21 21 2/2/2006 2/2/2006 Đ Đ ạ ạ i h i h ọ ọ c B c B á á ch khoa H ch khoa H à à N N ộ ộ i i Ph Ph ú ú n x n x ạ ạ (ti (ti ế ế p) p) C C ả ả i thi i thi ệ ệ n vi n vi ệ ệ c s c s ử ử d d ụ ụ ng bia nh ng bia nh ờ ờ thay đ thay đ ổ ổ i h i h ì ì nh d nh d ạ ạ ng c ng c á á c nam c nam châm (ti châm (ti ế ế p) p) 22 22 2/2/2006 2/2/2006 Đ Đ ạ ạ i h i h ọ ọ c B c B á á ch khoa H ch khoa H à à N N ộ ộ i i Ph Ph ú ú n x n x ạ ạ (ti (ti ế ế p) p) Magnetron không cân b Magnetron không cân b ằ ằ ng ng 23 23 2/2/2006 2/2/2006 Đ Đ ạ ạ i h i h ọ ọ c B c B á á ch khoa H ch khoa H à à N N ộ ộ i i C C á á c lo c lo ạ ạ i magnetron i magnetron Ph Ph ú ú n x n x ạ ạ (ti (ti ế ế p) p) Magnetron c Magnetron c á á c lo c lo ạ ạ i kh i kh á á c nhau cho ph c nhau cho ph é é p thay đ p thay đ ổ ổ i c i c á á c t c t í í nh ch nh ch ấ ấ t t t t ừ ừ trư trư ờ ờ ng c ng c ủ ủ a ngu a ngu ồ ồ n n v v ớ ớ i c i c á á c hi c hi ệ ệ u u ứ ứ ng đư ng đư ợ ợ c t c t ạ ạ o ra như sau o ra như sau : : Unbalance (Không cân b Unbalance (Không cân b ằ ằ ng): B ng): B ằ ằ ng c ng c á á ch thay đ ch thay đ ổ ổ i g i g ó ó c ra c c ra c ủ ủ a c a c á á c đư c đư ờ ờ ng s ng s ứ ứ c t c t ừ ừ trư trư ờ ờ ng trong c ng trong c á á c magnetron không cân b c magnetron không cân b ằ ằ ng c ng c ó ó th th ể ể đi đi ề ề u ch u ch ỉ ỉ nh s nh s ố ố lư lư ợ ợ ng đi ng đi ệ ệ n t n t ử ử đư đư ợ ợ c c tho tho á á t ra, t ra, do đ do đ ó ó , c , c ả ả m m ứ ứ c đ c đ ộ ộ b b ắ ắ n ph n ph á á ion đ ion đ ố ố i v i v ớ ớ i m i m à à ng m ng m ỏ ỏ ng đư ng đư ợ ợ c t c t ạ ạ o th o th à à nh. nh. Balance (Cân b Balance (Cân b ằ ằ ng): D ng): D ù ù ng đ ng đ ể ể gi gi ả ả m thi m thi ể ể u lư u lư ợ ợ ng năng lư ng n ăng lư ợ ợ ng b ng b ổ ổ sung cho m sung cho m à à ng m ng m ỏ ỏ ng ng m m ọ ọ c trên đ c trên đ ế ế v v à à t t ạ ạ o ra đi o ra đi ề ề u ki u ki ệ ệ n b n b ắ ắ n ph n ph á á ion th ion th ấ ấ p. p. Field Strength Field Strength ( ( Cư Cư ờ ờ ng đ ng đ ộ ộ t t ừ ừ trư trư ờ ờ ng): T ng): T hay đ hay đ ổ ổ i cư i cư ờ ờ ng đ ng đ ộ ộ t t ừ ừ trư trư ờ ờ ng đ ng đ ể ể đi đi ề ề u ch u ch ỉ ỉ nh nh cư cư ờ ờ ng đ ng đ ộ ộ v v à à hi hi ệ ệ u đi u đi ệ ệ n th n th ế