(LUẬN văn THẠC sĩ) tạo dựng cấu trúc nanô có kiểm soát thông qua chất xúc tác với cấu trúc còn giữ lại sử dụng quá trình khắc bằng ống các bon nanô luận văn ths vật liệu và linh kiện nanô

ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƢỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ ĐẠI HỌC QUỐC GIA TP HỒ CHÍ MINH PTN CƠNG NGHỆ NANO TIÊU TƢ DOANH TẠO DỰNG CẤU TRƯC NANO CĨ KIỂM SỐT THƠNG QUA CHẤT XƯC TÁC VỚI CẤU TRƯC CÕN GIỮ LẠI SỬ DỤNG Q TRÌNH KHẮC BẰNG ỐNG CÁC BON NANO LUẬN VĂN THẠC SĨ Thành phố Hồ Chí Minh - 2014 TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƢỜNG ĐẠI HỌC CƠNG NGHỆ ĐẠI HỌC QUỐC GIA TP HỒ CHÍ MINH PTN CÔNG NGHỆ NANO TIÊU TƢ DOANH TẠO DỰNG CẤU TRƯC NANO CĨ KIỂM SỐT THƠNG QUA CHẤT XƯC TÁC VỚI CẤU TRÖC CÕN GIỮ LẠI SỬ DỤNG QUÁ TRÌNH KHẮC BẰNG ỐNG CÁC BON NANO Chuyên ngành: Vật liệu Linh kiện Nanơ (Chun ngành đào tạo thí điểm) LUẬN VĂN THẠC SĨ NGƢỜI HƢỚNG DẪN KHOA HỌC: TS NGUYỄN VĂN CÁTTIÊN Thành phố Hồ Chí Minh - 2014 TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com ii LỜI CAM ĐOAN Tôi xin cam đoan kết nghiên cứu, hình ảnh số liệu sử dụng luận văn Thạc Sĩ tơi nhóm nghiên cứu thực phân tích, khơng chép từ tài liệu khác TIÊU TƢ DOANH TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com iii LỜI CÁM ƠN Đầu tiên, tơi xin bày tỏ lịng biết ơn chân thành sâu sắc đến Tiến Sĩ Nguyễn Văn Cáttiên, công tác Trung Tâm Nghiên Cứu Ames, NASA tận tình hướng dẫn, truyền cảm hứng nghiên cứu tạo điều kiện cho thực luận văn Tôi xin chân thành cám ơn đến gia đình Tiến Sĩ Nguyễn Văn Cáttiên giúp đỡ tơi thời gian thực nghiên cứu Mỹ Tôi xin gửi lời cám ơn đến ban Giám Đốc Trung Tâm Nghiên Cứu Triển Khai Khu Công Nghệ Cao Thành Phố Hồ Chí Minh tạo điều kiện thuận lợi, giúp đỡ torng suốt thời gian học tập hồn thành luận văn Tơi xin chân thành cám ơn đến Sở Khoa Học Công Nghệ Thành Phố Hồ Chí Minh cấp kinh phí cho thực đề tài cho phép nghiên cứu Mỹ Bên cạnh đó, tơi xin chân thành cám ơn đến Giáo Sƣ Mahmud Raman, khoa Kỹ thuật điện – điện tử, Trường đại học Santa Clara, USA đóng góp ý kiến thảo luận giúp tơi thực tốt thí nghiệm Đồng thời gửi lời cám ơn đến anh phòng nghiên cứu Trung tâm nghiên cứu cấu trúc nano thuộc trường Trường đại học Santa Clara, USA nhiệt tình giúp đỡ tơi làm việc Trung tâm Tơi xin chân thành cám ơn Thầy Cơ phịng thí nghiệm Cơng nghệ nano, trường Đại học Cơng Nghệ Hà Nội, Viện Vật Lý Thành Phố Hồ Chí Minh trường khác tận tình truyền đạt kiến thức cho tơi khóa học Cám ơn đến đồng nghiệp Lê Trọng Hiếu, Nguyễn Ngọc Thy Lương Thị Anh Đào tham gia thực dự án chế tạo sản xuất đầu dò CNT AFM Đồng thời gửi lời cám ơn đến lãnh đạo phịng Thí Nghiệm Cơng Nghệ Nano, thuộc Trung Tâm Nghiên Cứu Triển Khai Khu Công Nghệ Cao Cuối xin trân trọng gửi đến bố mẹ hai gia đình nội ngoại lịng biết ơn ln ln bên cạnh động viên Cám ơn đến người bạn đời