D iep dt5 SLIDE CONG NGHE NANO DHCNHN pdf

TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHIỆP HÀ NỘI CÔNG NGHỆ NANO KHOA ĐIỆN TỬ CÁC PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO MÀNG MỎNG CÁC PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO MÀNG MỎNG SPUTTERING BỐC BAY LASER XUNG EPITAXY CHÙM PHÂN TỬ DC SPUTTERING RF SPUTTERING MAGNETON SPUTTERING NỘI DUNG CỦA BÀI SPUTTERING CƠ CHẾ: +ion hóa hạt trung hòa thành ion +Tăng tốc ion trong từ trường bắn phá bia,bức các nguyên tử trên bia lắng đọng trên đế +Dùng hiệu điện thế 1 chiều +khí thường dùng là Ar,He +Áp suất khoảng 10-7 torr +Bia phải dẫn điện +Bia chỉ bị bắn phá ở 1 của chu kỳ âm của HĐT Ghi chú: 1 torr=133,32pa=1 mmhg DC SPUTTERING RF SPUTTERING +Dùng điện thế xoay chiều +Bia không cần phải dẫn điện +Dùng phối trở kháng để tăng công suất cũng như bảo vệ dòng điện +Bia bị bắn phá trong cả 2 chu kì dương và âm của HĐT Plasma: - Điện tử thứ cấp phát xạ từ catôt được gia tốc trong điện trường, chúng ion-hóa các nguyên tử khí, do đó tạo ra lớp plasma Bia (kích thước cỡ 2” hoặc 3”) : Được gắn vào một bản giải nhiệt. Bản giải nhiệt được gắn vào cathode. Đế Silicon Đế thủy tinh Đế: Được áp vào điện cực anode Buồng chân không [...]... nhiệt độc đáo của Film  Film được d n trực tiếp lên kính nhờ một lớp keo d n đặc biệt  Có nhiều loại Film chun d ng cho nhà kính với màu sắc đa d ng, loại bỏ 99% tia cực tím, 80% tia hồng ngoại, cản được từ 50-80% sức nóng của ánh nắng mặt trời Lớp phủ chắn nhiệt cho tuabin khí Đây là những lớp phủ của gốm sứ d n nhiệt thấp, áp d ng cho các thành phần kim loại d ng trong phần nóng của động cơ... thấy một mình mặt phẳng đó là thiết yếu cho sự siêu d n nhiệt độ cao Click to edit Master title style Chất siêu d n chứa xen lớp arsenide sắt (màu cam và màu đỏ) và các ơxít kim loại hiếm (màu xanh và màu xám) Hợp chất sắt arsenide trở thành siêu d n ở nhiệt độ tương đối cao của 55 K, và các nhà nghiên cứu đang bắt đầu để giải mã cơ chế của siêu d n MÀNG MỎNG THU NĂNG LƯỢNG NHIÊT MẶT TRỜI •... năng MAGNETON SPUTTERING ƯU ĐIỂM: +D ̃ tạo các màng đa lớp nhờ tạo nhiều bia khác nhau +Đợ bám dính của màng lên đế cao(do đợng năng hạt lớn) +Đợ mấp mơ bề mặt thấp +Tính đợ dày khá chính xác(tương đới hay bớc bay) +Rẻ tiền ,d ̃ thực hiện,khai triển đại trà NHƯỢC ĐIỂM: +Khơng thể tạo ra màng đơn tinh thể +Khơng tạo được đợ dày chính xác cao +Các chất...MAGNETON SPUTTERING +Dùng hiệu điện thế DC hoặc xoay chiều +Đặt từ trường d ới bia vào bia nhiều hơn nhằm giam hãm electron và các ion giúp tăng va đập của Ar+ +Bia bị bắn phá trong cả 2 chu kỳ d ơng và âm của HĐT BỢ PHẬN MAGNETION Từ trường do một vòng nam châm bên ngồi bao quanh và khác cực với nam châm ở giữa Chúng được nối với nhau bằng một tấm sắt, có tác d ng khép kín đường... MÀNG SIÊU D ̃N NHIỆT ĐỢ CAO Các nhà vật lí ở Mĩ vừa chế tạo được chất siêu d n nhiệt độ cao mỏng nhất thế giới tồn tại ở chiều d y một vài ngun tử Sử d ng một kĩ thuật gọi là mọc ghép chùm phân tử Họ đã chế tạo ra một màng “hai lớp” Các nhà nghiên cứu nhận thấy khi họ pha tạp tồn bộ màng mỏng nó khơng còn siêu d n nữa Tuy nhiên, khi họ pha tạp một mặt phẳng nhất định độ chuyển pha siêu d n thay đởi... tấm sắt, có tác d ng khép kín đường sức từ phía d ới Đế (Athod) N (Kathod) S N N (a) (b) Hệ magnetron phẳng và các đường sức từ trên bề mặt bia N Cấu trúc của một số hệ Magnetron thơng thường I Khái niệm về phún xạ Đế Ar + BIA Phún xạ(Sputtering) là kỹ thuật chế tạo màng mỏng d a trên ngun lý truyền động năng bằng cách d ng các iơn khí hiếm được tăng tốc d ới điện trường bắn phá bề mặt vật liệu từ bia... trở lên phức tạp PPBB BẰNG XUNG LASER (pulsed-laser deposition) + D ng chùm laser có xung cực ngắn và cơng xuất lớn ƯU ĐIỂM + Vật liệu làm bia rất đa d ng và chỉ kích thước nhỏ +Chiếu xun qua các vật liệu trong suốt vào buồng khơng mà khơng bị giảm năng lượng +Ion hóa các bia có năng lượng ion hóa lớn +Tạo được màng siêu mỏng,siêu cứng chât lượng cao +D ng nhiều bia để tạo màng đa lớp NHƯỢC ĐIỂM... trong chế tạo bán d n NHƯỢC ĐIỂM: +Hệ MBE vận hành khá phức tạp và tốn kém hàng triệu USD Ảnh chụp thiết bị MBE tại William R Wiley Environmental Molecular Sciences Laboratory cho phép chế tạo các màng mỏng ơxit và gốm Atomic structure of graphene ỨNG DỤNG CỦA MÀNG MỎNG NHIỆT Màng cách nhiệt chớng nóng cho nhà kính  Film chống nắng, cách nhiệt là sản phẩm cơng nghệ cao, d ng màng mỏng,... NHƯỢC ĐIỂM +Có thể xuất hiện các phần tử lớn +Khó kiểm sốt được chính xác độ d y +Bề mặt màng trên đế gồ gề PP EPITAXY CHÙM PHÂN TỬ +Đặt trong mơi trường có cơng suất rất cao 10-9 Torr +Tỉ lệ va chạm giữa các ngun tử rất thấp,từng hạt sẽ đến và lắng đọng trên đế +Người ta thường d ng kĩ thuật nhiễu xạ phản xạ năng lượng cao(RHEED)(kiểm sốt q trình mọc màn thơng qua phổ nhiễu xạ điện tử được ghi trực tiếp)... lượng khơng gian vơ tận, • Tuy nhiên, các hệ thống năng lượng mặt trời nhiệt (năng động) hiện đang dùng là tương đối nặng khó khăn trong vận chủn thay thế cho các hệ thống năng lượng mặt trời với tấm thu nhiệt lỡi thời Ban đầu làm thí nghiệm với diện tích 2m x 3m, được thiết kế và xây d ng bởi SRS Technologies, Inc TRÊN ĐÂY LÀ BÀI THÚT TRÌNH CỦA NHÓM CHÚNG EM XIN CHÚC THẦY . chiều +khí thường d ng là Ar,He +Áp suất khoảng 10-7 torr +Bia phải d n điện +Bia chỉ bị bắn phá ở 1 của chu kỳ âm của HĐT Ghi chú: 1 torr=133,32pa=1 mmhg DC SPUTTERING RF SPUTTERING +Dùng điện. chiều +Bia không cần phải d ̃n điện +Dùng phối trở kháng để tăng công suất cũng như bảo vệ dòng điện +Bia bị bắn phá trong cả 2 chu kì d ơng và âm của HĐT Plasma:. phá trong cả 2 chu kỳ d ơng và âm của HĐT S N N N N (b) (a) (Kathod) Đế (Athod) Hệ magnetron phẳng và các đường sức từ trên bề mặt bia BỢ PHẬN MAGNETION Từ trường do một vòng nam châm bên