ĐẠI HỌC THÁI NGUYÊN TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC BÁO CÁO TỔNG KẾT ĐỀ TÀI KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ CẤP ĐẠI HỌC NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO BỘT HUỲNH QUANG PHÁT XẠ ÁNH SÁNG ĐỎ (RED) ỨNG DỤNG TRONG CHẾ TẠO ĐÈN HUỲNH QUAN[.]
ĐẠI HỌC THÁI NGUYÊN TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC BÁO CÁO TỔNG KẾT ĐỀ TÀI KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ CẤP ĐẠI HỌC NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO BỘT HUỲNH QUANG PHÁT XẠ ÁNH SÁNG ĐỎ (RED) ỨNG DỤNG TRONG CHẾ TẠO ĐÈN HUỲNH QUANG Mã số: ĐH2011-07-08 Chủ nhiệm đề tài: Th.S Lê Tiến Hà THÁI NGUYÊN, NĂM 2013 ĐẠI HỌC THÁI NGUYÊN TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC BÁO CÁO TỔNG KẾT ĐỀ TÀI KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ CẤP ĐẠI HỌC NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO BỘT HUỲNH QUANG PHÁT XẠ ÁNH SÁNG ĐỎ (RED) ỨNG DỤNG TRONG CHẾ TẠO ĐÈN HUỲNH QUANG Mã số: ĐH2011-07-08 Chủ nhiệm đề tài: Th S Lê Tiến Hà Người tham gia thực hiện: PGS TS Phạm Thành Huy PGS TS Vũ Thị Kim Liên TS Chu Việt Hà Xác nhận quan chủ trì đề tài (ký, họ tên, đóng dấu) THÁI NGUYÊN, NĂM 2013 MỞ ĐẦU Tính cấp thiết đề tài Hiện nay, vấn đề lượng, tiết kiệm lượng lượng bảo vệ môi trường quan tâm, đầu tư, nghiên cứu toàn giới Đối với lượng chiếu sáng, theo báo cáo IEA (Policies for Energy efficient lighting [22]) tính riêng đèn chiếu sáng dây tóc tiêu thụ khoảng 7% tổng lượng điện tiêu thụ (bằng ½ tổng cơng suất tất nhà máy điện hạt nhân) Trong năm 2005, tổng lượng điện tiêu thụ loại đèn dây tóc ~ 970 TWh, việc chế tạo sử dụng bóng đèn thải mơi trường khối lượng lớn ~ 560 Mt (CO2), thủy ngân Vì việc thay thiết bị chiếu sáng nói chung đèn chiếu sáng dây tóc nói riêng bóng đèn huỳnh quang huỳnh quang compac nhu cầu cấp thiết nhiều quốc gia tồn giới, có Việt Nam Ở nước ta nay, nguyên liệu bột huỳnh quang dùng bóng đèn huỳnh quang bóng đèn huỳnh quang ba phổ đa số nhập từ nước Việc chế tạo bột huỳnh quang ứng dụng để phủ đèn huỳnh quang nhu cầu cấp thiết sống nhà máy sản xuất thiết bị chiếu sáng, chủ động nguyên vật liệu chủ động công nghệ chế tạo hạ giá thàng sản phẩm Trong thiết bị chiếu sáng phát ánh sáng trắng dùng vật liệu ba phổ bột huỳnh quang phát xạ màu đỏ chiếm gần 80% Vì việc nghiên cứu chế tạo bột huỳnh quang phát xạ màu đỏ cần thiết Đề tài “Nghiên cứu chế tạo bột huỳnh quang phát xạ ánh sáng đỏ (Red) ứng dụng chế tạo đèn huỳnh quang” thực nhằm ứng dụng trực tiếp kết vào việc chế tạo đèn huỳnh quang ánh sáng đỏ dùng nông nghiệp đèn huỳnh quang compact hiệu suất cao Mục tiêu nghiên cứu Chế tạo bột huỳnh quang phát xạ ánh sáng đỏ (Red), nghiên cứu chế ảnh hưởng đến cấu trúc tính chất quang bột huỳnh quang, phủ thử bột lên bóng đèn huỳnh quang Đối tượng phạm vi nghiên cứu Các bột huỳnh quang có pha tạp Eu với vật liệu khác nhau, ứng dụng chế tạo