vật liệu
Ứng dụng
Trang 48Một số hình ảnh về ứng dụng của AFM
AFM cung cấp thông tin ba chiều của bề mặt mẫu.
Hình ảnh của một khối vật chất bị khiếm
khuyết chụp bằng máy AFM
Trang 49Định nghĩa:
Kính hiển vi quét chui hầm (STM) là:
Một loại kính hiển vi phi quang học, được sử dụng để quan sát hình thái học bề mặt của vật rắn hoạt động dựa trên việc ghi lại dòng chui hầm của điện tử khi sử dụng một mũi dò quét trên bề mặt mẫu
STM là một công cụ mạnh để quan sát cấu trúc bề mặt của vật rắn với độ phân giải tới cấp độ nguyên tử
Trang 50Cấu tạo và nguyên lý hoạt động:
Trang 51Ưu điểm và nhược điểm
STM không đòi hỏi việc
phá hủy mẫu như kính
hiển vi điện tử truyền qua
không cao.
Mẫu sử dụng trong STM phải là mẫu dẫn điện( kim loại và chất bán dẫn)
Bề mặt mẫu siêu sạch
và việc chống rung là một đòi hỏi lớn.
Tốc độ ghi ảnh trong STM thấp.
Trang 52Trong hóa học, sinh học, chất hữu cơ…
Trang 53Hình ảnh chụp bằng STM
Trang 55CẤU TẠO VÀ NGUYÊN LÝ HOẠT ĐỘNG.
Đầu dò mũi nhọn ( trái ), đầu dò có lỗ ( phải ).
Đầu dò
Các lăng kính và thấu kính
Bộ quét áp điện
Trang 56NGUYÊN LÝ HOẠT ĐỘNG.
Trang 57Ưu điểm và nhược điểm
Ưu điểm:
Có khả năng ghi ảnh
với độ phân giải rất cao
Khả năng ghi lại các
Ánh sáng phát ra ở mũi dò thường rất yếu do mũi dò nhỏ, đồng thời bước quét rất ngắn nên tốc độ ghi ảnh cực chậm
Giá thành của NSOM còn nằm ở mức cao.
Trang 59KẾT LUẬN
Hiểu được tổng quan về hạt nano.
Biết được một số kính hiển vi điện tử ( TEM, SEM, STEM, SPM) và ứng dụng của nó.
=> Kính hiển vi điện tử là một công cụ phân tích cực kỳ hiệu quả và chính xác trong nghiên cứu khoa học, vật lý chất rắn, khoa học vật liệu, hóa học, sinh học….
Trang 60TÀI LIỆU THAM KHẢO
1.http://www.msm.cam.ac.uk/doipoms/tlplip/tem/ index.php
2.Giáo trình ứng dụng của phát xạ điện tử, nxb
tp Hồ Chí Minh, 2010, Phạm Thanh Tâm.
3.Công nghệ nano điều khiển đến từng phân tử, nguyên tử,nxb Khoa Học Kỹ Thuật, 2004,Vũ
Đình Cự, Nguyễn Xuân Chánh.