ĐỀ tài điều KHIỂN và xử lý ẢNH BẰNG PHƯƠNG PHÁP SEM, TEM về cấu TRÚC vật LIỆU

TỔNG LIÊN ĐOÀN LAO ĐỘNG VIỆT NAM TRƯỜNG ĐẠI HỌC TÔN ĐỨC THẮNG KHOA KHOA HỌC ỨNG DỤNG - R BÀI TẬP BÁO CÁO THUYẾT TRÌNH ĐIỀU KHIỂN Q TRÌNH (MÃ MƠN HỌC: 602044) ĐỀ TÀI: ĐIỀU KHIỂN VÀ XỬ LÝ ẢNH BẰNG PHƯƠNG PHÁP SEM, TEM VỀ CẤU TRÚC VẬT LIỆU Giảng viên hướng dẫn: GVC, TS TRẦN VĂN NGŨ TS TRẦN VIỆT HÙNG Sinh viên thực MSSV Nguyễn Hoàng Nam - 61900761 Vũ Nhật Lân - 61900749 Nguyễn Thị Diễm Trinh - 61900797 Nguyễn Xuân Thọ - 61800865 Nguyễn Thị Phương Thảo - 61900780 Hồ Chí Minh, tháng năm 2022 MỤC LỤC LỜI CẢM ƠN LỜI MỞ ĐẦU CHƯƠNG 1: GIỚI THIỆU ĐỀ TÀI 1.1 Đặt vấn đề: 1.2 Mục đích nghiên cứu: .6 1.3 Đối tượng nghiên cứu: CHƯƠNG 2: SƠ LƯỢC VỀ KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ (SEM, TEM) – NGUYÊN LÝ HOẠT ĐỘNG 2.1 Kính hiển vi điện tử quét (tiếng Anh: Scanning Electron Microscope, SEM): .7 2.2 Kính hiển vi điện tử truyền qua (tiếng Anh: transmission electron microscopy, TEM): CHƯƠNG 3: ĐIỀU KHIỂN QUÁ TRÌNH 3.1 Xác định biến trình: 3.2 Phương pháp điều khiển phản hồi: 12 3.3 Sơ đồ khối Lưu đồ điều khiển trình: 13 CHƯƠNG 4: THỰC NGHIỆM 15 4.1 Hình ảnh thực nghiệm: 15 .15 CHƯƠNG 5: ĐÁNH GIÁ .16 5.1 Ưu điểm Nhược điểm: .16 KẾT LUẬN .18 DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU MỤC LỤC HÌNH ẢNH Hình Hình Hình Hình Hình Hình Hình 2.1 Kính hiển vi điện tử qt 2.2 Kính hiển vi điện tử truyền qua 3.1 Các biến điều khiển 11 3.2 Sơ đồ mang tính nguyên tắc sách lược điều khiển phản hồi .12 3.3 Sơ đồ khối 13 4.1 Hình SEM từ vật liệu Si@TiO2/C với kích thước micro mét .15 4.2 Hình SEM từ vật liệu Si@TiO2/C với kích thước nano mét .15 DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU LỜI CẢM ƠN Lời đầu tiên, nhóm chúng em xin gửi lời cảm ơn chân thành đến quý thầy/ cô Khoa Khoa học ứng dụng tạo điều kiện tốt để sinh viên tiếp nhận vốn kiến thức quý báu q trình học tập trường Đặc biệt, nhóm chúng em xin bày tỏ lòng tri ân sâu sắc đến thầy Trần Văn Ngũ, trưởng mơn hóa lý kỹ thuật, Khoa Khoa học ứng dụng thuộc trường Đại Học Tôn Đức Thắng thầy Trần Việt Hùng người đồng hành chúng em môn điều khiển trình Trong suốt trình học tập nghiên cứu môn học này, thầy quan tâm, giúp đỡ, hướng dẫn tận tình, truyền đạt kiến thức quý báu cho chúng em Được giúp đỡ, dẫn thầy, chúng em bước sửa đổi sai sót, giải đáp thắc mắc khó khăn q trình thực báo cáo Qua yêu cầu mà tập ứng dụng đề ra, chúng em có hội hiểu rõ ứng dụng môn học vào thực tiễn Tập thể nhóm cố gắng hỗ trợ để hoàn thành báo cáo cách tốt Tuy nhiên, hạn chế khách quan chủ quan báo cáo chúng em khó tránh khỏi sai sót định Tập thể nhóm chúng em mong nhận ý kiến, đóng góp nhận xét từ thầy để hồn thiện kiến thức NHĨM EM XIN CHÂN THÀNH CẢM ƠN