Nghiên cứu và phát triển bộ cảm biến đo nồng độ khí hoạt động dựa trên cơ sở tự

; BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI - Nguyễn Ngọc Nam NGHIÊN CỨU VÀ PHÁT TRIỂN BỘ CẢM BIẾN ĐO NỒNG ĐỘ KHÍ HOẠT ĐỘNG DỰA TRÊN CƠ SỞ TỰ ĐỐT NÓNG Chuyên nghành: Đo lường hệ thống điều khiển LUẬN VĂN THẠC SĨ KỸ THUẬT NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC: TS HOÀNG SĨ HỒNG Hà Nội 2015 LỜI CAM ĐOAN Tên là: Nguyễn Ngọc Nam Sinh ngày 05 tháng năm 1980 Học viên lớp cao học khoá 2012B – Ngành Đo lường hệ thống điều khiển Trường đại học Bách khoa Hà Nội Hiện công tác Viện kỹ thuật Phòng không-Không quân, Quân chủng Phòng không-Không quân Xin cam đoan: Đề tài “Nghiên cứu phát triển cảm biến đo nồng độ khí hoạt động dựa sở tự đốt nóng” thầy giáo, TS Hoàng Sĩ Hồng hướng dẫn công trình nghiên cứu riêng Tất tài liệu tham khảo có nguồn gốc, xuất xứ rõ ràng Tác giả xin cam đoan tất nội dung luận văn nội dung đề cương Nếu có vấn đề nội dung luận văn tác giả xin hoàn toàn chịu trách nhiệm với lời cam đoan Hà Nội, ngày 24 tháng năm 2015 MỤC LỤC LỜI CAM ĐOAN MỤC LỤC Các từ viết tắt Danh mục bảng Danh mục hình vẽ Lời nói đầu Chương Tìm hiểu số loại cảm biến khí 1.1 Một số khái niệm phân loại 1.2 Nguyên lý, cấu tạo cảm biến khí 1.2.1 Cảm biến sở ứng dụng oxit kim loại 1.2.2 Cảm biến sở ứng dụng polyme 1.2.3 Cảm biến sở ứng dụng ống nano Carbon 1.3 Một số yếu tố ảnh hưởng đến độ nhạy, thời gian đáp ứng, thời gian hồi phục cảm biến khí 1.3.1 Ảnh hưởng nhiệt độ đến độ nhạy 1.3.2 Ảnh hưởng vật liệu đến độ nhạy 1.3.3 Ảnh hưởng cấu tạo lớp cảm biến đến độ nhạy cảm biến 1.3.4 Ảnh hưởng chất xúc tác đến độ nhạy cảm biến 1.3.5 Ảnh hưởng nhiệt độ với thời gian đáp ứng, phục hồi 1.4 Kết luận chương Chương Lý thuyết chung số phương pháp điều khiển nhiệt độ 2.1 Điều khiển đóng/ngắt (ON/OFF) 2.2 Bộ điều khiển PID 2.3 Điều khiển mờ 2.3.1 Khái niệm 2.3.2 Cấu trúc điều khiển mờ 2.4 Kết luận chương Chương Thiết kế điều khiển nhiệt độ kết mô 3.1 Các bước xây dựng cảm biến khí 3.2 Xây dựng điều khiển PID mờ điều khiển nhiệt độ 3 10 10 12 12 15 16 16 17 18 20 22 23 24 25 25 25 36 36 43 43 45 45 46 3.2.1 Mô hình động học đối tượng điều khiển 3.2.2 Tính toán điều khiển PID tối ưu 3.2.3 Thiết kế điều khiển PID mờ 3.3 Thực điều khiển Matlab, Simulink Chương Kết luận kiến nghị nghiên cứu Tài liệu tham khảo 46 48 50 55 61 62 CÁC TỪ VIẾT TẮT PID Bộ điều khiển gồm khâu tỉ lệ, tích phân, vi phân VĐK Vi Điều Khiển DANH MỤC CÁC BẢNG Bảng 1.1 Phân loại oxit kim loại dựa độ dẫn Bảng 1.2 Phân loại theo thay đổi đáp ứng vật liệu cảm biến Bảng 2.1 Tác động việc tăng thông số độc lập điều khiển PID Bảng 2.2 Phương pháp Ziegler–Nichols ước lượng tham số điều khiển PID 13 14 34 35 Bảng 3.1 Luật