Chung Thị Mỹ Linh trai Tiêu Minh Quân luôn bên cạnh chia sẻ hoàn cảnh TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com iv MỤC LỤC LUẬN VĂN THẠC SỸ i LỜI CAM ĐOAN ii LỜI CÁM ƠN iii MỤC LỤC iv DANH MỤC CÁC KÝ HIỆU VÀ CHỮ VIẾT TẮT viii DANH MỤC CÁC BẢNG BIỂU ix DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ, ĐỒ THỊ x LỜI MỞ ĐẦU xiv CHƢƠNG 1: THAN ỐNG NANO (CARBON NANOTUBES) 1.1 Lịch sử than ống nano 1.2 nano 1.3 nano 1.4 nano .7 .7 1.4.2 Thiết bị (Field Emission Devices) 1.4.3 nano .9 1.4.4 1.4.5 Đầu dò AFM 10 nano 10 1.5.1 Chế tạo CNTs phương pháp phóng điện hồ quang ( Arc Discharge): 11 1.5.2 Chế tạo CNTs phương pháp dùng nguồn laze 12 1.5.3 Chế tạo CNTs phương pháp ngưng tụ hóa học CVD 13 CHƢƠNG 2: KÍNH HIỂN VI LỰC NGUYÊN TỬ VÀ PHƢƠNG PHÁP CHẾ TẠO ĐẦU DÒ CNT AFM PROBES .18 2.1 Lịch sử kính hiển vi lực nguyên tử [10] 19 2.2 Nguyên lý hoạt động 19 TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com v 2.3 Phương pháp chế tạo đầu dò CNT AFM trung tâm nghiên cứu triển khai Khu Công Nghệ Cao Tp.HCM 24 CHƢƠNG 3: KỸ THUẬT KHẮC ĐẦU DÒ QUÉT SPL_SCANNING PROBE LITHOGRAPHY 3.1 Chế tạo nano dựa lực 30 3.1.1 Thao tác đầu dò AFM (Nano-manipulation) 30 3.1.2 Kỹ thuật khắc nhúng Dip-pen nanolithography (DPN) 31 3.1.3 Kỹ thuật ghi nhiệt kỹ thuật milipede .33 3.2 Kỹ thuật khắc hỗ trợ áp điện (Bias-assisted AFM nanolithography) 36 3.2.1 Sự oxi hóa vật liệu bán dẫn (Oxidation of semiconductors) 37 3.2.2 Q trình oxi hóa bề mặt kim loại (Oxidation of metals) 43 3.2.3 Q trình oxi hóa bề mặt chức năng/ thụ động (Oxidation of molecularly functionalized/passivated surfaces) 44 CHƢƠNG 4: QUY TRÌNH THỰC NGHIỆM .46 4.1 Hóa chất thiết bị 47 4.1.1 Hóa chất 47 4.1.2 Thiết bị chế tạo 47 4.2 Các phương pháp phân tích 48 4.2.1 Kính hiển vi điện tử quét phát xạ truờng (FE SEM) 48 4.2.2 Kính hiển vi điện tử truyền qua TEM 49 4.2.3 Thiết bị quang phổ Micro Raman (Raman Spectroscope) .50 4.2.4 Kính hiển vi lực nguyên tử AFM .53 4.3 Chế tạo dây Cartridges chứa than ống nano bon đầu dò CNT-AFM 55 4.3.1 Chế tạo dây Cartridges chứa than ống nano bon .55 4.3.2 Chế tạo đầu dò CNT-AFM .55 4.4: Qúa trình chuẩn bị đế foil phủ màng chất cảm quang PMMA 56 4.4.1 Tổng quát foil thép không dỉ 56 4.4.2 Q trình oxi hóa khử bề mặt đế kim loại 56 4.4.3 Phủ màng PMMA đế kim loại xử lý bề mặt .57 TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com vi 4.4.4 Viết sử dụng chương trình Lithography 58 4.5 Thực trình khắc (SPL- Scanning Probe Lithgraphy) 59 4.5.1 Trên HOPG (Highly Ordered Pyrolytic Graphite ) vật liệu 59 dẫn điện 59 4.5.3 Trên đế kim loại bị oxi hóa 61 4.5.4 Trên lớp PMMA phủ đế kim loại bị oxi hóa 62 4.6 Quá trình chế tạo than ống bon hình thành tương ứng với vị trí khắc .69 CHƢƠNG 5: KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN 71 5.1 Chế tạo dây Catridges đầu dò CNT AFM 72 