ĐỀ tài điều KHIỂN và xử lý ẢNH BẰNG PHƯƠNG PHÁP SEM TEM về cấu TRÚC vật LIỆU

TỔNG LIÊN ĐOÀN LAO ĐỘNG VIỆT NAM TRƯỜNG ĐẠI HỌC TÔN ĐỨC THẮNG KHOA KHOA HỌC ỨNG DỤNG - R BÀI TẬP BÁO CÁO THUYẾT TRÌNH ĐIỀU KHIỂN Q TRÌNH (MÃ MƠN HỌC: 602044) ĐỀ TÀI: ĐIỀU KHIỂN VÀ XỬ LÝ ẢNH BẰNG PHƯƠNG PHÁP SEM TEM VỀ CẤU TRÚC VẬT LIỆU Giảng viên hướng dẫn: GVC,TS.TRẦN VĂN NGŨ TS.TRẦN VIỆT HÙNG Sinh viên thực MSSV Thành phố Hồ Chí Minh, tháng năm 2022 MỤC LỤC DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU LỜI CẢM ƠN Lời đầu tiên, nhóm chúng em xin gửi lời cảm ơn chân thành đến quý thầy/ cô Khoa Khoa học ứng dụng tạo điều kiện tốt để sinh viên tiếp nhận vốn kiến thức quý báu trình học tập trường Đặc biệt, nhóm chúng em xin bày tỏ lịng tri ân sâu sắc đến thầy Trần Văn Ngũ, trưởng mơn hóa lý kỹ thuật, Khoa Khoa học ứng dụng thuộc trường Đại Học Tôn Đức Thắng thầy Trần Việt Hùng người đồng hành chúng em mơn điều khiển q trình Trong suốt q trình học tập nghiên cứu mơn học này, thầy quan tâm, giúp đỡ, hướng dẫn tận tình, truyền đạt kiến thức quý báu cho chúng em Được giúp đỡ, dẫn thầy, chúng em bước sửa đổi sai sót, giải đáp thắc mắc khó khăn trình thực báo cáo Qua yêu cầu mà tập ứng dụng đề ra, chúng em có hội hiểu rõ ứng dụng môn học vào thực tiễn Tập thể nhóm cố gắng hỗ trợ để hoàn thành báo cáo cách tốt Tuy nhiên, hạn chế khách quan chủ quan báo cáo chúng em khó tránh khỏi sai sót định Tập thể nhóm chúng em mong nhận ý kiến, đóng góp nhận xét từ thầy để hồn thiện kiến thức NHĨM EM XIN CHÂN THÀNH CẢM ƠN THẦY! DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU LỜI MỞ ĐẦU Điều khiển trình lĩnh vực ứng dụng quan trọng kỹ thuật điều khiển ngành công nghiệp lượng hóa chất ( gọi chung cơng nghiệp chế biến process industry), môn khoa học nghiên cứu tĩnh học tĩnh động học biến đổi lý hóa q trình sản xuất cơng nghiệp, phục vụ cho việc thiết kế thiết bị công nghệ hệ thống điều khiển q trình cơng nghệ Do điều khiển q trình cốt lõi hệ thống tự động hóa q trình cơng nghệ Nghiên cứu hệ điều khiển trình theo hai hướng tiếp cận: hướng thứ thuộc nhà công nghệ điều khiển trình phục vụ khâu thiết kế dây chuyền thiết bị công nghệ đề xuất nhiệm vụ điều khiển trình Hướng thứ hai nghiên cứu điều khiển tự động hóa để thiết kế, lắp đặt, điều chỉnh vận hành nhằm đảm bảo chất lượng sản phẩm, hiệu sản xuất an tồn cho người, máy móc mơi trường Vậy việc nghiên cứu lĩnh vực điều khiển trình, cụ thể trình điều khiển xử lý ảnh phương pháp SEM,TEM cấu trúc vật liệu không điều thiết yếu cho ngành Kỹ thuật hóa học mà cịn đóng vai trị quan trọng cho công nghiệp đại DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU CHƯƠNG I: GIỚI THIỆU ĐỀ TÀI I.1 Đặt vấn đề: - Mắt người bình thường quan sát vật nhỏ khoảng 1mm Với mẫu vật có kích thước micromet hay nanomet, cần tới công cụ hỗ trợ kính hiển vi quang học kính hiển vi điện tử Vì thế, việc xử lý mẫu chụp SEM TEM đánh kích thước mẫu đặt kích thước micro hay nano nghiên cứu công việc cần quan tâm - Việc điều khiển chụp bề mặt vật liệu, hay chí thành phần bên vật liệu việc cần thiêt để kiểm tra phân bố cấu trúc hợp chất, từ đảm bảo tính quán chất lượng vật liệu I.2 Mục đích nghiên cứu: - Ứng dụng kiến thức học điều khiển q trình vào thực tế, mơ điều khiển hệ thống phần mềm Node-Red, hiểu rõ q trình hoạt động Từ sử dụng vào ngành vật liệu đại Qua phát cải thiện sai sót quy trình điều khiển cụ thể Cũng như, cải tiến ưu điểm để đạt chất lượng đầu tốt I.3 Đối tượng nghiên cứu: - Tập trung mô phần mềm Node Red kết hợp sử dụng AutoCad, xây dụng mơ hình điều khiển giả định Tạo hệ thống nhận xử lý thông tin để kiểm tra kết xử lý sai số DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU CHƯƠNG II: SƠ LƯỢC VỀ KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ (SEM, TEM) – NGUYÊN LÝ HOẠT ĐỘNG II.1 Kính hiển vi điện tử quét (tiếng Anh: Scanning Electron Microscope, SEM): Kính hiển vi điện tử quét (tiếng Anh: Scanning