kính hiển vi thế hệ mới trong lĩnh vực điện tử nano

20/12/13 1 20/12/13 TS. Tran Tien Phuc 1 KÍNH HIỂN VI THẾ HỆ MỚI TRONG LĨNH VỰC ĐIỆN TỬ NANÔ Trần Tiến Phức Khoa Điện - Điện tử 20/12/13 TS. Tran Tien Phuc 2 CÁC LOẠI KÍNH HIỂN VI DÙNG TRONG LĨNH VỰC NANO 1. Kính hiển vi điện tử truyền qua (Transmission Electron Microscopy - TEM) cho thông tin về hình thái, cấu trúc và các giao diện, những sai hỏng trong mạng tinh thể. 2. Kính hiển vi điện tử quét (Scanning Electron Microscopy - SEM) phát hiện hình thái của mẫu, kết hợp với tán xạ tia X cho thông tin về thành phần của vật liệu. 3. Kính hiển vi đầu dò quét (Scanning Probe Microscopy - SPM) để phân tích bề mặt có độ phân giải cao.  Kính hiển vi đường hầm quét (Scanning Tunneling Microscopy - STM)  Kính hiển vi lực nguyên tử (Atomic Force Microscopy - AFM),  Kính hiển vi lực tónh điện (Electrostatic Force Microscopy - EFM),  Kính hiển vi lực từ (Magnetic Force Microscopy - MFM),  Kính hiển vi tụ quét (Scanning Capacitance Microscopy - SCM), [...]...20/12/13 Kinh hieồn vi lửùc nguyeõn tử trong thửùc teỏ 20/12/13 TS Tran Tien Phuc 21 Kớnh hieồn vi lửùc nguyeõn tử VEECO D3100 20/12/13 TS Tran Tien Phuc 22 11 20/12/13 20/12/13 TS Tran Tien Phuc 23 12 . 1 KÍNH HIỂN VI THẾ HỆ MỚI TRONG LĨNH VỰC ĐIỆN TỬ NANÔ Trần Tiến Phức Khoa Điện - Điện tử 20/12/13 TS. Tran Tien Phuc 2 CÁC LOẠI KÍNH HIỂN VI DÙNG TRONG LĨNH VỰC NANO 1. Kính hiển vi điện tử. lực nguyên tử (Atomic Force Microscopy - AFM),  Kính hiển vi lực tónh điện (Electrostatic Force Microscopy - EFM),  Kính hiển vi lực từ (Magnetic Force Microscopy - MFM),  Kính hiển vi tụ quét. 3. Kính hiển vi đầu dò quét (Scanning Probe Microscopy - SPM) để phân tích bề mặt có độ phân giải cao.  Kính hiển vi đường hầm quét (Scanning Tunneling Microscopy - STM)  Kính hiển vi lực