ế ph ph ó ó ng đi ng đi ệ ệ n. C n. C ó ó th th ể ể s s ử ử d d ụ ụ ng đ ng đ ể ể b b ù ù tr tr ừ ừ v v ớ ớ i thay đ i thay đ ổ ổ i đi i đi ệ ệ n n á á p p gây ra b gây ra b ở ở i hi i hi ệ ệ n tư n tư ợ ợ ng ăn mòn bia trong qu ng ăn mòn bia trong qu á á tr tr ì ì nh ph nh ph ú ú n x n x ạ ạ . . Magnetic Field Shape (Phân b Magnetic Field Shape (Phân b ố ố t t ừ ừ trư trư ờ ờ ng): T ng): T hay đ hay đ ổ ổ i phân b i phân b ố ố t t ừ ừ trư trư ờ ờ ng trong không ng trong không gian gây ra s gian gây ra s ự ự bi bi ế ế n đ n đ ổ ổ i tương t i tương t á á c gi c gi ữ ữ a plasma v a plasma v ớ ớ i anode nh i anode nh ằ ằ m đi m đi ề ề u ch u ch ỉ ỉ nh nh á á p su p su ấ ấ t l t l à à m m vi vi ệ ệ c c c c ự ự c ti c ti ể ể u. u. 24 24 2/2/2006 2/2/2006 Đ Đ ạ ạ i h i h ọ ọ c B c B á á ch khoa H ch khoa H à à N N ộ ộ i i Cơ ch Cơ ch ế ế l l ấ ấ p đ p đ ầ ầ y c y c á á c rãnh, c rãnh, bư bư ớ ớ c trong m c trong m à à ng m ng m ỏ ỏ ng ph ng ph ú ú n x n x ạ ạ Ph Ph ú ú n x n x ạ ạ (ti (ti ế ế p) p) Năng lư Năng lư ợ ợ ng c ng c ủ ủ a c a c á á c nguyên t c nguyên t ử ử t t ớ ớ i b i b ề ề m m ặ ặ t t m m à à ng ~ 1 ng ~ 1 – – 15 eV. 15 eV. C C á á c nguyên t c nguyên t ử ử v v ậ ậ t li t li ệ ệ u m u m à à ng b ng b ị ị b b ứ ứ t ra do t ra do qu qu á á tr tr ì ì nh b nh b ắ ắ n ph n ph á á b b ở ở i c i c á á c ion Ar c ion Ar + + s s ẽ ẽ l l ạ ạ i t i t á á i i l l ắ ắ ng đ ng đ ọ ọ ng sau khi truy ng sau khi truy ề ề n b n b ớ ớ t đ t đ ộ ộ ng năng cho ng năng cho c c á á c nguyên t c nguyên t ử ử kh kh á á c trong m c trong m à à ng v ng v à à t t ì ì m đư m đư ợ ợ c c v v ị ị tr tr í í c c ó ó l l ợ ợ i v i v ề ề m m ặ ặ t n ăng lư t năng lư ợ ợ ng. ng. Quãng đư Quãng đư ờ ờ ng t ng t ự ự do trung b do trung b ì ì nh c nh c ủ ủ a c a c á á c c nguyên t nguyên t ử ử t t ớ ớ i đư i đư ợ ợ c t c t í í nh theo công th nh theo công th ứ ứ c th c th ự ự c c nghi nghi ệ ệ m: m: L (cm) = 5x10 L (cm) = 5x10 - - 3 3 /P (torr) /P (torr) 25 25 2/2/2006 2/2/2006 Đ Đ ạ ạ i h i h ọ ọ c B c B á á ch khoa H ch khoa H à à N N ộ ộ i i Vi c Vi c ấ ấ u tr u tr ú ú c c c c ủ ủ a c a c á á c m c m à à ng m ng m ỏ ỏ ng ph ng ph ú ú n x n x ạ ạ Ph Ph ú