đèn huỳnh quang ba phổ Nội dung nghiên cứu Tổng hợp bột huỳnh quang phát xạ màu đỏ, ứng dụng chế tạo đèn huỳnh quang ba phổ Khảo sát yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc tính chất quang vật liệu tổng hợp Phương pháp nghiên cứu - Thực nghiệm tổng hợp bột huỳnh quang - Thực nghiệm chụp ảnh SEM, đo phổ nhiễu xạ tia X, phổ kích thích huỳnh quang, phổ quang huỳnh quang - Tập hợp xử lý số liệu Chương TỔNG QUAN Hiện nay, công nghệ chiếu sáng tiết kiệm điện thân thiện với môi trường quan tâm nghiên cứu Thực tế cho thấy, xu hướng sử dụng nguồn sáng nhân tạo loại đèn huỳnh quang làm nguồn sáng chủ yếu ngày nhiều, khiến nhà cung cấp nguồn sáng ngày quan tâm nhiều đến công nghệ, nguyên vật liệu để tạo chất lượng ánh sáng tốt Các loại bột huỳnh quang có dải sóng hẹp, có quang thơng lớn số truyền màu cao hứa hẹn ứng dụng nhiều việc chế tạo loại bóng đèn huỳnh quang tiết kiệm lượng chết tạo loại điốt phát quang Việt Nam Như biết, loại bóng đèn huỳnh quang sản xuất Việt Nam hầu hết sử dụng bột ba màu ngoại nhập nên không chủ động sản xuất, mà giá thành sản phẩm lại cao Vì vậy, việc nghiên cứu công nghệ chế tạo bột huỳnh quang ba màu có hiệu suất cao thay cho bột huỳnh quang ngoại nhập để giảm giá thành sản xuất nhu cầu cấp thiết, có ý nghĩa thực tiễn cao cần thiết 1.1 Tổng quan bột huỳnh quang Vật liệu huỳnh quang nghiên cứu chế tạo đề tài vật liệu có khả phát ánh sáng vùng quang phổ mà mắt người cảm nhận bị kích thích Hiện tượng chất nhận lượng kích thích từ bên phát ánh sáng gọi phát quang Tùy theo loại lượng kích thích khác người ta phân thành loại huỳnh quang khác nhau: lượng kích thích ánh sáng gọi quang phát quang; lượng kích thích điện trường gọi điện quang phát quang vv… Quá trình phát quang xảy sau kích thích (ιF ≈ ns) gọi huỳnh quang Cịn q trình phát quang xảy chậm (ιF ≈ μs) gọi lân quang Khi hấp thụ lượng kích thích, nguyên tử, phân tử chuyển từ mức lượng ban đầu lên trạng thái lượng khác cao Nếu phân tử, nguyên tử hấp thụ ánh sáng nằm vùng nhìn thấy vùng tử ngoại lượng hấp thụ ứng với mức điện tử, có chuyển dời điện tử phân tử từ quỹ đạo sang quỹ đạo khác Từ trạng thái kích thích, điện tử nguyên tử, phân tử trở trạng thái đường khác nhau: hồi phục không xạ hồi phục xạ 1.1.1 Cơ chế phát quang bột huỳnh quang Cơ chế phát quang vật liệu phụ thuộc vào cấu hình điện tử ngun tố đất pha tạp, có vai trị tâm phát xạ Đối với vật liệu huỳnh quang pha tạp gồm hai phần chính: + Chất (mạng chủ) chất có vùng cấm rộng cấu tạo từ ion có cấu hình điện tử lấp đầy nên thường khơng hấp thụ ánh sáng nhìn thấy + Chất pha tạp (tâm kích hoạt) ngun tử hay ion có cấu hình điện tử với số lớp lấp đầy phần (ví dụ ion kim loại chuyển tiếp có lớp d chưa bị lấp đầy, ion đất có lớp f chưa bị lấp đầy) có mức lượng cách khe không lớn tương ứng với lượng ánh sáng nhìn thấy, ta nói chúng nhạy quang học Khi kích thích vật liệu xạ điện từ, photon bị vật liệu hấp thụ Sự hấp thụ xảy tâm kích hoạt chất Trường hợp thứ nhất: Tâm kích hoạt hấp thụ photon, chuyển từ trạng thái lên trạng thái kích thích, trình quay trở xạ ánh sáng Trường hợp thứ hai: Chất hấp thụ photon, điện tử vùng hóa trị nhảy lên vùng dẫn làm sinh lỗ trống vùng hóa trị Sự tái hợp điện tử vùng dẫn lỗ trống vùng hóa trị thường khơng xảy mà điện tử lỗ trống bị bẫy bẫy, tái hợp điện tử lỗ trống lúc không xạ ánh sáng Một khả xẩy chất hấp thụ photon điện tử khơng nhảy hẳn từ vùng hóa trị lên vùng dẫn mà nhảy lên mức lượng gần đáy vùng dẫn, lúc điện tử lỗ trống khơng hồn tồn độc lập với mà chúng có mối liên kết thơng qua tương tác tĩnh điện Coulomb Trạng thái gọi exciton, có lượng liên kết nhỏ chút so với lượng vùng cấm Eg Bán kính Bohr exciton (aB) tính theo cơng thức sau: aB 4o 1 ( ) m o e2 m*e m*h Trong đó, ε0 số điện, ε số điện môi vật liệu, mo khối lượng nghỉ điện tử, me* mh* khối lượng hiệu dụng (là khối lượng tính đến tác động trường tinh thể lên tính chất hạt tải) tương ứng điện tử lỗ trống Sự tái hợp exciton xạ ánh sáng 1.1.2 Các đặc trưng bột huỳnh quang Hiệu suất huỳnh quang Hiệu suất huỳnh quang tính tổng hiệu suất hấp thụ hiệu suất lượng tử Trong đó: Hiệu suất lượng tử tính cơng suất phát xạ chia cho công suất hấp thụ Mỗi loại vật liệu huỳnh quang cần tính tốn cho hiệu suất huỳnh quang cao Thơng thường bóng đèn huỳnh quang đạt hiệu suất huỳnh quang từ 0.55-0.95 Hấp thụ xạ kích thích Đối với vật liệu huỳnh quang nói chung vùng hấp thụ lượng dải mà thường hấp thụ mạnh vùng định.Trong bóng đèn thủy ngân áp suất thấp xạ kích thích đèn mạnh bước sóng 254nm, vật liệu huỳnh quang cho đèn cần có phổ hấp thụ mạnh dải Đối với bóng đèn huỳnh quang thủy ngân áp suất cao có hai vùng xạ 220-290nm 330-390nm loại vật liệu huỳnh quang hấp thụ dải bước sóng 380nm cần ý Độ ổn định màu Một số loại vật liệu huỳnh quang có tính chất quang biến đổi theo nhiệt độ VD bột huỳnh quang halophosphats 3Ca(PO4)Ca(F,Cl) hoạt hoá Sb3+ Mn2+, phổ xạ Sb3+ bị dịch phía bước sóng ngắn nhiệt độ tăng, LaPO4:Ce,Tb hiệu suất phát quang giảm đến 90% nhiệt độ tăng từ nhiệt độ phòng lên 1500C Đối với bóng đèn huỳnh quang thủy ngân áp suất thấp, nhiệt độ hoạt động đèn khoảng 400C, đèn thủy ngân áp suất cao, nhiệt độ bên tăng đến 3500C cần phải có loại huỳnh quang phù hợp Độ bền Có nhiều tác nhân gây suy giảm phẩm chất vật liệu tác động hóa, nhiệt, điện trường học xảy bên Đối với bóng đèn huỳnh quang thủy ngân áp suất thấp, vật liệu huỳnh quang cần có tính trơ với thủy ngân, không bị phân hủy xạ lượng cao Không tương tác với ion tạp chất vật liệu làm thành ống Độ đồng hình dạng kích thước hạt Trong khối vật liệu huỳnh quang, sau phát quang diễn tia xạ bị tán xạ, khúc xạ tương tác với hạt vật liệu Thơng thường q trình làm phần lượng xạ tán xạ hấp thụ khối vật liệu Do vậy, phân bố hình dạng kích thước hạt có vai trị quan trọng ảnh hưởng tới hiệu suất phát quang 1.2 Các loại bột huỳnh