THẦY! DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU LỜI MỞ ĐẦU Điều khiển trình lĩnh vực ứng dụng quan trọng kỹ thuật điều khiển ngành công nghiệp lượng hóa chất (gọi chung cơng nghiệp chế biến process industry), môn khoa học nghiên cứu tĩnh học tĩnh động học biến đổi lý hóa q trình sản xuất công nghiệp, phục vụ cho việc thiết kế thiết bị công nghệ hệ thống điều khiển trình cơng nghệ Do điều khiển q trình cốt lõi hệ thống tự động hóa trình cơng nghệ Nghiên cứu hệ điều khiển q trình theo hai hướng tiếp cận: hướng thứ thuộc nhà cơng nghệ điều khiển q trình phục vụ khâu thiết kế dây chuyền thiết bị công nghệ đề xuất nhiệm vụ điều khiển trình Hướng thứ hai nghiên cứu điều khiển tự động hóa để thiết kế, lắp đặt, điều chỉnh vận hành nhằm đảm bảo chất lượng sản phẩm, hiệu sản xuất an tồn cho người, máy móc môi trường Vậy việc nghiên cứu lĩnh vực điều khiển trình, cụ thể trình điều khiển xử lý ảnh phương pháp SEM, TEM cấu trúc vật liệu không điều thiết yếu cho ngành Kỹ thuật hóa học mà cịn đóng vai trị quan trọng cho công nghiệp đại DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU CHƯƠNG 1: GIỚI THIỆU ĐỀ TÀI 1.1 Đặt vấn đề: - Mắt người bình thường quan sát vật nhỏ khoảng 1mm Với mẫu vật có kích thước micromet hay nanomet, cần tới công cụ hỗ trợ kính hiển vi quang học kính hiển vi điện tử Vì thế, việc xử lý mẫu chụp SEM TEM đánh kích thước mẫu đặt kích thước micro hay nano nghiên cứu công việc cần quan tâm - Việc điều khiển chụp bề mặt vật liệu, hay chí thành phần bên vật liệu việc cần thiêt để kiểm tra phân bố cấu trúc hợp chất, từ đảm bảo tính quán chất lượng vật liệu 1.2 Mục đích nghiên cứu: - Ứng dụng kiến thức học điều khiển q trình vào thực tế, mơ điều khiển hệ thống phần mềm Node-Red, hiểu rõ q trình hoạt động Từ sử dụng vào ngành vật liệu đại Qua phát cải thiện sai sót quy trình điều khiển cụ thể Cũng như, cải tiến ưu điểm để đạt chất lượng đầu tốt 1.3 Đối tượng nghiên cứu: - Tập trung mô phần mềm Node Red kết hợp sử dụng AutoCad, xây dụng mơ hình điều khiển giả định Tạo hệ thống nhận xử lý thông tin để kiểm tra kết xử lý sai số DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU CHƯƠNG 2: SƠ LƯỢC VỀ KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ (SEM, TEM) – NGUYÊN LÝ HOẠT ĐỘNG 2.1 Kính hiển vi điện tử quét (tiếng Anh: Scanning Electron Microscope, SEM): Kính hiển vi điện tử quét (tiếng Anh: Scanning Electron Microscope, thường viết tắt SEM), loại kính hiển vi điện tử tạo ảnh với độ phân giải cao bề mặt mẫu vật rắn cách sử dụng chùm điện tử (chùm electron) hẹp quét bề mặt mẫu Việc tạo ảnh mẫu vật thực thông qua việc ghi nhận phân tích xạ phát từ tương tác chùm điện tử Hình 2.1 Kính hiển vi điện tử quét với bề mặt mẫu vật Có nghĩa SEM nằm