Khảo sát một số tính chất điện của linh kiện bán dẫn gan ga2o3 diode bằng phần mềm silvaco tcad

BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC SƯ PHẠM KỸ THUẬT THÀNH PHỐ HỒ CHÍ MINH ĐỒ ÁN TỐT NGHIỆP NGÀNH CÔNG NGHỆ VẬT LIỆU KHẢO SÁT MỘT SỐ TÍNH CHẤT ĐIỆN CỦA LINH KIỆN BÁN DẪN GaN/Ga2O3 DIODE BẰNG PHẦN MỀM SILVACO TCAD GVHD: T.S ĐỖ HUY BÌNH SVTH : NGUYỄN THỊ DUN SKL011793 Tp Hồ Chí Minh, tháng 9/2023 TRƯỜNG ĐẠI HỌC SƯ PHẠM KỸ THUẬT THÀNH PHỐ HỒ CHÍ MINH KHOA KHOA HỌC ỨNG DỤNG BỘ MƠN CƠNG NGHỆ VẬT LIỆU KHĨA LUẬN TỐT NGHIỆP ĐỀ TÀI: KHẢO SÁT MỘT SỐ TÍNH CHẤT ĐIỆN CỦA LINH KIỆN BÁN DẪN GaN/Ga2O3 DIODE BẰNG PHẦN MỀM SILVACO TCAD *** GVHD: TS ĐỖ HUY BÌNH SVTH: NGUYỄN THỊ DUN MSSV: 19130015 KHĨA: 2019 Tp Hồ Chí Minh, tháng 09, năm 2023 KHOA KHOA HỌC ỨNG DỤNG BỘ MÔN CÔNG NGHỆ VẬT LIỆU CỘNG HÒA XÃ HỘI CHỦ NGHĨA VIỆT NAM Độc lập – Tự – Hạnh phúc ******* NHẬN XÉT CỦA GIÁO VIÊN HƯỚNG DẪN Họ và tên Sinh viên: Nguyễn Thị Duyên MSSV: 19130015 Ngành: Công nghệ vật liệu Tên đề tài: Khảo sát số tính chất điện linh kiện bán dẫn GaN/Ga2O3 diode phần mền Silvaco TCAD Họ và tên Giáo viên hướng dẫn: TS Đỗ Huy Bình Cơ quan công tác GV hướng dẫn: Trường Đại học Sư Phạm Kỹ Thuật TP Hồ Chí Minh NHẬN XÉT Về nội dung đề tài và khối lượng thực hiện: Đề tài hoàn thành xuất sắc việc khảo sát các đặc tính linh kiện GaN/Ga2O3 diode, loại linh kiện bán dẫn cơng suất tiềm năng, thay cho linh kiện được chế tạo vật liệu SiC Đề tài mang hàm lượng khoa học cao, có tính chất mới Kết được tổng hợp để đăng các tạp chí khoa học nước, quốc tế Đề tài tập trung giải thành công công việc: - Chuẩn hóa mơ hình mơ phỏng: là bước quan trọng tiến hành mô loại linh kiện bán dẫn Sinh viên Nguyễn Thị Duyên chuẩn hóa thành cơng thơng số mơ phịng, thể qua việc thu được các đặc tuyến IV mô thực nghiệm trùng khớp với Kết mơ có ý nghĩa mơ hình được chuẩn hóa với thực nghiệm - Khảo sát tính chất linh kiện GaN/Ga2O3 diode lên tính chất điện nó: sau q trình khảo sát, sinh viên Duyên rút được giá trị tối ưu bề dày lớp GaN, nồng độ pha tạp lớp này để dòng điện chạy qua linh kiện GaN/Ga2O3 diode đạt giá trị cực đại - Khảo sát tính chất bên linh kiện mà thực nghiệm khơng đo được nhằm giúp người đọc hiểu rõ chế hoạt động linh kiện: thông số sự phân bố điện thế, cường độ điện trường bên linh kiện được xuất từ kết mô phỏng, giúp cho người đọc hiểu rõ về chế hoạt động linh kiện Các thông số đo được thực nghiệm Tinh thần học tập, nghiên cứu sinh viên: Sinh viên