5.2 Kết hình ảnh bề mặt mẫu 73 5.2.1 Bề mặt mẫu sau tiến hành q trình oxi hóa khử 73 5.2.2 Bề mặt mẫu sau tiến hành trình phủ chất cảm quang PMMA 74 5.3 Kết trình khắc SPL 78 5.4 Sự hình thành than ống nano phương pháp lắng đọng màng hóa học có hỗ trợ nước .81 KẾT LUẬN VÀ KIẾN NGHỊ 86 KẾT LUẬN .87 KIẾN NGHỊ 89 TÀI LIỆU THAM KHẢO 89 TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano vii DANH MỤC CÁC KÝ HIỆU VÀ CHỮ VIẾT TẮT AD AFM CARs CNT-AFM Probe CNTs CVD DWNTs FE SEM FED HOPG MIBK:IPA NSOM PMMA RPM SPL STM SWNTs t-CVD TEM TUNA Mode WA-CVD Arc Discharge: Phóng điện hồ quang Atomic Force Mircroscope: Kính hiển vi lực nguyên tử Catalyst Retaining Structures: Cấu trúc giữ lại Đầu dị than ống kính hiển vi lực ngun tử Carbon Nanotubes: Than ống nano Chemical Vapor Depositon : Lắng đọng màng hóa học Double-Wall Nanotubes: Than ống vách đơi Field Emission Scanning Electron Microscope: Kính hiển vi quét Field Emission Device: Thiết bị phát xạ truờng Highly Ordered Pyrolytic Graphite Methyl isobutyl Ketone:Isopropyl Alcohol Near-Field Scanning Optical Microscope: kính hiển vi quang học quét trường gần Poly Methyl Methacrylate Rotation Per Minute: Tốc độ quay số vòng phút Scanning Probe Lithography: Kỹ thuật khắc đầu dò quét Scanning Tunneling Microscope: kính hiển vi điện tử xuyên hầm Single-Wall Nanotubes: Than ống đơn vách Thermal Chemical Vapor Depositon: Lắng đọng màng hóa học nhiệt Transmission Electron Microscope: Kính hiển vi điện tử truyền qua Tunneling AFM Mode: Chế độ xuyên hầm kính hiển vi lực nguyên tử Water Assited Chemical Vapor Depositon: Lắng đọng màng hóa học hỗ trợ nuớc (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano viii DANH MỤC CÁC BẢNG BIỂU Bảng 1.1: Phân loại đặc tính dẫn điện loại than ống nano Bảng 1.2: Một số tính chất hai loại ống than nano Bảng 3.1: Các loại mực sử dụng kỹ thuật DPN ứng dụng (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano ix DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ, ĐỒ THỊ Hình 1.1: Hình ảnh than ống nano đơn SWNT vách đa vách MWNTs nano theo vector chiral Hình 1.4: Mơ hình hình hiển thị sử dụng than ống nano làm nguồn phát điện tử Hình 1.5: Đầu dị CNT-AFM Hình 1.6 : Các phương pháp chế tạo CNTs Hình 1.7: Hệ chế tạo CNTs phương pháp phóng điện hồ quang Hình 1.8: Hệ chế tạo CNTs nguồn laze Hình1.9: Hệ chế tạo CNTs bắng phương pháp CVD Hình 1.11: a) Hình ảnh đám CNTs cao 2.5 mm hình thành đế Si wafer 7x7 mm2 trình WA – CVD; b) Hình ảnh SEM đám CNTs; c) d) Ảnh TEM CNTs Hình 2.1: Nguyên lý hoạt động AFM Hình 2.2: Đồ thị thể lực tương tác đầu dị bề mặt mẫu Hình 2.3: Dây Cartridge Hình 2.4: CNTs mọc dây cartridge Hình 2.5: Máy chế tạo đầu dị CNT-AFM Hình 2.6 : Đầu dị Si AFM Hình 2.7 : Đầu dị CNT AFM Hình 2.8: Hình AFM lớp Au đế thủy tinh sử dụng đầu dị CNT AFM Hình 2.9: Hình ảnh AFM rãnh (trenches) mà sử dụng a) đầu dò Si truyền thống b) đầu dò CNT AFM (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano 80 a) b) Hình 5.17: Hình ảnh bề mặt mẫu với áp 5V a) Trong q trình khắc với kích thƣớc 10 µm b) Sau rửa ảnh với kích thƣớc 30 µm (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano 81 5.4 Sự hình thành than ống nano phƣơng pháp lắng đọng màng hóa học có hỗ trợ nƣớc Sau chúng tơi tiến hành q trình mọc than ống nano cho mẫu sau thực gia đoạn khắc phương pháp lắng đọng hóa học CVD Như kết FE SEM hình 5.21 thấy vị trí mà khơng thực trình khắc PMMA bị đốt cháy bao phủ (block) bề mặt foil, dẫn đến khu vực than ống nano khơng thể hình thành q trình lắng đọng hóa học (CVD) Hình 5.18: Ảnh than ống hình thành đế kim loại (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano 82 Hình 5.19: Ảnh TEM than ống chế tạo Qua hình ảnh TEM thầy than ống nano chế tạo đồng đều, kích cỡ ống khoảng 20 nm khơng cịn bon vơ định hình bám Điều chứng tỏ nước lọai bỏ chúng không phá hủy than ống nano (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano 83 Hình 5.20: Phổ Raman than ống chế tạo phƣơng pháp t-CVD Phổ Raman chụp thiết LabRam Horiba, với nguồn kích thích He-Ne bước sóng 633 nm Ta thấy cường độ D-mode thấp so với cường độ G-mode chứng tỏ độ tin khiết, độ đồng tương đối cao độ sai hỏng tương đối Cũng qua phổ không thấp peak vùng RBM, chứng tỏ khơng có than ống đơn vách mà hầu hết than ống đa vách Trong đó, vị trí mà khắc than ống nano bon hình thành Tuy nhiên hình thành than ống nano bon chưa thẳng đứng mà nằng ngang bề mặt thời gian phản ứng dài dẫn đến trường hợp Chúng tiến hành thay đổi thơng số để chế tạo than ống nano cácbon mọc thẳng đứng (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano 84 Đồng thời rạch bề mặt mẫu vài vị trí bề mặt tạo rãnh (trench), tức dỡ bỏ lớp PMMA lộ bề mặt lớp foil oxi hóa – xúc tác để hình thành than ống nano bon Hình 5.23 cho thấy than ống nano bon mọc thành đám thẳng đứng vị trí mà ta rạch Hình 5.21: Hình ảnh PMMA bị đốt cháy bao phủ (block) bề mặt khu vực không đƣợc khắc (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano 85 Hình 5.22: Than ống nano cácbon mọc vị trí khắc q trình lắng đọng màng hóa học Hình 5.23: Hình ành than ống nano bon mọc thành đám thẳng đứng rãnh (trench) (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano 86 KẾT LUẬN VÀ KIẾN NGHỊ (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano 87 KẾT LUẬN Qua trình thực nghiên cứu đề tài trên, rút số kết luận sau:  Đối với công việc chế tạo đầu dị CNT AFM:  Chúng tơi chế tạo thành công than ống nano sợi dây Catridge sử dụng phương pháp lắng đọng hóa học nhiệt với độ dài 10 µm duới 20 µm, sợi thẳng đứng riêng rẽ (individual) phục vụ tốt cho trình gắn sợi than ống nano lên đỉnh đầu Cantilever Si AFM  Chúng chế tạo thành cơng đầu dị CNT AFM với