nhóm thiết bị phân tích vi cấu trúc vật rắn chùm điện tử DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU 2.2 Kính hiển vi điện tử truyền qua (tiếng Anh: transmission electron microscopy, TEM): Kính hiển vi điện tử truyền qua (tiếng Anh: transmission electron microscopy, viết tắt: TEM) thiết bị nghiên cứu vi cấu trúc vật rắn, sử dụng chùm điện tử có lượng cao chiếu xuyên qua mẫu vật rắn mỏng sử dụng thấu kính từ để tạo ảnh với độ phóng đại lớn (có thể tới hàng triệu lần), ảnh tạo huỳnh quang, hay film quang học, hay ghi nhận máy chụp kỹ thuật số Về mặt nguyên lý, TEM có cấu trúc tương tự kính hiển vi quang học với nguồn sáng (lúc nguồn điện tử), hệ thấu kính (hội tụ, tạo ảnh…), độ… Tuy nhiên, TEM vượt xa khả kính hiển vi truyền thống việc quan sát vật nhỏ, đến khả phân tích đặc biệt mà kính hiển vi quang học nhiều loại kính hiển vi khác khơng thể có nhờ tương tác chùm điện tử với mẫu Hình 2.2 Kính hiển vi điện tử truyền qua DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU CHƯƠNG 3: ĐIỀU KHIỂN QUÁ TRÌNH 3.1 Xác định biến trình: Biến Điều khiển:  Chế độ xem - Focus: Tiêu cự - Constrast: Độ tương phản - Brightless: Độ sáng - Magnification: Độ phóng đại - Generating overview: Vùng Quan sát  Độ dày mẫu  Mode: Chế độ nguồn điện - All Materials (5kVa): Sử dụng cho tất vật liệu, thường mẫu không dẫn điện - High res (10kVa): thường dùng cho mẫu dẫn điện - Analysis (15kVa): Dùng cho việc xác định nguyên tố mẫu  Intensity: Chế độ ảnh - Low: Chân không thấp, thường dùng cho phi kim có độ dẫn điện thấp - Image: hình ảnh - Point: điểm, thường dùng với chế độ Analysis - Map: tập hợp nhiều Point  Detector: Dầu dò - BSD full (Mặc định): Backscattered electron detector - Topo A - Topo B DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU Biến trạng thái:  Pck: Áp suất chân không Biến nhiễu:  Độ dẫn điện mẫu  Bụi Biến ra:  Chất lượng hình ảnh: - Độ phân giải - Dung lượng hình ảnh  Thời gian xử lý 10 DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU 3.2 Phương pháp điều khiển phản hồi: Ở sách lược điều khiển phản hồi, phận tiếp nhận, chuyển đổi truyền tín hiệu lấy tín hiệu biến cần điều khiển để truyền điều khiển thực việc điều khiển để đạt giá trị cài đặt mong muốn biến cần điều khiển Hình 3.3 Các biến điều khiển 11 DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU Hình 3.4 Sơ đồ mang tính nguyên tắc sách lược điều khiển phản hồi Ưu điểm: - Có thể ồn định trình khơng ổn định – điều mà sách lược điều khiển bù nhiễu hay điều khiển tỷ lệ không thực - Chất lượng điều khiển cao triệt tiêu ảnh hưởng nhiễu không mong muốn, không xác định - Đảm bảo đạt mục đích mong muốn hay nhu cầu cần áp dụng với biến cần điều khiển Nhược điểm: - Tác động chậm, điều khiển không