mờ cho việc tính toán ΔKP, ΔKI, ΔKD 52 DANH MỤC HÌNH VẼ Hình 1.1 Phân loại cảm biến khí Hình 1.2 Cấu trúc chung cảm biến khí kiểu thay đổi độ dẫn Hình 1.3 Sơ đồ kết nối cảm biến khí kiểu thay đổi độ dẫn Hình 1.4 Sự phụ thuộc độ nhạy cảm biến Pt-SnO2-Fe2O3 vào nhiệt độ 10 12 17 17 Hình 1.5 Đáp ứng ZnO với 100ppm chlorobenzene and ethanol Hình 1.6 Độ nhạy cảm biến ZnO, SnO2, hỗn hợp ZnO, SnO2 với khí CO 18 19 Hình 1.7 Độ nhạy Pt-SnO2-Fe2O3 SnO2-Fe2O3 khí CO 19 Hình 1.8 Độ nhạy cảm biến SnO2 với khí O3 độ dầy lớp cảm biến thay đổi 20 Hình 1.9 Quá trình tạo chất xúc tác bề mặt chất liệu cảm biến Hình 1.10 Sự phụ thuộc độ nhạy cảm biến vào độ dầy lớp xúc tác Hình 1.11 Sự phụ thuộc trở kháng cảm biến vào độ dầy lớp xúc tác Hình 1.12 Sự phụ thuộc trở kháng cảm biến vào loại chất xúc tác Hình 1.13 Thời gian đáp ứng thời gian hồi phục cảm biến SnO2-Pd theo 21 21 22 23 23 nhiệt độ Hình 2.1 Nhiệt độ đầu điều khiển đóng/ngắt Hình 2.2 Cấu trúc điều khiển PID Hình 2.3 Ảnh hưởng thành phần tỉ lệ điều khiển PID Hình 2.4 Ảnh hưởng thành phần tích phân điều khiển PID Hình 2.5 Ảnh hưởng thành phần vi phân điều khiển PID Hình 2.6 Minh hoạ độ trễ số thời gian trình Hình 2.7 Phương pháp ZN tính độ trễ số thời gian trình Hình 2.8 Minh hoạ hàm thuộc biến mờ 25 26 27 28 29 33 33 37 Hình 2.9 Minh hoạ hàm thuộc biến ngôn ngữ Hình 2.10 Ánh xạ mệnh đề điều kiện mệnh đề kết biến đầu vào Hình 2.11 Ánh xạ mệnh đề điều kiện mệnh đề kết nhiều biến đầu vào Hình 2.12 Minh hoạ phương pháp giải mờ Hình 2.13 Cấu trúc điều mờ Hình 3.1 Các bước xây dựng cảm biến khí kiểu thay đổi độ dẫn Hình 3.2 Bề sơ đồ chân môđun cảm biến Pt1000 38 41 41 42 43 45 45 Hình 3.3 Ảnh hưởng yếu tố tới tham số điều khiển Hình 3.4 Đặc tuyến động học lò vi nhiệt Hình 3.5 Đáp ứng nhảy bậc hệ thống với điều khiển PID1(s) 46 47 48 Hình 3.6 Đáp ứng với tín hiệu nhảy bậc PID1(s) PID2(s) 49 Hình 3.7 Đáp ứng hệ thống gồm điều khiển PID2(s) với H1(s) H2(s) Hình 3.8 Cấu trúc điều khiển PID mờ Hình 3.9 Sơ đồ thực điều khiển PID mờ với VĐK Hình 3.10 Lưu đồ thuật toán điều khiển PID mờ Hình 3.11 Giao diện xây dựng điều khiển PID mờ matlab Hình 3.12 Xác định hàm thuộc e, ec Hình 3.13 Xác định hàm thuộc Kp Hình 3.14 Các mệnh đề hợp thành điều khiển PID mờ Hình 3.15 Một trường hợp cụ thể biến Hình 3.16 Sơ đồ điều khiển PID với H3(s) 50 51 54 54 55 55 56 56 57 58 Hình 3.17 So sánh đáp ứng điều khiển PID với H3(s) 58 Hình 3.18 Sơ đồ điều khiển PID với H4(s) 59 Hình 3.19 So sánh đáp ứng điều khiển PID với H4(s) 59 LỜI NÓI ĐẦU Thế giới thời kỳ phát triển nhanh khoa học, công nghệ đặt trách nhiệm to lớn cho chúng ta, người làm việc lĩnh vực khoa học, kỹ thuật, trách nhiệm ứng dụng khoa học, công nghệ giới phục vụ công công nghiệp hoá, đại