sợi than ống, độ dài sợi 1.5 µm, góc lệch sợi than ống nằm khỏang – 5o đến + 5o thích hợp dùng cho thiết bị AFM cho trình SPL thực đề tài  Đối với trình SPL:  Chúng tơi khảo sát đăc tuyến IV tìm hiểu tính chất điện đầu dị CNT AFM với đế khác đế HOPG, đế kim loại có lớp oxit tự nhiên, đế kim loại bị oxi hóa đế kim lọai bị oxi hóa có lớp phủ PMMA điều kiện khơng khí  Từ đặc tuyến IV xác định mở ( Turn on) 3V, 4V 5V điều kiện khơng khí đầu dị CNT AFM, có khả làm biến đổi tính chất lớp PMMA vị trí áp điện Những vị trí bị lấy (develope), tạo CARs cho trình mọc than ống CARs  Chúng tơi chế tạo CARs thơng qua q trình SPL  Từ đặc tuyến IV xác định mở ( Turn on) 3V, 4V 5V điều kiện khơng khí đầu dị CNT AFM q trình SPL mà CNT đầu dị AFM khơng bị cháy (Burn out)  Tốc độ quét thời gian giữ xung (pulse) đầu dị CNT AFM q trình SPL khơng ảnh huởng nhiều đến trình tạo CARs (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano 88  Đối với trình hình thành than ống từ CARs:  Chúng tơi sử dụng q trình lắng đọng hóa học nhiệt (WA CVD) có hỗ trợ nước để chế tạo than ống vị trí CARs Chúng tơi nhận thấy than ống hình thành vị trí thực q trình CARs  Trong q trình WA CVD chúng tơi nhận thấy số vị trí có sợi CNT mọc tương ứng với CARs Tuy nhiên sợi CNT chưa thể mọc thẳng đứng mà hình thành nằm ngang Lý thời gian chế tạo than ống nano dài nên xảy tình trạng  Than ống nano chế tạo đồng với kích cỡ dao động khoảng 20 nm thân ống khơng có bon vơ định hình Chứng tỏ với hỗ trợ nước lọai bỏ chúng mà không làm hư hại hay phá hủy than ống (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano 89 KIẾN NGHỊ  Hướng tới tiếp tục nghiên cứu điều kiện ảnh huởng đến hình dạng CARs cách thực torng điều kiện chân khơng cho q trình SPL  Tiếp tục nghiên cứu thông số thời gian chế tạo nồng độ nước trình t-CVD để chế tạo than ống riêng rẽ vị trí CARs thẳng đứng (verticall-aligned)  Chúng chế tạo than ống quy mô lớn với kích cỡ đế inch inch  Chúng thử sử dụng than ống làm cathode để thử nghiệm khả phát điện tử chúng (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano 90 TÀI LIỆU THAM KHẢO [1] http://en.wikipedia.org/wiki/Carbon_nanotube [2] Carbon Nanotubes: Science and Applications, M Meyyappan, Editor, CRC Press, Boca Raton, FL (2004) [3] L Carrette, K A Friedrich and U Stimming (2001), ―Fuel Cells – Fundamentals and Applications‖, Fuel Cells, No1, 5-39 [4] Kirsten Prehn, Rainer Adelung, Martin Heinen, Suzana P Nunes, Karl Schulte (2008), ―Catalytically active CNT–polymer-membrane assemblies: From synthesis to application‖, Journal of Membrane Science [5] Placidus Amama, Cary Pint, Seung Min Kim, Eric Stach, Robert Hague, Benji Maruyama (2010), ―termination of carbon nanotube growth: effect of substrate structure‖, ACS book [6] Csilla Miko (2005), ‖Synthesis, characterization and macroscopic manipulation