kịp thời để “hậu quả” xảy khắc phục ảnh hưởng tác động nhiễu 12 DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU 3.3 Sơ đồ khối Lưu đồ điều khiển trình: Sơ đồ khối: Chế độ xem xem Độ dày mẫu Mode Chế độ mẫu xem Độ dày Intensity xem Mode Detector Độ dày mẫu Chế Intensity độMode xem Detector xem Độ dày mẫu Intensity Mode Detector Chế độ mẫu xem Độ dày Intensity xem Mode Detector Độ dày mẫu Chế Intensity độMode xem Detector xem Độ dày mẫu Intensity Mode Detector Chế độ mẫu xem Độ dày Intensity xem Mode Detector Độ dày mẫu Chế Intensity độMode xem Detector xem Độ dày mẫu Intensity Mode Detector Chế độ mẫu xem Độ dày Intensity xem Mode Detector Độ dày mẫu Intensity Chế độMode xem Detector xem Độ dày mẫu Intensity Mode Detector Chế độ mẫu xem Độ dày Intensity xem Mode Detector Độ dày mẫu Chế Intensity độMode xem Detector xem Độ dày mẫu Intensity Mode Detector Chế độ mẫu xem Độ dày Intensity xem Mode Detector Độ dày mẫu Chế Intensity độMode xem Detector xem Độ dày mẫu Intensity Mode Bụi Độ dẫn điện mẫu Bụi Độ dẫn điện mẫu KÍNH HIỂN VI SEM, TEM Bụi Độ dẫn điện mẫu Bụi Độ dẫn điện mẫu Hình 3.0.4 Lưu đồ điều khiểnB Độ dẫn điện mẫu Độ dẫn điện mẫu Độ dẫn điện mẫu ụi Bụi Bụi Bụi Hình 3.0.5 Lưu đồ điều khiểnB ụi Pck Độ dẫn điện mẫu Hình 3.5 Sơ đồ khối Pck Pck Pck Pck Độ dẫn điện mẫu Độ dẫn điện mẫu Độ dẫn điện mẫu Độ dẫn điện mẫu Độ dẫn điện mẫu Bụi Pck Độ dẫn điện mẫu Bụi Pck Độ dẫn điện mẫu Bụi Pck Hình 3.0.6 Lưu đồ điều khiểnB ụi Pck 13 Pck Bụi Pck Bụi Pck Độ dẫn điện mẫu Độ dẫn điện mẫu Độ dẫn điện mẫu Độ dẫn điện mẫu Độ dẫn điện mẫu Chất lượng hình ảnh Chất lượng hình ảnh Thời gian xử lý Chất lượng hình ảnh Thời gian xử lý Chất lượng hình ảnh Thời gian xử lý Chất lượng hình ảnh Thời gian xử lý Chất lượng hình ảnh Thời gian xử lý Chất lượng hình ảnh Thời gian xử lý Chất lượng hình ảnh Thời gian xử lý Chất lượng hình ảnh Thời gian xử lý Chất lượng hình ảnh Thời gian xử lý Chất lượng hình ảnh Thời gian xử lý Chất lượng hình ảnh Thời gian xử lý Chất lượng hình ảnh Thời gian xử lý Chất lượng hình ảnh Thời gian xử lý Chất lượng hình ảnh Thời gian xử lý Chất lượng hình ảnh Thời gian xử lý Chất lượng hình ảnh Thời gian xử lý Chất lượng hình ảnh Thời gian xử lý DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU Độ dẫn điện mẫu Độ dẫn điện mẫu Chất lượng hình ảnh Thời gian xử lý Detector Chế độ mẫu xem Độ dày Intensity xem Mode Detector Độ dày mẫu Intensity Chế độMode xem Detector xem Độ dày mẫu Intensity Mode Detector Chế độ xem Độ dày mẫu Lưu đồ điều khiển: Intensity xem Mode Detector Độ dày mẫu Chế Intensity độMode xem Detector xem Độ dày mẫu Intensity Mode Detector Chế độChùm xem tia Độ dày mẫu Intensity electron xem Mode Detector Độ dày mẫu Chùm Chế Intensity độMode xem