hoá đất nước Sự phát triển nhanh chóng công nghệ thông tin, công nghệ vật liệu, thiết bị cảm biến cho phép xây dựng hệ thống tự động điều khiển ngày thông minh, xác, thiết bị cảm biến đóng vai trò cung cấp thông tin đầu vào cho hệ thống Đề tài luận văn ví dụ nhỏ việc xây dựng cảm biến tin cậy Trong khuôn khổ luận văn em kế thừa kết Đồ án tốt nghiệp sinh viên Nguyễn Tràng Tiến việc nghiên cứu, khảo sát, xây dựng hàm truyền lò vi nhiệt với phôi cảm biến chưa phủ vật liệu cảm biến, mạch điện điều khiển nhiệt độ cho lò vi nhiệt Vì điều kiện công việc, luận văn em thực việc tìm hiểu số yếu tố ảnh hưởng đến độ nhạy cảm biến khí, số phương pháp điều khiển nhiệt độ, sâu nghiên cứu, hoàn thiện thuật toán điều khiển, ổn định nhiệt độ lò vi nhiệt điều khiển PID mờ ; tính toán, mô hoạt động điều khiển PID mờ matlab, simulink Sau thời gian tìm hiểu, nghiên cứu, đặc biệt hướng dẫn thầy giáo TS Hoàng Sĩ Hồng, luận văn hoàn thành Trong trình thực luận văn, chắn không tránh khỏi thiếu sót Em mong bảo thầy cô giáo góp ý chân thành bạn Em xin chân thành cảm ơn! Hà Nội, ngày tháng năm 2015 Học viên Nguyễn Ngọc Nam CHƯƠNG TÌM HIỂU VỀ MỘT SỐ LOẠI CẢM BIẾN KHÍ 1.1 Một số khái niệm phân loại Cảm biến khí thiết bị dùng để phát có hay không loại khí nồng độ khí Như vậy, cảm biến khí gồm hai thành phần vật liệu tương tác với môi trường, tạo phản ứng thiết bị đọc phản ứng, chuyển đổi thành dạng xử lý định lượng Trong năm gần đây, cảm biến khí sử dụng rộng rãi hệ thống điều khiển tự động, an ninh công cộng, lĩnh vực bảo vệ môi trường, phục vụ sống xã hội, Khi nói cảm biến khí nói đến số đặc tính cảm biến như: độ nhạy nồng độ khí nhỏ cảm biến phát hiện; độ chọn lọc khả cảm biến phát khí hỗn hợp khí; thời gian đáp ứng thời gian từ nồng độ khí đạt đến mức cảm biến phát hiện; tính thuận nghịch khả vật liệu cảm biến khôi phục trạng thái cũ; Các phương pháp dùng bán dẫn oxit kim loại Các phương pháp cảm biến khí Các phương pháp dựa thay đổi độ dẫn điện vật liệu Các phương pháp ứng dụng Polime Các phương pháp dùng ống nano cacbon Các phương pháp dùng vật liệu hút ẩm Các phương pháp với thị giác Các phương pháp khác dựa biến đổi khác Các phương pháp với thính giác Các phương pháp dựa việc đo sắc phổ khí Các phương pháp dựa việc đo nhiệt lượng Hình 1.1 Phân loại cảm biến khí [15] 10 Phương pháp ước lượng theo Ziegler-Nichols cho kết ước lượng thô, điểm khởi đầu tốt để tính toán tham số cho điều khiển tối ưu theo tiêu chuẩn Thông thường người ta hay dùng hàm chi phí Tích phân giá trị tuyệt đối sai số – Integral Absolute Error (IAE) để đánh giá điều khiển PID JIAE = (3.5) Dựa theo tiêu chuẩn em dùng chương trình duyệt tham số Kc, Ti, Td khoảng giá trị (ví dụ duyệt Kc khoảng từ đến 11, bước