of carbon nanotubes”, Ph.D thesis, EPFL [7] M.Meyyappan (2005), ―Characterization Technique in Carbon Nanotube Reseach‖, Carbon Nanotubes – Science and Applications, CRC Press LLC [8] Jean-Marc Bonard , László Forró , Daniel Ugarte , Walt A de Heer , and André Châtelain, ―Physics and chemistry of carbon nanostructures‖, European Chemistry Chronicle [9] Anusorn Kongkanand, K Vinodgopal, Susumu Kuwabata, and Prashant V Kamat (2006), ―Highly Dispersed Pt Catalysts on Single-Walled Carbon Nanotubes and Their Role in Methanol Oxidation‖, Joural of Physical Chemistry B 110 [10] http://www.nanoscience.com/education/tech-overview.html [11] http://iopscience.iop.org/0957-4484/12/3/312 [12] S W Park, H T Soh and C F Quate, S.-I Park (1995), “ Nanometer scale lithography at high scanning speeds with the atomic force microscope using spin on glass”, American Institute of Physics [13] Ksef.kstc.com/ /2010_KIEC_session2_NanoSystems_Me (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano 91 [14] Jeno Kürti, Viktor Zólyomi, Miklos Kertesz and Guangyu Sun, ―The geometry and the radial breathing mode of carbon nanotubes: beyond the ideal behaviour‖, New Joural of Physics [15] M.S Dresselhaus, G.Dresselhaus, R.Saito, A Jorio (2004), ― Raman Spectroscopy of Carbon Nanotubes‖, Physics Report [16] Hyun-Chul Lee, P S Alegaonkar, Do-Yoon Kim, Jong-Hak Lee, S P Patole, and Ji-Beom Yoo, ―Water–Assisted Synthesis of Long, Densely Packed and Patterned Carbon Nanotubes‖, Electronic Materials Letters, Vol 3, No (2007), pp 47-52 [17] Kenji Hata, Don N Futaba, Kohei Mizuno, Tatsunori Namai,Motoo Yumura, Sumio Iijima, ― Water-Assisted Highly Efficient Synthesis of Impurity-Free‖, Physics Report [18] Randall L Vander Wal , Lee J Hall (2003) ―Carbon nanotube synthesis upon stainless steel meshes‖, Carbon 41, 659–672 [19] Gilbert D Nessim , Ahmed Al-Obeidi, Haviv Grisaru , Erik S PolsenC Ryan Oliver, Tomer Zimrin, A John Hart, Doron Aurbach, Carl V Thompson (2012), ― Synthesis of tall carpets of vertically aligned carbon nanotubes by in situ generation of water vapor through preheating of added oxygen‖, Carbon 50, 4002-4009 [20] Qian Tang, San-Qiang Shi and Limin Zhou, ― Review: ― Nanofabrication with Atomic Force Microscopy‖, Joural of Nanoscience and Nanotechnology [21] S.P Patolea, P.S Alegaonkar, Hyun-Chul Leeb, Ji-Beom Yooa, (2008) ―Optimization of water assisted chemical vapor deposition parameters for super growth of carbon nanotubes‖, Carbon 46, 1987-1993 [22] X.N Xie , H.J Chung, C.H Sow, A.T.S Wee (2006), ― Nanoscale materials patterning and engineering by atomic force microscopy nanolithography ‖, Materials Science and Engineering R 54 1–48 [23] Zhao-Yao Zhana, Ya-Ni Zhanga, Geng-Zhi Suna, Lian-Xi Zhenga, Kin Liaob (2011), ― The effects of catalyst treatment on fast growth of millimeter-long