tia electron Detector xem Độ dày mẫu Intensity Mode Detector Chế độChùm xem tia Độ dày mẫu electron xemIntensity Mode Detector Độ dày mẫu Intensity Chùm Chế độMode xem tia electron Detector xem Độ dày mẫu Intensity Mode Detector Chế độ mẫu xem Độ dày Intensity xem Mode Detector Độ dày mẫu Intensity Chế độMode xem Detector xem Độ dày mẫu Intensity Mode Detector Chế độ mẫu xem Độ dày Intensity xem Mode Detector Độ dày mẫu Chế Intensity độMode xem Detector xem Độ dày mẫu Intensity Mode Detector Chế độ mẫu xem Độ dày Intensity xem Mode Detector Độ dày mẫu Chế Intensity độMode xem Detector xem Độ dày mẫu Intensity Mode Detector Chế độ mẫu xem Độ dày Intensity xem Mode Detector Độ dày mẫu Chế Intensity độMode xem Detector xem Độ dày mẫu Intensity Mode Detector Chế độ mẫu xem Độ dày Intensity xem Mode Detector Độ dày mẫu Intensity Chế độMode xem Detector xem Độ dày mẫu ụi DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU Bụi Pck Độ dẫn điện mẫu Bụi Pck Độ dẫn điện mẫu Bắn chùm Bụi electron Bụi Bắn chùm Nguồn electron phát Bụi điện tử Bắn chùm Bụi electron Nguồn phát Bụi Bắn chùm điện tử electron Hình 3.0.7 Nguồn Lưu đồ phát điều Thấu Kính điệnkhiển tử B ụi Thấu Kính Nguồn phát Bụi Cuộn Thấu Kính điện tử quét Bụi Thấu Kính Máy ghi Cuộn Bụi điện tử quét tán xạ Pck Pck Độ dẫn điện mẫu Độ dẫn điện mẫu Độ dẫn điện mẫu Pck Độ dẫn điện mẫu Pck Độ dẫn điện mẫu Pck ĐộAnot dẫn điện mẫu Pck Pck Pck ĐộAnot dẫn điện mẫu ĐộAnot dẫn điện mẫu ĐộAnot dẫn điện mẫu Độ dẫn điện mẫu Chất lượng hình ảnh Thời gian xử lý Chất lượng hình ảnh Thời gian xử lý Chất lượng hình ảnh Thời gian xử lý Chất lượng hình ảnh Thời gian xử lý Chất lượng hình ảnh Thời gian xử lý Chất lượng hình ảnh Thời gian xử lý Chất lượng hình ảnh Thời gian xử lý Chất lượng hình ảnh Thời gian xử lý Chất lượng hình ảnh Thời gian xử lý Chất lượng hình ảnh Thời gian xử lý Chất lượng hình ảnh Thời gian xử lý Chất lượng hình ảnh Thời gian xử lý Chất lượng hình ảnh Thời gian xử lý Độ dẫn điện mẫu Pck Màn hình quét Chất lượng hình ảnh Thời gian xử lý Độ dẫn điện mẫu Màn hình quét Hình ngược Pck Chất lượng hình ảnh 3.0.8 Cuộn Thời gian xử lý Lưu đồ Độ dẫn điện mẫu quét Màn hình quét Máy ghi điều Chất lượng hình ảnh Pck Thời gian xử lý điệnkhiển tử B Độ dẫn điện mẫu Cuộn Màn hình quét tánụi xạ Chất lượng hình ảnh quét Thời gian xử lý PĐiện ngược ck tử thứ cấp Độ dẫn điện mẫu Bụi Chất lượng hình ảnh Thời gian xử lý Máy ghi tử thứ cấpđiện mẫu PĐiện Độ dẫn ck điệnBụi tử Chất lượng hình ảnh Mẫu tán xạ Điện tử thứ cấpđiện mẫu Thời gian xử lý Độ dẫn Pck ngược Bụi Chất lượng hình ảnh Mẫu Điện tử thứ cấpđiện mẫu Thời gian xử lý Độ dẫn MáyHình ghi Pck Chất lượng hình ảnh 3.0.9 Thời gian xử lý điện tử Độ dẫn điện mẫu Lưu đồ Mẫu tán xạ Chất