nhảy 0.1, Ti khoảng đến 2, bước nhảy 0.1 ; Td khoảng đến 1, bước nhảy 0.1 ; giá trị tham số thu nằm biên khoảng xét dịch chuyển khoảng giá trị duyệt phía đó) điều khiển PID2(s) với tham số Kc=6.4, Ti= 6.5, Td = 0.4 cho điều khiển PID tối ưu cho mô hình đối tượng lò vi nhiệt với tích phân giá trị tuyệt đối sai số nhỏ PID2(s) : Kc=6.4, Ti= 6.5, Td = 0.4 (3.6) Với tham số điều khiển, hệ thống có đáp ứng với tín hiệu nhảy bậc, so sánh với đáp ứng tham số trước, hình 3.6 Hình 3.6 Đáp ứng với tín hiệu nhảy bậc PID1(s) PID2(s) Ta thấy hệ thống không tượng giá trị vượt ngưỡng nhiều, hệ thống đạt giá trị ổn định sớm 49 Giả sử ta có đối tượng điều khiển có mô hình hàm truyền (3.7) Hình 3.7 Đáp ứng hệ thống gồm điều khiển PID2(s) với H1(s) H2(s) Áp dụng điều khiển PID2(s), cho kết tốt với mô hình H1(s), với mô hình H2(s) so sánh hai đáp ứng hình 3.7 Ta thấy với H2(s), tham số có thay đổi nhỏ, điều khiển PID2(s) cho đáp ứng vượt mức gần 20 phần trăm giá trị đặt 3.2.3 Thiết kế điều khiển PID mờ Từ kết này, ta xây dựng điều khiển PID mờ có tham số điều chỉnh để cải thiện đáp ứng điều khiển Bộ điều khiển PID mờ dựa đầu vào tín hiệu sai lệch e(t) đạo hàm tín hiệu sai lệch ec(t), qua luật điều khiển mờ để tính toán lượng hiệu chỉnh tham số (KP, KI, KD) điều khiển cho hệ thống thể đáp ứng mong muốn tốt * Chọn biến ngôn ngữ Ví dụ chọn biến ngôn ngữ cho e, ec, KP, KI, KD là: NB: Negative Big - Độ âm lớn NM: Negative Medium - Độ âm trung bình NS: Negative Small - Độ âm nhỏ 50 ZO: Zero - Không PS: Positive Small - Độ dương nhỏ PM: Positive Medium - Độ dương trung bình PB: Positive Big - Độ dương lớn Hình 3.8 mô tả thành phần điều khiển mờ điều khiển Nó có hai đầu vào e, ec tạo đầu ΔKP, ΔKI, ΔKD ec(k) Bộ ĐK mờ ΔKP sp e(k) ΔKI Bộ ĐK PID ΔKD u(k) y(k) Đối tượng ĐK Hình 3.8 Cấu trúc điều khiển PID mờ * Mờ hoá Từ kết khảo sát đặc tuyến lò vi nhiệt, ta xác định khoảng giá trị, độ thay đổi biến đầu vào, tính toán tham số tối ưu cho điều khiển PID chọn số biến ngôn ngữ hợp lý, ta xác định giá trị trung tâm cho biến ngôn ngữ đầu vào, đầu ra, khoảng cần thiết để hiệu chỉnh tham số * Xây dựng luật hợp thành mờ Tập luật mờ thành phần quan trọng điều khiển mờ Trong nhiều trường hợp, dễ dàng thể kinh nghiệm cá nhân vào tập luật luật định thể điều khiển Để thiết kế điều khiển PID mờ cần sử dụng quan hệ “Nếu e A ec B, ΔKP C, ΔKI D ΔKD E ” 51 Bảng 3.1 Luật mờ cho việc tính toán ΔKP/ΔKI/ΔKD ec NB NM NS ZO PS PM PB PB/NB/ PB/NB/ PM/NM/ PM/NM PS/NS/ ZO/ZO/ ZO/ZO/ PS NS NB /NB NB NM PS PB/NB/ PB/NB/ PM/NM/ PS/NS/ PS/NS/ ZO/ZO/ ZO/ZO/ PS NS NB NB NB NM PS PM/NB/ PM/NM PM/NS/ PM/NS/ ZO/ZO/ ZO/PS/ NS/PS/ ZO /NS NM NM NS NS ZO ZO/ZO/ NS/PS/ NS/PM/ NM/PM e NB NM NS ZO PS PM PB PM/NM/ PM/NM PS/NS/N