quang 1.2.1 Bột huỳnh quang truyền thống Bột huỳnh quang truyền thống bột huỳnh quang dựa nguyên liệu calcium halophosphate Bột huỳnh quang calcium halophosphate đáp ứng kích thích xạ 254 nm thủy ngân bền khơng gian phóng điện mơi trường khí trơ Bột huỳnh quang quang calcium halophosphate hoạt hóa với ion Sb3+ Mn2+ (đã công bố Mckeag cộng năm 1942) Từ bột huỳnh quang halophosphate có ion kích hoạt Sb3+ Mn2+ sử dụng rộng rãi cho phát ánh sáng trắng bóng đèn huỳnh quang công nghiệp 1.2.1.1 Cấu trúc mạng Halophosphate với thành phần Ca5(PO4)3X ( X = F, Cl) gần với hydroxyapatite, thành phần xương răn Apatite có cấu trúc tinh thể hexagonan nguyên tử Ca xuất hai vị trí khác Các ngun tử Ca vị trí ( CaI) có số phối trí bao quanh nguyên tử O với độ dài trung bình liên kết CaI-O 2,43 A0 Các nguyên tử Ca vị trí ( CaII) bao quanh nguyên tử oxi ( độ dài trung bình liên kết CaII-O 2,43 A0) nguyên tử halogen( độ dài liên kết CaII-O 2,39 A0 Trong trường hợp halogen F CaII nguyên tử F nằm mặt phẳng tinh thể Tuy nhiên halogen Cl CaI nguyên tử Cl không nằm mặt tinh thể Mặt dù có nhiều báo bàn vị trí Sb3+ Mn2+ tất trí cho ion có khả thay ion Ca2+ vị trí Ngồi tác giả Blasse nhấn mạnh có chứng cho thấy ion Sb3+ vị trí phosphorus mạng lưới bột huỳnh quang Tuy nhiên ion Mn2+ nói chung thường phân bố đồng tồn tinh thể ion Sb3+ tìm thấy hầu hết bề mặt tinh thể [11,26] 1.2.1.2 Tính chất phát quang vật liệu Các bóng đèn huỳnh quang thường sử dụng bột halophosphat với phát xạ chủ yếu ion Sb3+ Mn2+ pha tạp Bột huỳnh quang halophosphate hoạt hóa Sb3+ Mn2+ hấp thụ xạ tử ngoại từ thủy ngân đèn huỳnh quang phát ánh sáng trắng (hình 1.1) Quá trình phát ánh sáng trắng quy cho hấp thụ xạ thủy ngân 254nm ion hoạt hóa Sb3+ phát ánh sáng blue (xanh da trời) Một phần lượng hấp thụ Sb3+ truyền cho ion hoạt hóa Mn2+ phát ánh sáng red-orange (đỏ - cam) Những ion Mn2+ không hấp thụ xạ thủy ngân Sự kết hợp ánh sáng blue red-orange sinh ánh sáng trắng [11] Sb3+ có vùng xạ 480 nm Mn2+ có vùng xạ ~ 580 nm (hình 1.2) Hình 1.1 Phổ phát huỳnh quang calcium halophosphate A: Sb3+, B: Mn2+, C: Halophosphate phát ánh sáng trắng [11] Hình 1.2 Phổ huỳnh quang bóng đèn sử dụng bột halophosphat 1.2.1.3 Ưu nhược điểm bột halophosphate Một ưu điểm lớn bột halophosphate nguyên liệu rẻ, dễ chế tạo Tuy nhiên, hạn chế lớn bột huỳnh quang halophosphate đạt đồng thời độ sáng cao hệ số trả màu cao Cụ thể: Nếu độ sáng cao (hiệu suất phát quang khoảng 80 lm/W), hệ số trả màu (CRI) khoảng 60 Giá trị CRI cải thiện lên đến 90 độ sáng giảm khoảng 50 lm/W [11] Bột huỳnh quang halophosphate có hiệu suất phát quang khả trì huỳnh quang thấp Nguyên nhân tâm hấp thụ tạo từ xạ tử ngoại khả kiến, tâm phát xạ, gọi “tâm màu” khuyết tật mạng Những tâm màu hình thành khuyết tật mạng halophosphate bẫy electron lỗ trống Các tâm màu tạo hấp thụ xạ kích thích vùng phổ từ tử ngoại xa đến hồng ngoại Vì tâm màu làm giảm biến đổi