Duyên có tinh thần học tập nghiêm túc, có khả tự nghiên cứu độc lập mơ hình Vật Lý dùng mơ tả tính chất linh kiện Sinh viên Duyên có kỹ lập trình mơ linh kiện tốt Ưu điểm: Rất chủ động và độc lập nghiên cứu Khuyết điểm: Một số tính chất Vật Lý bên linh kiện nắm chưa rõ Tuy nhiên, là giới hạn mà sinh viên trình độ kỹ sư ln gặp phải Đề nghị cho bảo vệ hay không? Được bảo vệ Điểm: 10 (Bằng chữ: mười điểm) Tp Hồ Chí Minh, ngày tháng năm 2023 Giáo viên hướng dẫn (Ký & ghi rõ họ tên) TRƯỜNG ĐHSPKT TP.HCM KHOA KHOA HỌC ỨNG DỤNG CỘNG HÒA XÃ HỘI CHỦ NGHĨA VIỆT NAM Độc lập – Tự – Hạnh phúc ĐĂNG KÝ ĐỔI TÊN ĐỀ TÀI KHÓA LUẬN TỐT NGHIỆP Họ tên sinh viên: Nguyễn Thị Duyên Ngày sinh: 02/03/2001 Ngành: Công nghệ vật liệu MSSV: 19130015 Năm học dự kiến bảo vệ: 2023 Tên giảng viên hướng dẫn: TS Đỗ Huy Bình Tên đề tài luận văn đăng ký: Nghiên cứu thiết kế mô linh kiện bán dẫn công suất GaN- Ga2O3 MOSFET Tên đề tài luận văn mới: Khảo sát số tính chất điện linh kiện bán dẫn GaN - Ga2O3 diode phần mền Silvaco TCAD Lý thay đổi tên đề tài luận văn: Thay đổi hướng nghiên cứu cho phù hợp đối với yêu cầu cho luận văn kỹ sư Cán bộ hướng dẫn (Họ tên chữ ký) Tp Hồ Chí Minh, ngày 24 tháng 08 năm 2023 Sinh viên đăng ký (Họ tên chữ ký) Ý kiến trưởng bộ môn LỜI CẢM ƠN Lời đầu tiên, tơi xin bày tỏ lịng biết ơn đến Tiến sĩ Đỗ Huy Bình tận tình hướng dẫn, giúp đỡ tạo điều kiện thuận lợi cho hồn thành tốt luận văn Tơi cảm ơn Trường Đại Học Sư Phạm Kỹ Thuật TP Hồ Chí Minh, đặc biệt thầy cô Khoa Khoa Học Ứng Dụng tạo cho môi trường học tập động, sáng tạo, truyền đạt những kiến thức bổ ích, những kỹ cần thiết suốt những năm học vừa qua Bên cạnh đó, tơi xin gửi lời cảm ơn đến tác giả, đồng tác giả viết mà sử dụng Cuối cùng, xin cảm ơn gia đình giúp đỡ, tạo mọi điều kiện tốt từ vật chất đến tinh thần cho học tập nghiên cứu suốt thời gian qua Cảm ơn tất bạn bè, anh chị đồng nghiệp công ty Onsemiconductor Việt Nam và đặc biệt anh Nguyễn Khánh, em Trần Bảo Quân bạn Nguyễn Thị Thúy An quan tâm, động viên giúp đỡ lúc thực nghiên cứu Tôi xin trân trọng cảm ơn! Nguyễn Thị Duyên i LỜI CAM ĐOAN Với sự hướng dẫn Tiến sĩ Đỗ Huy Bình, tơi xin cam đoan kết nghiên cứu khóa luận trung thực, rõ ràng và chưa được công bố những báo cáo trước Kết sử dụng để hoàn thành luận văn tốt nghiệp Trường Đại Học Sư Phạm Kỹ Thuật TP Hồ Chí Minh Chỉ TS Đỗ Huy Bình được quyền sử dụng kết nghiên cứu này để công bố khoa học TP Hồ Chí Minh, tháng 08 năm 2023 Nguyễn Thị Duyên ii