lượng hình ảnh điều ck Lưu Đồ khối Hình P 3.4 Thời gian xử lý ngược khiểnB Độ dẫn điện mẫu Chất lượng hình ảnh ụi Mẫu Thời gian xử lý Pck14 Độ dẫn điện mẫu Chất lượng hình ảnh Bụi Thời gian xử lý Pck Độ dẫn điện mẫu Chất lượng hình ảnh Bụi Thời gian xử lý Độ dẫn điện mẫu Pck Chất lượng hình ảnh Bụi Thời gian xử lý Độ dẫn điện mẫu Chất lượng hình ảnh Pck Bụi Thời gian xử lý DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU Intensity Độ dẫn điện mẫu Pck Mode Detector Chất lượng hình ảnh Bụi Chế độ xem Độ dày mẫu Thời gian xử lý Intensity xem Mode Độ dẫn điện mẫu Pck Detector Chất lượng hình ảnh Bụi Độ dày mẫu Thời gian xử lý Intensity Chế độMode xem Độ dẫn điện mẫu Detector Chất lượng hình ảnh Pck xem Bụi Độ dày mẫu Thời gian xử lý Intensity Độ dẫn điện mẫu Mode Detector Chất lượng hình ảnh Chế độ xem Bụi Độ dày mẫu CHƯƠNG 4: THỰC NGHIỆM Pck Thời gian xử lý Intensity xem Mode Độ dẫn điện mẫu Detector Chất lượng hình ảnh 4.1 Hình ảnh thực nghiệm: Bụi Độ dày mẫu Thời gian xử lý Intensity P Chế độMode xem ck Độ dẫn điện mẫu Detector Chất lượng hình ảnh xem Bụi Độ dày mẫu Thời gian xử lý Intensity Độ dẫn điện mẫu Pck Mode Hình Detector Chất lượng hình ảnh Chế độ mẫu xem Độ dày Thời gian xử lý 3.0.10 Intensity xem Mode Độ dẫn điện mẫu Lưu đồ Pck Detector Chất lượng hình ảnh Độ dày mẫu điều Thời gian xử lý Intensity Chế độMode xem Độ dẫn điện mẫu khiểnB Detector Chất lượng hình ảnh xem Pck ụi Độ dày mẫu Thời gian xử lý Intensity Độ dẫn điện mẫu Mode Detector Chất lượng hình ảnh Chế độ mẫu xem Bụi Độ dày Pck Thời gian xử lý Intensity xem Mode Độ dẫn điện mẫu Detector Chất lượng hình ảnh Bụi Độ dày mẫu Thời gian xử lý Intensity Pck Chế độMode xem Độ dẫn điện mẫu Detector Chất lượng hình ảnh xem Bụi Độ dày mẫu Thời gian xử lý Intensity Độ dẫn điện mẫu P Mode Hình 4.6 Hình SEM từ vật liệu ck Si@TiO2/C với kích thước micro mét Detector Chất lượng hình ảnh Hình Chế độ mẫu xem Độ dày Thời gian xử lý Intensity 3.0.11 xem Mode Độ dẫn điện mẫu Lưu đồ Pck Detector Chất lượng hình ảnh Độ dày mẫu điều Thời gian xử lý Intensity Chế độMode xem Độ dẫn điện mẫu khiểnB Detector Chất lượng hình ảnh xem Độ dày mẫu Pck ụi Thời gian xử lý Intensity Độ dẫn điện mẫu Mode Detector Chất lượng hình ảnh Chế độ mẫu xem Độ dày Bụi Thời gian xử lý P Intensity ck xem Mode Độ dẫn điện mẫu Detector Chất lượng hình ảnh Độ dày mẫu Bụi Thời gian xử lý Intensity Chế độMode xem Pck Độ dẫn điện mẫu Detector Chất lượng hình ảnh xem Độ dày mẫu Bụi Thời gian xử lý Intensity Độ dẫn điện mẫu Mode P ck Detector Chất lượng hình ảnh Chế độ mẫu xem Hình Độ dày Thời gian xử lý Intensity 3.0.12 xem Mode Độ dẫn điện mẫu Lưu đồ Pck Detector Chất lượng hình ảnh Độ dày mẫu Hình 4.7 Hình điều SEM từ vật liệu Si@TiO2/C với