độ sáng bột huỳnh quang hấp thụ phát xạ nhình thấy bột huỳnh quang hấp thụ phần xạ kích thích 254 nm thủy ngân [26] 1.2.2 Bột huỳnh quang ba phổ Bột huỳnh quang ba phổ bột huỳnh quang chế tạo có hoạt hóa ion đất phát xạ ba màu nhằm tạo ánh sáng trắng Các nguyên tố đất thường sử dụng bao gồm Sc, Y, La nguyên tố họ lantanit Họ lantanit (Ln) gồm 14 nguyên tố 4f có số thứ tự từ 58 đến 71 bảng tuần hoàn Menđêleep Như vậy, nguyên tố đất thuộc nhóm IIIB chu kỳ bảng tuần hồn ngun tố hóa học Cấu hình electron nguyên tử nguyên tố đất biểu diễn cơng thức chung sau: 1s22s22p63s23p63d104s24p64d104fn5s25p65dm6s2, đó: n thay đổi từ ÷14, m nhận giá trị Dựa vào đặc điểm xếp electron phân lớp 4f mà lantanit chia thành hai phân nhóm: Phân nhóm nhẹ (phân nhóm xeri) gồm nguyên tố, từ Ce÷Gd: Ce Pr Nd Pm Sm Eu 4f2 4f3 4f4 4f5 4f6 4f7 Gd 4f75d1 Phân nhóm nặng (phân nhóm tecbi) gồm nguyên tố, từ Tb÷Lu: Tb Dy Ho Er Tu Yb 4f7+2 4f7+3 4f7+4 4f7+5 4f7+6 4f7+7 Lu 4f7+75d1 Tính chất hố học ion đất có hố trị tương lớp vỏ điện tử chúng có cấu hình [Xe]4f N-1 5d16s2 Họ Lantanit nguyên tố La3+ với lớp vỏ 4f hồn tồn trống (4f0), tiếp Ce3+ có điện tử nhiệt độ thiêu kết tăng lên đỉnh nhiễu xạ hình thành sắc nét ổn định Điều cho thấy nhiệt độ thiêu kết tăng lên trình hình thành tinh thể vật liệu rõ ràng Khi nhiệt độ thiêu kết khoảng 9000C pha hình thành rõ rệt nhận thấy nhiệt độ thiêu kết từ 10000C đến 11000C đỉnh phổ thu rõ nét khơng có thay đổi lớn Điều cho thấy, vật liệu tổng hợp kết tinh tốt nhiệt độ thiêu kết Kết phù hợp với kết SEM mà thu Như vậy, bột huỳnh quang Sr6P5BO20 pha tạp ion Eu chế tạo kết tinh tốt 11000C Trên sở vật liệu kết tinh tốt 11000C, tiến hành khảo sát thành phần pha tinh thể có vật liệu với tỷ lệ pha tạp Eu khác Hình 3.3 trình bày phổ nhiễu xạ tia X vật liệu thiêu kết 11000C với tỷ lệ pha tạp ion Eu3+ thay đổi từ 2% đến 15% Kết thu cho thấy vật liệu tổng hợp vật liệu đa pha cấu trúc, với pha là: Sr6P5BO20; Sr3(PO4)3; Sr2P2O7; SrBPO5 Sr3Eu(PO4)3 Tỷ lệ pha cấu trúc phụ thuộc lớn vào nhiệt độ thiêu kết tỷ lệ pha tạp ion Eu3+ vật liệu Hình 3.3 Phổ nhiễu xạ tia X vật liệu 11000C với tỷ lệ pha tạp Eu3+ khác Khi tỷ lệ pha tạp Eu thấp pha cấu trúc Sr6P5BO20 chiếm tỷ lệ chủ yếu vật liệu tổng hợp Khi tỷ lệ pha tạp tăng lên 5% mạng bắt đầu hình thành pha cấu trúc Sr3Eu(PO4)3, tỷ lệ pha cấu trúc tăng tỷ lệ pha tạp Eu tăng Theo chúng tôi, cần hạn chế pha cấu trúc này, lệ pha tạp Eu không nên vượt 5% 29 3.1.2 Tính chất quang bột huỳnh quang Sr6P5BO20 pha tạp Eu3+ Trên sở vật liệu tổng hợp, tiến hành đo phổ huỳnh quang mẫu vật liệu nhiệt độ phòng để khảo sát tính chất phát xạ chúng Hình 3.4 trình bày phổ quang huỳnh quang bột Sr6P5BO20 pha tạp 2% Eu3+ nung 11000C Hình 3.4 Phổ huỳnh quang bột Sr6P5BO20 pha tạp % ion Eu3+ , thiêu kết nhiệt độ 11000C, đo nhiệt độ phòng Kết cho thấy vật liệu phát xạ mạnh vùng ánh sáng đỏ với bước sóng phát xạ 570 nm, 582 nm, 605 nm, 645 nm, 