Electron Microscope, thường viết tắt SEM), loại kính hiển vi điện tử tạo ảnh với độ phân giải cao bề mặt mẫu vật rắn cách sử dụng chùm điện tử (chùm electron) hẹp quét bề mặt mẫu Việc tạo ảnh mẫu vật thực thông qua việc ghi nhận phân tích xạ phát từ tương tác chùm điện tử với bề mặt mẫu vật Có nghĩa SEM nằm nhóm thiết bị phân tích vi cấu trúc vật rắn chùm điện tử II.2 Kính hiển vi điện tử truyền qua (tiếng Anh: transmission electron microscopy, TEM): DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU Kính hiển vi điện tử truyền qua (tiếng Anh: transmission electron microscopy, viết tắt: TEM) thiết bị nghiên cứu vi cấu trúc vật rắn, sử dụng chùm điện tử có lượng cao chiếu xuyên qua mẫu vật rắn mỏng sử dụng thấu kính từ để tạo ảnh với độ phóng đại lớn (có thể tới hàng triệu lần), ảnh tạo huỳnh quang, hay film quang học, hay ghi nhận máy chụp kỹ thuật số Về mặt nguyên lý, TEM có cấu trúc tương tự kính hiển vi quang học với nguồn sáng (lúc nguồn điện tử), hệ thấu kính (hội tụ, tạo ảnh…), độ… Tuy nhiên, TEM vượt xa khả kính hiển vi truyền thống việc quan sát vật nhỏ, đến khả phân tích đặc biệt mà kính hiển vi quang học nhiều loại kính hiển vi khác khơng thể có nhờ tương tác chùm điện tử với mẫu II.3 So sánh SEM TEM: TEM SEM DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU Tạo ảnh thật với khả phân SEM không đòi hỏi mẫu phải giải tới cấp độ nguyên tử, mỏng TEM, tức ta không với chất lượng cao đặc biệt cần phá hủy mẫu TEM cho hình ảnh cấu trúc SEM cho ảnh với độ vi mô bên mẫu vật rắn, phân giải cao mà xử lý khác hẳn với kiểu kính hiển mẫu vất vả, phải phá vi khác mẫu Tốc độ ghi ảnh TEM cao, Hoạt động dễ dàng, khơng địi hỏi cho phép chụp ảnh động, quay nhiều thiết bị đắt tiền TEM video trình động Giá thành SEM thấp chất rắn TEM nhiều Nhược TEM thiết bị đắt tiền SEM chụp ảnh điểm Một TEM bình thường có giá từ mẫu dẫn điện 1-2 triệu USD SEM cho banj hình ảnh vi cấu TEM cần nột phịng thí nghiệm trúc bề mặt, cấu tiêu chuẩn khắt khe độ ẩm, trúc thật vật liệu độ khơng khí, ổn định cao Độ phân giải SEM thấp nhiệt độ điện áp, cách ly nhiều so với TEM Ưu điểm hoàn toàn tiếng ồn, rung động nhỏ Yêu cầu mẫu khắt khe nên cần đòi hỏi phịng thí nghiệm riêng để xử lý mẫu cực tinh vi, cần phải đạt độ mỏng định Các hệ thống TEM nằm buồng chân khơng siêu cao, địi DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU hỏi phải có thao tác xác, tuân thử cách nghiêm ngặt quy trình phức tạp CHƯƠNG 3: CƠ SỞ THỰC HIỆN NGHIÊN CỨU 3.1 Điều khiển q trình cơng nghệ DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU Điều khiển trình ứng dụng kỹ thuật điều khiển tự động điều khiển, vận hành, giám sát q trình cơng nghệ, nhằm đảm bảo chất lượng sản phẩm, hiệu sản xuất an tồn cho người mơi trường Mục đích điều khiển trình:  Đảm bảo vận hành hệ thống ổn định trơn tru  Đảm bảo suất chất lượng sản phẩm  Đảm bảo vận hành hệ thống an tồn  Bảo vệ mơi trường  Nâng cao hiệu kinh tế gắn với hiệu xã hội 3.2 Phương pháp điều khiển Phương pháp điều khiển sử dụng cho hệ thống xử lỷ ảnh SEM, TEM sử dụng sách lược điều khiển phản hồi điều khiển ON – OFF DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU Hình 3.1 Sơ đồ mang tính nguyên tắc sách lược điều khiển phản hồi Sách lược điều khiển phản hồi, phận tiếp nhận, chuyển đổi truyền tín hiệu lấy tín hiệu biến cần điều khiển để truyền điều khiển thực việc điều khiển để đạt giá trị cài đặt mong muốn biến cần điều khiển  Ưu điểm - Có thể ổn định q trình khơng ổn định – điều mà sách lược điều khiển bù nhiều hay tỷ lệ không thực - Chất lượng điều khiển cao triệt tiêu ảnh hưởng nhiễu không mong muốn, không xác định - Đảm bảo đạt mục đích mong muốn hay nhu cầu cần áp dụng với biến cần điều khiển  Nhược điểm - Tác động chậm, điều khiển không kịp thời để “hậu quả” xảy khắc phục ảnh hưởng tác động nhiễu DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM.TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU