Phún xạ phần 3 ppsx

8 373 0
Phún xạ phần 3 ppsx

Đang tải... (xem toàn văn)

Thông tin tài liệu

21 21 2/2/2006 2/2/2006 Đ Đ ạ ạ i h i h ọ ọ c B c B á á ch khoa H ch khoa H à à N N ộ ộ i i Ph Ph ú ú n x n x ạ ạ (ti (ti ế ế p) p) C C ả ả i thi i thi ệ ệ n vi n vi ệ ệ c s c s ử ử d d ụ ụ ng bia nh ng bia nh ờ ờ thay đ thay đ ổ ổ i h i h ì ì nh d nh d ạ ạ ng c ng c á á c nam c nam châm (ti châm (ti ế ế p) p) 22 22 2/2/2006 2/2/2006 Đ Đ ạ ạ i h i h ọ ọ c B c B á á ch khoa H ch khoa H à à N N ộ ộ i i Ph Ph ú ú n x n x ạ ạ (ti (ti ế ế p) p) Magnetron không cân b Magnetron không cân b ằ ằ ng ng 23 23 2/2/2006 2/2/2006 Đ Đ ạ ạ i h i h ọ ọ c B c B á á ch khoa H ch khoa H à à N N ộ ộ i i C C á á c lo c lo ạ ạ i magnetron i magnetron Ph Ph ú ú n x n x ạ ạ (ti (ti ế ế p) p) Magnetron c Magnetron c á á c lo c lo ạ ạ i kh i kh á á c nhau cho ph c nhau cho ph é é p thay đ p thay đ ổ ổ i c i c á á c t c t í í nh ch nh ch ấ ấ t t t t ừ ừ trư trư ờ ờ ng c ng c ủ ủ a ngu a ngu ồ ồ n n v v ớ ớ i c i c á á c hi c hi ệ ệ u u ứ ứ ng đư ng đư ợ ợ c t c t ạ ạ o ra như sau o ra như sau : :   Unbalance (Không cân b Unbalance (Không cân b ằ ằ ng): B ng): B ằ ằ ng c ng c á á ch thay đ ch thay đ ổ ổ i g i g ó ó c ra c c ra c ủ ủ a c a c á á c đư c đư ờ ờ ng s ng s ứ ứ c t c t ừ ừ trư trư ờ ờ ng trong c ng trong c á á c magnetron không cân b c magnetron không cân b ằ ằ ng c ng c ó ó th th ể ể đi đi ề ề u ch u ch ỉ ỉ nh s nh s ố ố lư lư ợ ợ ng đi ng đi ệ ệ n t n t ử ử đư đư ợ ợ c c tho tho á á t ra, t ra, do đ do đ ó ó , c , c ả ả m m ứ ứ c đ c đ ộ ộ b b ắ ắ n ph n ph á á ion đ ion đ ố ố i v i v ớ ớ i m i m à à ng m ng m ỏ ỏ ng đư ng đư ợ ợ c t c t ạ ạ o th o th à à nh. nh.   Balance (Cân b Balance (Cân b ằ ằ ng): D ng): D ù ù ng đ ng đ ể ể gi gi ả ả m thi m thi ể ể u lư u lư ợ ợ ng năng lư ng n ăng lư ợ ợ ng b ng b ổ ổ sung cho m sung cho m à à ng m ng m ỏ ỏ ng ng m m ọ ọ c trên đ c trên đ ế ế v v à à t t ạ ạ o ra đi o ra đi ề ề u ki u ki ệ ệ n b n b ắ ắ n ph n ph á á ion th ion th ấ ấ p. p.   Field Strength Field Strength ( ( Cư Cư ờ ờ ng đ ng đ ộ ộ t t ừ ừ trư trư ờ ờ ng): T ng): T hay đ hay đ ổ ổ i cư i cư ờ ờ ng đ ng đ ộ ộ t t ừ ừ trư trư ờ ờ ng đ ng đ ể ể đi đi ề ề u ch u ch ỉ ỉ nh nh cư cư ờ ờ ng đ ng đ ộ ộ v v à à hi hi ệ ệ u đi u đi ệ ệ n th n th ế ế ph ph ó ó ng đi ng đi ệ ệ n. C n. C ó ó th th ể ể s s ử ử d d ụ ụ ng đ ng đ ể ể b b ù ù tr tr ừ ừ v v ớ ớ i thay đ i thay đ ổ ổ i đi i đi ệ ệ n n á á p p gây ra b gây ra b ở ở i hi i hi ệ ệ n tư n tư ợ ợ ng ăn mòn bia trong qu ng ăn mòn bia trong qu á á tr tr ì ì nh ph nh ph ú ú n x n x ạ ạ . .   