ZO /NS S NS NS NS /ZO PS/NM/ PS/NS/ ZO/ZO/ NS/PS/ NS/PS/ NM/PM NM/PB/ ZO ZO ZO ZO ZO /ZO ZO PS/ZO/P ZO/ZO/ NS/PS/P NM/PS/ NM/P NM/PB/ NB/PB/ B NS S PS M/PS PS PB ZO/ZO/ ZO/ZO/ NM/PS/ NM/PM NM/P NB/PB/ NB/PB/ PB PM PM /PM M/PS PS PB * Giải mờ Giải mờ trình tính toán, xác định giá trị rõ cho biến đầu qua biến mờ đầu Thông thường giải mờ theo phương pháp trọng tâm để có ΔKP, ΔKI ΔKD (3.8) 52 (3.9) (3.10) Các tham số điều khiển PID mờ tính theo công thức : KP = KP0 + ΔKP (3.11) KI = KI0 + ΔKI (3.12) KD = KD0 + ΔKD (3.13) Trong đó, KP0, KI0, KD0 tham số điều khiển PID tính toán trước Ví dụ theo phương pháp Ziegler-Nichols * Những ưu điểm điều khiển PID mờ: - Với việc thiết kế điều khiển PID mờ sở điều khiển PID truyền thống, tham số điều khiển điều chỉnh được, tích hợp kinh nghiệm người điều khiển - Trong thực tế, có nhiều đối tượng điều khiển có đặc tính phi tuyến, thay đổi tham số sai lệch mô hình lớn áp dụng điều khiển PID truyền thống, PID mờ điều khiển PID mờ bị ảnh hưởng mô hình toán đối tượng điều khiển, không cần mô hình toán xác đối tượng điều khiển điều khiển mờ có độ thích nghi độ bền vững cao * Thực điều khiển PID mờ: Sau tính toán ta xây dựng chương trình điều khiển với thành phần hình 3.9 bước thực hình 3.10 53 ATmega16 Xử lý ADC1 Giá trị đặt ADC2 Module cảm biến ADC3 Cảm biến khí Luật mờ Cơ sở liệu Pt1000 Heater Mạch công suất Mờ hoá Luật hợp thành PWM Hình 3.9 Sơ đồ thực điều khiển PID mờ với VĐK Bắt đầu Khởi tạo VĐK, Kp0, Ki0, Kd0 Đọc giá trị đặt, cảm biến - Tính e(k), ec(k) - Tính ∆Kp, ∆Ki, ∆Kd - Tính lệnh ĐK u(k) - Xuất lệnh ĐK u(k) Hình 3.10 Lưu đồ thuật toán điều khiển PID mờ 54 Giải mờ 3.3 Thực điều khiển Matlab, Simulink Matlab cho phép xây dựng hệ thống, cấu hình điều khiển PID mờ theo cách trực quan qua giao diện người dùng với tuỳ chọn (xem hình 3.11) qua chương trình phần mềm với dòng lệnh Hình 3.11 Giao diện xây dựng điều khiển PID mờ matlab Như hình 3.11 thể hiện, người dùng định số biến ngôn ngữ đầu vào, đầu ra, khoảng giá trị biến, cách kết hợp biến đầu vào (AND/OR), phương pháp giải mờ, Hình 3.12 Xác định hàm thuộc e, ec 55 Giao diện hình 3.12 cho phép chọn số lượng biến ngôn ngữ, kiểu hàm liên thuộc biến ngôn ngữ đầu vào, khoảng giá trị giá trị trung tâm biến ngôn ngữ Hình 3.13 Xác định hàm thuộc Kp Tương tự hình 3.12, hình 3.13 cho phép tuỳ chọn cho biến ngôn ngữ đầu Hình 3.14 Các mệnh đề hợp thành điều khiển PID mờ Giao diện hình 3.14 cho phép thực luật hợp thành biến đầu vào, đầu 56 Hình 3.15 Một trường hợp cụ thể biến Hình 3.15 minh hoạ hoạt động điều khiển PID mờ, dùng chuột dịch chuyển giá trị biến mờ đầu vào, điều khiển tính giá trị biến mờ đầu Sau xây dựng xong điều khiển PID mờ Matlab, ta xây dựng hệ thống Simulink