677 nm 695 nm, ngồi có đỉnh yếu vùng hồng ngoại gần 810 nm Các đỉnh phát xạ phát xạ đặc trưng ion Eu3+ trường tinh thể vật liệu từ trạng thái kích thích 5D0 trạng thái có mức lượng thấp 7FJ (j = 0, 1, …6) Trong đỉnh phát xạ này, đỉnh phát xạ 605 nm có cường độ lớn Phát xạ tương ứng với dịch chuyển lưỡng cực điện từ trạng thái kích thích 5D0 trạng thái có mức lượng thấp 7F2 ion Eu3+ trường tinh thể vật liệu Để có thơng tin mức lượng hấp thụ có hiệu suất cao chúng tơi tiến hành đo phổ kích thích huỳnh quang vật liệu chế tạo Hình 3.5 trình bày phổ kích thích huỳnh quang bột Sr6P5BO20 pha tạp % ion Eu3+ , thiêu kết nhiệt độ 11000C, ứng với bước sóng phát xạ 605 nm đo nhiệt độ phịng Phổ có đỉnh rõ rệt 361 nm, 393 nm, 464 nm 4615 nm Ba đỉnh hấp thụ đầu tương ứng với dịch chuyển trạng thái ion Eu3+ từ mức lượng 7F0 lên trạng thái có mức lượng cao 5D4; 5L6; 5L2, đỉnh hấp thụ 415nm tương ứng với dịch chuyển từ trạng thái 7F1 lên trạng thái 5D3 Trong số đỉnh kích thích huỳnh quang, đỉnh 30 tạibước sóng 393 nm có cường độ mạnh nhất, trình chuyển mức lượng từ trạng thái 7F0 lên trạng thái mức lượng 5L6 Như bột chế tạo hấp thụ mạnh vùng bước sóng 393 nm, bước sóng có hiệu suất hấp thụ cao Chúng tiến hành khảo sát tính chất huỳnh quang vật liệu với bước sóng kích thích 393 nm Hình 3.5 Phổ kích thích huỳnh quang bột Sr6P5BO20 pha tạp % ion Eu3+ , thiêu kết nhiệt độ 11000C, ứng với bước sóng phát xạ 605 nm đo nhiệt độ phịng 3.1.2.1 Sự phụ thuộc tính chất quang bột huỳnh quang Sr6P5BO20 pha tạp ion Eu3+ vào nhiệt độ thiêu kết Hình 3.6 trình bày phổ huỳnh quang vật liệu với nhiệt độ thiêu kết từ 600 C đến 13000C có tỷ lệ pha tạp % ion Eu3+ đo nhiệt độ phòng với bước sóng kích thích 393 nm Kết cho thấy vật liệu phát xạ mạnh vùng xạ màu đỏ với xạ đặc trưng ion Eu3+ mạng tinh thể vật liệu Trong đỉnh xạ 605 nm đỉnh phát xạ mạnh Khi nhiệt độ thiêu kết tăng từ 6000C đến 11000C cường độ huỳnh quang vật liệu có xu hướng tăng lên, nhiệt độ thiêu kết vật liệu đạt đến 11000C cường độ huỳnh quang vật liệu lớn Điều giải thích là, nhiệt độ thiêu kết tăng, vật liệu kết tinh tốt hơn, cấu trúc tinh thể thái ổn định hơn, đồng thời chỗ tâm phát xạ ion Eu3+ vào vị trí ion Sr3+ mạng tăng lên dẫn đến cường độ phát xạ huỳnh quang vật liệu tăng lên Ngoài ra, nhóm hydroxit vật liệu tác nhân làm giảm huỳnh quang, nhóm có mức lượng phonon cao dẫn đến xác suất hồi phục không xạ cao, nhiệt độ thiêu kết tăng làm giảm có mặt 31 nhóm này, dẫn đến huỳnh quang vật liệu tăng Lượng nhóm hydroxit bột bị giảm nhiệt độ nung tăng lên bốc Như nung thiêu kết nhiệt độ cao cần thiết để làm giảm cách có hiệu nhóm hydroxyt, làm tăng hiệu suất huỳnh quang Lúc cấu trúc tinh thể bị phá vỡ, dẫn đến trường tinh thể thay đổi, đồng thời vị trí tâm phát xạ bị thay đổi, ion Eu3+ bị kết đám lại với nhau, dẫn đến hiệu suất huỳnh quang giảm Hình 3.6 Phổ huỳnh quang bột Sr6P5BO20 pha tạp % ion Eu3+ , thiêu kết từ 