4.4.1. Cảm biến tụ đơn 81 4.4.2. Cảm biến tụ kép vi sai 83 4.4.3. Mạch đo 84 4.5. Cảm biến quang 84 4.5.1. Cảm biến quang phản xạ 84 4.5.2. Cảm biến quang soi thấu 85 4.6. Cảm biến đo dịch chuyển bằng sóng đàn hồi 86 4.6.1. Nguyên lý đo dịch chuyển bằng sóng đàn hồi 86 4.6.2. Cảm bi ến sử dụng phần tử áp điện 87 4.6.3. Cảm biến âm từ 88 Chương V. Cảm biến đo biến dạng 5.1. Biến dạng và phương pháp đo 90 5.1.1. Định nghĩa một số đại lượng co học 90 5.1.2. Phương pháp đo biến dạng 91 5.2. Đầu đo điện trở kim loại 91 5.2.1. Cấu tạo và nguyên lý hoạt động 91 5.2.2. Các đặc trưng chủ yếu 93 5.3. Cảm biến áp trở silic 94 5.3.1. Cấu tạo và nguyên lý hoạt động 94 5.3.2. Các đặc trưng chủ yếu 95 5.4. Đầu đo trong chế độ động 96 5.4.1. Tần số sử dụng tối đa 96 5.4.2. Giới hạn mỏi 97 5.5. ứng suất kế dây rung 97 Chương VI. Cảm biến đo lực 6.1. Nguyên lý đo lực 99 6.2. Cảm biến áp điện 100 6.2.1. Cấu tạo và nguyên lý hoạt động 100 6.2.2. Cảm biến thạch anh kiểu vòng đệm 101 6.2.3. Cảm biến thạch anh nhiều thành phần 102 6.2.4. Sơ đồ mạch đo 102 6.3. Cảm biến từ giảo 104 6.3.1. Hiệu ứng từ giảo 104 6.3.2. Cảm biến từ thẩm biến thiên 105 6.3.3. Cảm biến từ dư biến thiên 106 6.4. Cảm biến dựa trên phép đo dịch chuyển 106 6.5. Cảm biến xúc giác 107 Chương VII. Cảm biến đo vận tốc, gia tốc và rung 7.1. Cảm biến đo vận tốc 108 7.1.1. Nguyên lý đo vận tốc 108 7.1.2. Tốc độ kế điện từ 108 7.1.3. Tốc độ kế xung 113 7.1.4. Máy đo góc tuyệt đối 115 7.1.5. Đổi hướng kế 116 7.2. Cảm biến đo rung và gia tốc 118 7.2.1. Khái niệm cơ bản 118 7.2.2. Cảm biến đo tố c độ rung 121 7.2.3. Gia tốc kế áp điện 122 7.2.4. Gia tốc kế áp trở 123 Chương VIII. Cảm biến đo áp suất chất lưu 8.1. áp suất và nguyên lý đo áp suất 126 8.1.1. áp suất và đơn vị đo 126 8.1.2. Nguyên lý đo áp suất 127 8.2. áp kế vi sai dựa trên nguyên tắc cân bằng thuỷ tĩnh 128 8.2.1. áp kế vi sai kiểu phao 128 8.2.2. áp kế vi sai kiểu chuông 129 8.3. Cảm biến áp suất dựa trên phép đo biến dạng 130 8.3.1. Phần tử biến dạng 131 8.3.2. Các bộ chuyển đổi điện 135 Chương IX. Cảm biến đo lưu lượng và mức chất lưu 9.1. Cảm biến đo lưu lượng 142 9.1.1. Lưu lượng và đơn vị đo 142 9.1.2. Công tơ thể tích 142 9.1.3. Công tơ tốc độ 144 9.1.4. Lưu lượng kế màng chắn 146 9.1.5. Lưu lượng kế điện từ 149 9.2. Cảm biến đo và phát hiện mức chất lưu 150 9.2.1. Mục đích và phương pháp đo 150 9.2.2. Phương pháp thuỷ tỉnh 151 9.2.3. Phương pháp điện 152 9.2.4. Phương pháp bức xạ 153 Chương X. Cảm biến thông minh 10.1. Khái niệm về cảm biến thông minh 155 10.2. Cấu trúc của một cảm biến thông minh 156 10.3. Các khâu chức năng của cảm biến thông minh 157 10.3.1. Bộ chuyển đổi chuẩn hoá 157 10.3.2. Bộ dồn kênh MUX 159 10.3.3. Bộ chuyển đổi tương tự - số A/D 160 10.4. Các thuật toán xử lý trong cảm biến thông minh 163 10.4.1. Tự động khắc độ 163 10.4.2. Xử lý tuyến tính hoá từng đoạn 163 10.4.3. Gia công kết quả đo 166 10.4.4. Sai số của kết quả các phép đo gián tiếp 171 Tài liệu tham khảo 174 Mục lục 175 . 4.4.1. Cảm biến tụ đơn 81 4.4.2. Cảm biến tụ kép vi sai 83 4.4.3. Mạch đo 84 4.5. Cảm biến quang 84 4.5.1. Cảm biến quang phản xạ 84 4.5.2. Cảm biến quang soi thấu 85 4.6. Cảm biến. Cảm biến từ giảo 104 6.3.1. Hiệu ứng từ giảo 104 6.3.2. Cảm biến từ thẩm biến thiên 105 6.3.3. Cảm biến từ dư biến thiên 106 6.4. Cảm biến dựa trên phép đo dịch chuyển 106 6.5. Cảm. 8.3. Cảm biến áp suất dựa trên phép đo biến dạng 130 8.3.1. Phần tử biến dạng 131 8.3.2. Các bộ chuyển đổi điện 135 Chương IX. Cảm biến đo lưu lượng và mức chất lưu 9.1. Cảm biến đo