ú n x n x ạ ạ (ti (ti ế ế p) p) 26 26 2/2/2006 2/2/2006 Đ Đ ạ ạ i h i h ọ ọ c B c B á á ch khoa H ch khoa H à à N N ộ ộ i i Thi Thi ế ế t b t b ị ị ph ph ú ú n x n x ạ ạ trong công nghi trong công nghi ệ ệ p p Ph Ph ú ú n x n x ạ ạ (ti (ti ế ế p) p) 27 27 2/2/2006 2/2/2006 Đ Đ ạ ạ i h i h ọ ọ c B c B á á ch khoa H ch khoa H à à N N ộ ộ i i Ph Ph ú ú n x n x ạ ạ (ti (ti ế ế p) p) C C á á c ưu đi c ưu đi ể ể m c m c ủ ủ a phương ph a phương ph á á p ph p ph ú ú n x n x ạ ạ T T ố ố c đ c đ ộ ộ m m ọ ọ c m c m à à ng cao ng cao Di Di ệ ệ n t n t í í ch c ch c ủ ủ a m a m à à ng m ng m ỏ ỏ ng l ng l ớ ớ n, v n, v ớ ớ i đ i đ ộ ộ đ đ ồ ồ ng đ ng đ ề ề u cao u cao C C ó ó t t í í nh b nh b á á m d m d í í nh t nh t ố ố t gi t gi ữ ữ a c a c á á c v c v ậ ậ t li t li ệ ệ u m u m à à ng m ng m ỏ ỏ ng v ng v à à đ đ ế ế nên c nên c ó ó th th ể ể thay đ thay đ ổ ổ i i ứ ứ ng su ng su ấ ấ t trong m t trong m à à ng m ng m ỏ ỏ ng ng C C ó ó th th ể ể t t ạ ạ o m o m à à ng ph ng ph ú ú n x n x ạ ạ kim lo kim lo ạ ạ i, i, đi đi ệ ệ n môi hay b n môi hay b á á n d n d ẫ ẫ n n C C ó ó th th ể ể t t ạ ạ o m o m à à ng ph ng ph ú ú n x n x ạ ạ v v ớ ớ i c i c á á c v c v ậ ậ t li t li ệ ệ u h u h ợ ợ p ch p ch ấ ấ t th t th í í ch h ch h ợ ợ p p 28 28 2/2/2006 2/2/2006 Đ Đ ạ ạ i h i h ọ ọ c B c B á á ch khoa H ch khoa H à à N N ộ ộ i i C C á á m ơn đã theo dõi m ơn đã theo dõi !!! !!! Mọi góp ý, bổ sung xin gửi đến: Dr. Le Tuan Hanoi University of Technology Institute of Engineering Physics Dept. of Electronic Materials 2 nd Floor, C9 Building 1 Dai Co Viet Str., Hanoi, Vietnam Mobile: 0912 560 536 E-mail: le.tuan@vnn.vn . H à à N N ộ ộ i i Ph Ph ú ú n x n x ạ ạ (ti (ti ế ế p) p) Magnetron không cân b Magnetron không cân b ằ ằ ng ng 23 23 2/2/2006 2/2/2006 Đ Đ ạ ạ i h i h ọ ọ c B c B á á ch khoa H ch khoa H à à N N ộ ộ i i C C á á c. th nh theo công th ứ ứ c th c th ự ự c c nghi nghi ệ ệ m: m: L (cm) = 5x10 L (cm) = 5x10 - - 3 3 /P (torr) /P (torr) 25 25 2/2/2006 2/2/2006 Đ Đ ạ ạ i h i h ọ ọ c B c B á á ch khoa H ch khoa. Electronic Materials 2 nd Floor, C9 Building 1 Dai Co Viet Str., Hanoi, Vietnam Mobile: 0912 560 536 E-mail: le.tuan@vnn.vn