kích thước nano mét Thời gian xử lý Intensity Chế độMode xem Độ dẫn điện mẫu khiểnB Detector Chất lượng hình ảnh xem Độ dày mẫu Pck ụi Thời gian xử lý Intensity Độ dẫn điện mẫu Mode Detector Chất lượng hình ảnh Chế độ mẫu xem Độ dày Bụi Thời gian xử lý P Intensity ck xem Mode 15 Detector Chất lượng hình ảnh Độ dày mẫu Bụi Thời gian xử lý Intensity Chế độMode xem Pck Detector Chất lượng hình ảnh xem Độ dày mẫu Bụi Thời gian xử lý Intensity Mode Pck Chế Detector độ xem Bụi Thời gian xử lý xemIntensity Detector Pck Bụi Chế độ xem DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU xemDetector Intensity Chế Detector độ xem Intensity xem Detector Chế độ xem xem Bụi Thời gian xử lý DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU Pck Bụi Pck Bụi Pck Bụi CHƯƠNG 5: ĐÁNH GIÁ Chế độ xem 5.1 Ưu điểm Nhược điểm: Bụi xem Chế độ xem xem Chế độ xem xem Chế độ xem xem Ưu Chế độ xem xem điểm Tạo ảnh Hình 3.0.13 TEM Lưu đồ điều thật với khả khiểnB Pck Pck Pck giải tới cấp độ nguyên tử, ụi mỏng TEM, tức ta không với chất lượng cao đặc biệt P ck Bụi TEM cho hình ảnh cấu trúc cần phá hủy mẫu vi mô bên Bụi mẫu vật rắn,Pck phân giải cao mà xử lý khác hẳn với kiểu kính hiển Bụi Pck vi khác mẫu vất vả, phải phá Hình Tốc độ ghi ảnh TEM cao, 3.0.14 Chế độ xem xem video Chế độ xem xem Chế độ xem xem Chế độ xem xem Chế độ xem xem Chế độ xem xem SEM phân SEM khơng địi hỏi mẫu phải Chế độ xem xem Nhược Chế độ xem xem điểm Thời gian xử lý chất rắn ụi mẫu Pck Hoạt động dễ dàng, khơng địi hỏi Pck Giá thành SEM thấp Lưu động, đồ cho phép chụp ảnh quay điều trình động khiển B SEM cho ảnh với độ Pck TEM thiếtBụi bị đắt tiền nhiều thiết bị đắt tiền TEM TEM nhiều SEM chụp ảnh Một TEM bình thường có giá từ Pck Bụi 1-2 triệu USD mẫu dẫn điện Bụi thí nghiệm TEM cần nột phịng P trúc bề mặt, khơng phải cấu tiêu chuẩn khắt khe độ ẩm, Hình trúc thật vật liệu ck SEM cho banj hình ảnh vi cấu 3.0.15 Pckcao Độ phân giải SEM thấp độ khơng khí, ổn định Lưu đồ điều áp, cách ly nhiệt độ điện khiểnB hoàn toàn tiếng ồn, ụi rung động nhỏ Yêu cầu mẫu Bụi khắt khe nên nhiều so với TEM cần địi hỏi phịng Bụi thí nghiệm Bụi 16 Chế độ xem xem DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU Chế độ xem xem Chế độ xem xem DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU Chế độ xem xem Chế độ xem xem Chế độ xem xem riêng để xử lý mẫu cực tinh vi, cần phải đạt độ mỏng định Các hệ thống TEM nằm Chế độ xem xem buồng chân khơng siêu cao, địi Chế độ xem xem xác, tn thử cách nghiêm hỏi phải có thao tác ngặt quy trình phức tạp 17 DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU DE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEUDE.tai.dieu.KHIEN.va.xu.ly.ANH.BANG.PHUONG.PHAP.SEM TEM.ve.cau.TRUC.vat.LIEU