Magnetic Field Shape (Phân b Magnetic Field Shape (Phân b ố ố t t ừ ừ trư trư ờ ờ ng): T ng): T hay đ hay đ ổ ổ i phân b i phân b ố ố t t ừ ừ trư trư ờ ờ ng trong không ng trong không gian gây ra s gian gây ra s ự ự bi bi ế ế n đ n đ ổ ổ i tương t i tương t á á c gi c gi ữ ữ a plasma v a plasma v ớ ớ i anode nh i anode nh ằ ằ m đi m đi ề ề u ch u ch ỉ ỉ nh nh á á p su p su ấ ấ t l t l à à m m vi vi ệ ệ c c c c ự ự c ti c ti ể ể u. u. 24 24 2/2/2006 2/2/2006 Đ Đ ạ ạ i h i h ọ ọ c B c B á á ch khoa H ch khoa H à à N N ộ ộ i i Cơ ch Cơ ch ế ế l l ấ ấ p đ p đ ầ ầ y c y c á á c rãnh, c rãnh, bư bư ớ ớ c trong m c trong m à à ng m ng m ỏ ỏ ng ph ng ph ú ú n x n x ạ ạ Ph Ph ú ú n x n x ạ ạ (ti (ti ế ế p) p) Năng lư Năng lư ợ ợ ng c ng c ủ ủ a c a c á á c nguyên t c nguyên t ử ử t t ớ ớ i b i b ề ề m m ặ ặ t t m m à à ng ~ 1 ng ~ 1 – – 15 eV. 15 eV. C C á á c nguyên t c nguyên t ử ử v v ậ ậ t li t li ệ ệ u m u m à à ng b ng b ị ị b b ứ ứ t ra do t ra do qu qu á á tr tr ì ì nh b nh b ắ ắ n ph n ph á á b b ở ở i c i c á á c ion Ar c ion Ar + + s s ẽ ẽ l l ạ ạ i t i t á á i i l l ắ ắ ng đ ng đ ọ ọ ng sau khi truy ng sau khi truy ề ề n b n b ớ ớ t đ t đ ộ ộ ng năng cho ng năng cho c c á á c nguyên t c nguyên t ử ử kh kh á á c trong m c trong m à à ng v ng v à à t t ì ì m đư m đư ợ ợ c c v v ị ị tr tr í í c c ó ó l l ợ ợ i v i v ề ề m m ặ ặ t n ăng lư t năng lư ợ ợ ng. ng. Quãng đư Quãng đư ờ ờ ng t ng t ự ự do trung b do trung b ì ì nh c nh c ủ ủ a c a c á á c c nguyên t nguyên t ử ử t t ớ ớ i đư i đư ợ ợ c t c t í í nh theo công th nh theo công th ứ ứ c th c th ự ự c c nghi nghi ệ ệ m: m: L (cm) = 5x10 L (cm) = 5x10 - - 3 3 /P (torr) /P (torr) 25 25 2/2/2006 2/2/2006 Đ Đ ạ ạ i h i h ọ ọ c B c B á á ch khoa H ch khoa H à à N N ộ ộ i i Vi c Vi c ấ ấ u tr u tr ú ú c c c c ủ ủ a c a c á á c m c m à à ng m ng m ỏ ỏ ng ph ng ph ú ú n x n x ạ ạ Ph Ph ú ú n x n x ạ ạ (ti (ti ế ế p) p) 26 26 2/2/2006 2/2/2006 Đ Đ ạ ạ i h i h ọ ọ c B c B á á ch khoa H ch khoa H à à N N ộ ộ i i Thi Thi ế ế t b t b ị ị ph ph ú ú n x n x ạ ạ trong công nghi trong công nghi ệ ệ p p Ph Ph ú ú n x n x ạ ạ (ti (ti ế ế p) p) 27 27 2/2/2006 2/2/2006 Đ Đ ạ ạ i h i h ọ ọ c B c B á á ch khoa H ch khoa H à à N N ộ ộ i i Ph Ph ú ú n x n x ạ ạ (ti (ti ế ế p) p) C C á á c ưu đi c ưu đi ể ể m c m c ủ ủ a phương ph a phương ph á á p ph p ph ú ú n x n x ạ ạ T T ố ố c đ c đ ộ ộ m m ọ ọ c m c m à à ng cao ng cao Di Di ệ ệ n t n t í í ch c ch c ủ ủ a m a m à à ng m ng m ỏ ỏ ng l ng l ớ ớ n, v n, v ớ ớ i đ i đ ộ ộ đ đ ồ ồ ng đ ng đ ề ề u cao u cao C C ó ó t t í í nh b nh b á á m d m d í í nh t nh t ố ố t gi t gi ữ ữ a c a c á á c v c v ậ ậ t li t li ệ ệ u m u m à à ng m ng m ỏ ỏ ng v ng v à à đ đ ế ế nên c nên c ó ó th th ể ể thay đ thay đ ổ ổ i i ứ ứ ng su ng su ấ ấ t trong m t trong m à à ng m ng m ỏ ỏ ng ng C C ó ó th th ể ể t t ạ ạ o m o m à à ng ph ng ph ú ú n x n x ạ ạ kim lo kim lo ạ ạ i, i, đi đi ệ ệ n môi hay b n môi hay b á á n d n d ẫ ẫ n n C C ó ó th th ể ể t t ạ ạ o m o m à à ng ph ng ph ú ú n x n x ạ ạ v v ớ ớ i c i c á á c v c v ậ ậ t li t li ệ ệ u h u h ợ ợ p ch p ch ấ ấ t th t th í í ch h ch h ợ ợ p p 28 28 2/2/2006 2/2/2006 Đ Đ ạ ạ i h i h ọ ọ c B c B á á ch khoa H ch khoa H à à N N ộ ộ i i C C á á m ơn đã theo dõi m ơn đã theo dõi !!! !!! Mọi góp ý, bổ sung xin gửi đến: Dr. Le Tuan Hanoi University of Technology Institute of Engineering Physics Dept. of Electronic Materials 2 nd Floor, C9 Building 1 Dai Co Viet Str., Hanoi, Vietnam Mobile: 0912 560 536 E-mail: le.tuan@vnn.vn . H à à N N ộ ộ i i Ph Ph ú ú n x n x ạ ạ (ti (ti ế ế p) p) Magnetron không cân b Magnetron không cân b ằ ằ ng ng 23 23 2/2/2006 2/2/2006 Đ Đ ạ ạ i h i h ọ ọ c B c B á á ch khoa H ch khoa H à à N N ộ ộ i i C C á á c. th nh theo công th ứ ứ c th c th ự ự c c nghi nghi ệ ệ m: m: L (cm) = 5x10 L (cm) = 5x10 - - 3 3 /P (torr) /P (torr) 25 25 2/2/2006 2/2/2006 Đ Đ ạ ạ i h i h ọ ọ c B c B á á ch khoa H ch khoa. Electronic Materials 2 nd Floor, C9 Building 1 Dai Co Viet Str., Hanoi, Vietnam Mobile: 0912 560 536 E-mail: le.tuan@vnn.vn

Ngày đăng: 02/08/2014, 10:21

Mục lục

    Sơ đồ bố trí các bộ phận thiết bị phún xạ

    Cơ chế thực hiện quá trình phún xạ

    Cơ chế thực hiện quá trình phún xạ (tiếp)

    Một vài đặc điểm của các hạt nhỏ vật liệu bia phún xạ

    Các phản ứng do va chạm với điện tử

    Cơ chế và hiệu suất phún xạ của các vật liệu đơn chất

    Các hợp chất vật liệu bia có thể được dùng để tạo màng trên phiến đế

    Hệ thống phóng điện có hai bản cực song song cho phún xạ một chiều

    Hệ thống phóng điện cải tiến cho phún xạ

    Phún xạ hóa học

Tài liệu cùng người dùng

  • Đang cập nhật ...

Tài liệu liên quan