để khảo sát đáp ứng hệ thống, kiểm tra, hiệu chỉnh tham số để thực điều khiển PID mờ vi điều khiển Atmega16, hình 3.9 Giả sử ta có đối tượng điều khiển có hàm truyền H3(s) = (3.14) H4(s) = (3.14) 57 Hình 3.16 Sơ đồ điều khiển PID với H3(s) Hình 3.17 So sánh đáp ứng điều khiển PID với H3(s) Hình 3.17 cho kết mô hoạt động điều khiển PID mờ đối tượng cần điều khiển có hàm truyền , nghĩa số thời gian thay đổi từ 6.1s thành 6.5s, độ trễ từ 0.8s thành 1s so với H1(s) Ta thấy rằng, đáp ứng 58 hệ thống (FPID) cải thiện nhiều độ hệ thống khoảng 7% nhiệt độ không giao động quanh điểm ổn định mới, so với đáp ứng điều khiển PID truyền thống (PID) có độ độ khoảng 20% giao động quanh điểm đặt trước ổn định Thời gian xác lập chậm Hình 3.18 Sơ đồ điều khiển PID với H4(s) Hình 3.19 So sánh đáp ứng điều khiển PID với H4(s) 59 Hình 3.19 cho kết mô so sánh đáp ứng điều khiển đối tượng cần điều khiển có hàm truyền , nghĩa số thời gian thay đổi từ 6.1s thành 6.8s, hệ số khuếch đại tư thành 1.3 so với H1(s) Ta thấy rằng, đáp ứng hệ thống (FPID) cải thiện nhiều độ hệ thống khoảng 8% nhiệt độ không giao động quanh điểm ổn định mới, so với đáp ứng điều khiển PID truyền thống (PID) có độ độ khoảng 14% giao động quanh điểm đặt trước ổn định Thời gian xác lập chậm Qua ví dụ đối tượng điều khiển có hàm truyền thay đổi tham số H3(s) H4(s), ta thấy điều khiển PID truyền thống cho đáp ứng vượt giá trị đặt nhiều đáng kể so với đáp ứng điều khiển PID mờ, thế, điều khiển PID truyền thống cho đáp ứng dao động quanh giá trị đặt trước ổn định Vậy điều khiển PID mờ cho đáp ứng tốt Qua ví dụ trên, luận văn chưa khảo sát ảnh hưởng nhiễu điều khiển PID mờ 60 CHƯƠNG KẾT LUẬN VÀ KIẾN NGHỊ NGHIÊN CỨU TIẾP THEO 4.1 Kết luận Luận văn giải nội dung sau : Tìm hiểu cấu tạo số loại cảm biến khí, Tìm hiểu số yếu tố ảnh hưởng đến độ nhạy cảm biến khí, Tìm hiểu hoạt động điều khiển PID, ảnh hưởng hệ số thành phần hợp thành điều khiển, Tìm hiểu số khái niệm logic mờ, điều khiển mờ, Ứng dụng lý thuyết mờ vào xây dựng điều khiển PID với tham số điều chỉnh được, Tính toán tham số tối ưu điều khiển PID cho mô hình đối tượng điều khiển mô kết điều khiển PID mờ matlab, simulink Kết mô thể kết tốt điều khiển PID mờ so với điều khiển PID truyền thống mở khả ứng dụng thực tế 4.2 Kiến nghị nghiên cứu Thực điều khiển PID mờ Vi điều khiển, Thiết kế điều khiển PID mờ thích nghi nhận dạng hàm truyền đối tượng cần điều khiển để điều khiển tối ưu Kết nối mođun điều khiển nhiệt độ cảm biến khí với máy tính để tự động thu thập liệu, điều khiển mạng cảm biến 61 TÀI LIỆU THAM KHẢO Chengxiang Wang, Longwei Yin, Luyuan Zhang, Dong Xiang and Rui Gao, Metal Oxide Gas Sensors Sensitivity and Influencing Factors, Sensors 2010, 