6000C đến 13000C đo nhiệt độ phòng (trái) vạch phát xạ 605 nm phổ tương ứng (phải) Hình 3.7 Phụ thuộc cường độ huỳnh quang đỉnh phát xạ 580 nm; 605 nm; 695 nm vào nhiệt độ thiêu kết Qua thực nghiệm chế tạo thấy nhiệt độ nung phù hợp bột huỳnh quang Sr6P5BO20 pha tạp ion Eu 11000C Hình 3.7 trình bày phụ thuộc cường độ huỳnh quang vật liệu vào nhiệt độ thiêu kết Tất đỉnh phát xạ tương ứng có cường độ lớn mẫu nung 11000C 3.1.2.2 Sự phụ thuộc tính chất quang vào tỷ lệ pha tạp ion Eu3+ Trên sở vật liệu nung 11000C cho phát xạ mạnh nhất, chúng tơi khảo sát phụ thuộc tính chất quang mẫu nung nhiệt độ vào tỷ lệ pha tạp ion Eu3+ 32 Hình 3.8 Phổ huỳnh quang bột Sr6P5BO20 thiêu kết nhiệt độ 11000C, với tỷ lệ pha tạp từ đến 15% ion Eu3+ , đo nhiệt độ phịng Hình 3.8 trình bày phổ huỳnh quang bột Sr6P5BO20 thiêu kết nhiệt độ 11000C, với tỷ lệ pha tạp từ đến 15% ion Eu3+ , đo nhiệt độ phịng bước sóng kích thích 393 nm Kết cho thấy, với tỷ lệ pha tạp khác phổ huỳnh quang vật liệu có đỉnh phát xạ vùng đỏ 570 nm, 582 nm, 605 nm, 645 nm, 677 nm 695 nm, tương ứng với bước sóng đặc trưng ion Eu3+, đỉnh phát xạ mạnh 605 nm tương ứng với trình dịch chuyển mức lượng từ 5D0 7F2 ion Khi tỷ lệ pha tạp ion Eu3+ tăng lên cường độ huỳnh quang tăng lên Điều giải thích lượng Eu tăng lên thay nguyên tử Eu vào vị trí Sr mạng tinh thể vật liệu tăng Khi tâm phát xạ tăng lên làm cho cường độ huỳnh quang tăng lên Nhưng phổ phát xạ ion Eu3+ mẫu có nồng độ Eu khác cho thấy cường độ phát xạ mạnh khơng phải mẫu có nồng độ Eu cao Cường độ huỳnh quang mạnh quan sát thấy mẫu chứa 5% Eu3+ Mẫu có nồng độ Eu3+ cao (15%, đường tím cùng) có cường độ yếu hẳn, thể hiệu ứng dập tắt huỳnh quang nồng độ Trong trình vật liệu đóng rắn nhiệt độ cao, cation Eu3+ có liên kết với mạng nền, dễ dẫn đến việc chúng kết tập bên mạng kết tủa dạng đám Eu2O3 Hiện tượng tăng nồng độ Eu3+ mẫu tăng Sự kết đám ảnh hưởng lớn đến hiệu suất huỳnh quang vật liệu, gọi ảnh hưởng kết đám 33 đến huỳnh quang ion đất Khi ion đất tập trung thành đám, hiệu suất huỳnh quang giảm mạnh truyền lượng ion tăng lên Như nghiên cứu bột huỳnh quang Sr6P5BO20 pha tạp ion Eu3+ phát quang tốt thiêu kết 11000C với tỷ lệ pha tạp 5% ion Eu3+ 3.2 Bột huỳnh quang Y2O3 pha tạp ion Eu3+ Cũng bột huỳnh quang Sr6P5BO20 pha tạp ion Eu3+, tiến hành tổng hợp bột huỳnh quang Y2O3 pha tạp ion Eu3+ phương pháp đồng kết tủa với tỷ lệ pha tạp khác từ 1% đến 30% Vật liệu sau tổng hợp thiêu kết nhiệt độ khác Các bột huỳnh quang chụp ảnh SEM để khảo sát hình thái, kích thước, đo nhiễu xạ tia X để khảo sát pha tinh thể Sau mẫu nghiên cứu tính chất quang với mục đích tìm điều kiện tạo mẫu tối ưu để vật liệu phát quang mạnh 3.2.1 Hình thái, kích thước cấu trúc 3.2.1.1 Hình thái kích thước bột huỳnh quang Bột huỳnh quang Y2O3 pha tạp ion Eu3+ tổng hợp phương pháp đồng kết tủa với tỷ lệ pha tạp Eu khác thiêu kết nhiệt độ từ 4000C đến 12500C Hình 3.9 3.10 trình bày