multiwalled carbon nanotube arrays‖, Applied Surface Science 257, 7704–7708 (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano 92 [24] Satoshi Sugimoto, Yasushi Matsuda and Hideo Mori (2009), ― Carbon nanotube formation directly on the surface of stainless steel materials by plasmaassisted chemical vapor deposition ‖, J Plasma Fusion Res SERIES, Vol [25] Yunyu Wang, Zhiquan Luo, Bin Li, and Paul S Ho, Zhen Yao, Li Shi, Eugene N Bryan, Robert J Nemanich (2007), ― Comparison study of catalyst nanoparticle formation and carbon nanotube growth: Support effect‖, Joural of Applied Physics 101, 124310 [26] Yang, Y Wu, and R Fan, Int J Nanosci., Vol 1, pp 1-39 (2002) [27] J Goldberger, A.I Hochbaum, R Fan and P Yang, Nano Lett., Vol 6, pp 973-977 (2006) [28] G.S Duesberg, A.P Graham, M Liebau, R Seidel, E Unger, F Kreupl and W Hoenlein, Nano Lett., Vol 3, pp 257-259 (2003) [29] C.V Nguyen, K.-J Chao, R.M.D Stevens, L Delzeit, A Cassell, J Han, and M Meyyappan, Nanotechnology, Vol 12, pp 363-368 (2001) [30] Q M Hudspeth, K P Nagle, Y.-P Zhao, T Karabacak, C V Nguyen, M Meyyappan, G.-C Wang and T M Lu Surface Science, Vol.515, pp 453–461 (2002) [31] A Austin; Q Ngo; C.V Nguyen, J Appl Phys., Vol 99, pp 114304-9 (2006) [32] C.V Nguyen, C So, R.M Stevens, Y Li, L Delziet, P Sarrazin, and M Meyyappan, J Phys Chem B, Vol 108, pp 2816-2821 (2004) [33] M.A Poggi, A.W McFarland, J.S Colton, J.S Boyles, C.V Nguyen, R.M Stevens, P.T Lillehei, and L.A Bottomley, Nano Lett Vol 4, pp 1009-1016 (2004) [34] D Dietzel, S Marsaudon, J P Aime, C V Nguyen, and G Couturier, Physical Review B 72, 035445-16 (2005) [35] N.G Orji, T.V Vorburger, J Fu, R.G Dixson, C.V Nguyen and J Raja, Measurement Science and Technology, Vol 16, pp 2147–2155 (2005) [36] S I Lee, S W Howell, A Raman, R Reifenberger, C V Nguyen and M Meyyappan, Ultramicroscopy, Vol 103, pp 95–102 (2005) (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano 93 [37]R Stevens, C.V Nguyen, A Cassell, L Delzeit, M Meyyappan, and J Han, Appl Phys Lett Vol 77, pp 3453-3454 (2000) [38]S.W Park, H.T Soh, C.F Quate, S.-I Park, Appl Phys Lett Vol 67, pp 24152417 (1995) [39] Y.A Zhang, J Chang, Q Cao, W Wang, Y Kim, N Li, E Morris, J Yenilmez, J Kong, and H Dai, Appl Phys Lett., Vol 79, pp 3155-3157 (2001) [40] C.J Raymond, M.R Murnane, S.S.H Naqvi, and J.R McNeil, Journal Of Vacuum Science & Technology B, Vol 13, pp 1484-1495 (1995) [41] B.K Minhas, S.A Coulombe, S.S.H Naqvi, and J.R McNeil, Applied Optics, Vol 37, pp 5112-5115 (1998) (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano (LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano(LUAN.van.THAC.si).tao.dung.cau.truc.nano.co.kiem.soat.thong.qua.chat.xuc.tac.voi.cau.truc.con.giu.lai.su.dung.qua.trinh.khac.bang.ong.cac.bon.nano.luan.van.ths.vat.lieu.va.linh.kien.nano