10, 2088-2106 Divya Haridasa, Vinay Gupta, Enhanced response characteristics of SnO2 thin film based sensors loaded with Pd clusters for methane detection, Sensors and Actuators B 166– 167 (2012) 156– 164 G Korotcenkov, B.K Cho, Thin film SnO2-based gas sensors Film thickness influence, Sensors and Actuators B 142 (2009) 321–330 Hong Youl Bae, Gyeong Man Choi, Electrical and reducing gas sensing properties of ZnO and ZnO–CuO thin films fabricated by spin coating method, Sensors and Actuators B 55 (1999) 47–54 Ji Haeng Yu, Gyeong Man Choi, Electrical and CO gas sensing properties of ZnO– SnO2 composites, Sensors and Actuators B 52 (1998) 251–256 John A Shaw, The PID Control Algorithm How it works, how to tune it, and how to use it, Process Control Solutions, December 1, 2003 K Arshak, E Moore, G.M Lyons, J Harris and S Clifford, A review of gas sensors employed in electronic nodse applications, Sensor Review Volume 24 · Number · 2004 · pp 181–198 PGS.TS Nguyễn Thị Phương Hà Điều khiển mờ R John Bosco Balaguru, B G Jeyaprakash, Metal Oxide Gas Sensing Mechanism, NPTEL – Electrical & Electronics Engineering – Semiconductor Nanodevices 10 Sangram Keshari Mallick, Mehetab Alam Khan, Study of the design and turning methods of PID controller based on fuzzy logic and genetic algorythm, Department of Electronics and Communication Engineering, National Institute of Technology, Rourkela, May, 2011 62 11 S Ahlers1, G Müller, Th Doll, Factors Influencing the Gas Sensitivity of Metal Oxide Materials, Encyclopedia of Sensors, Edited by C A Grimes, E C Dickey, and M V Pishko Volume X: Pages (1–35) 12 Tong Maosong, Dai Guorui, Gao Dingsan, Surface modification of oxide thin film and its gas-sensing properties, Applied Surface Science 171 (2001) 226-230 13 TS Hoàng Sĩ Hồng, Nguyễn Thị Huế, Nguyễn Tràng Tiến, Nghiên cứu giải pháp tích hợp chip điều khiển nhiệt độ cảm biến đo nồng độ khí 14 Wikipedia.com (http://en.wikipedia.org/wiki/PID_controller ) 15 Xiao Liu, Sitian Cheng, Hong Liu, Sha Hu, Daqiang Zhang and Huansheng Ning, A Survey on Gas Sensing Technology, Sensors 2012, 12, 9635-9665 63 ... không-Không quân Xin cam đoan: Đề tài Nghiên cứu phát triển cảm biến đo nồng độ khí hoạt động dựa sở tự đốt nóng” thầy giáo, TS Hoàng Sĩ Hồng hướng dẫn công trình nghiên cứu riêng Tất tài liệu... bay khác phát cảm biến sở oxit kim loại Từ hạn chế cảm biến oxit kim loại, người ta nghiên cứu cảm biến sở ứng dụng polyme Cho dù số nghiên cứu cảm biến khí sở polyme ứng dụng phát khí vô CO2,... khí nhỏ cảm biến phát hiện; độ chọn lọc khả cảm biến phát khí hỗn hợp khí; thời gian đáp ứng thời gian từ nồng độ khí đạt đến mức cảm biến phát hiện; tính thuận nghịch khả vật liệu cảm biến khôi