ảnh SEM bột huỳnh quang Y2O3 pha tạp ion Eu3+ với nhiệt độ thiêu kết từ 4000C đến 12500C Hình 3.9 Ảnh SEM bột huỳnh quang Y2O3 nhiệt độ thiêu kết 4000C; 7000C; 8000C Kết cho thấy nhiệt độ thiêu kết thấp hình thái bề mặt vật liệu hình thành chưa rõ rệt, chưa quan sát thấy cấu trúc tinh thể vật liệu Khi nhiệt độ thiêu kết vật liệu tăng lên cấu trúc vơ định hình vật liệu thay đổi tinh thể hình thành dần Khi nhiệt độ thiêu kết lên đến 9000C tinh thể bắt đầu hình thành rõ rệt Khi nhiệt độ thiêu kết lên đến 10000C thi vật liệu kết tinh tốt, hạt rõ rệt bề mặt ổn định có kích thước phân bố từ 60 nm đến 100 nm 34 Hình 3.10 Ảnh SEM bột huỳnh quang Y2O3 nhiệt độ thiêu kết 9000C; 10000C; 12500C Khi nhiệt độ thiêu kết tăng lên đến 12500C vật liệu có xu hướng nóng chẩy kết đám lại với 3.2.1.2 Cấu trúc bột huỳnh quang Y2O3 pha tạp ion Eu3+ Cũng bột huỳnh quang Sr6B(PO4)5 pha tạp ion Eu3+, tiến hành khảo sát ảnh hưởng nhiệt độ đến cấu trúc bột huỳnh quang Y2O3 Giản đồ nhiễu xạ tia X bột huỳnh quang Y2O3 pha tạp ion Eu3+ nhiệt độ thiêu kết khác trình bày hình 3.11 Hình 3.11 Phổ nhiễu xạ tia X vật liệu với nhiệt độ thiêu kết khác Kết nhiễu xạ tia X cho thấy nhiệt độ thiêu kết 4000C phổ nhiễu xạ thu đỉnh nhiễu xạ [110], [101] Đây đỉnh nhiễu xạ đặc trưng nhóm khơng gian có cấu trúc lục giác (P63/m) pha cấu trúc Y(OH)3 Khi nhiệt độ thiêu kết tăng lên phổ nhiễu xạ tia X hình thành đỉnh rõ rệt sắc nét với đỉnh nhiễu xạ [222]; [400]; [440]; [622] Đây đỉnh đặc trưng 35 nhóm khơng gian lập phương Ia3 [10, 15, 25, 22], đỉnh nhiễu xạ đặc trưng vật liệu Y2O3 Kết nhận thấy đỉnh nhiễu xạ đặc trưng có cường độ tăng dần nhiệt độ thiêu kết tăng, đạt giá trị lớn vật liệu thiêu kết 10000C sau giảm nhiệt độ thiêu kết tiếp tục tăng 3.2.2 Tính chất quang vật liệu Hình 3.12 trình bày phổ huỳnh quang mẫu Y2O3 pha tạp 8% Eu, thiêu kết 10000C Kết cho thấy vật liệu phát xạ mạnh vùng ánh sáng đỏ, bước sóng từ 580 nm đến 715 nm Đây đỉnh phát xạ đặc trưng ion Eu3+ trường tinh thể vật liệu Các đỉnh phát xạ tạo dịch chuyển mức lượng ion Eu3+ từ trạng thái kích thích 5D0 trạng thái có mức lượng thấp 7FJ (j = 0, 1, …6) Trong đỉnh phát xạ này, đỉnh phát xạ 612 nm có cường độ lớn Bức xạ quy cho dịch chuyển mức lượng từ trạng thái 5D0 trạng thái có mức lượng thấp 7F2 ion Eu3+ trường tinh thể vật liệu Hình 3.12 Phổ huỳnh quang bột huỳnh quang Y2O3 pha tạp 8% Eu, thiêu kết 10000C Ta nhận thấy đỉnh phát xạ 612 nm tương ứng với trình dịch chuyển mức lượng 5D0 7F2 chiếm ưu hoàn toàn đỉnh phát xạ khác Điều giải thích mạng nên tinh thể vật liệu có cấu trúc lập phương nên xác suất tích lũy điện tử trạng thái trạng thái lưỡng cực điện [25] tăng cường Còn q trình dịch chuyển trạng thái cịn lại bị cấm quy tắc chẵn lẻ 36 lượng tử Đặc biệt đỉnh phát xạ tương ứng với trình dịch chuyển 5D0 7F1và F4 tương tương với dịch chuyển lưỡng cực từ bị hạn chế So sánh phát xạ bột huỳnh quang Y2O3 Sr6B(PO4)5 pha tạp ion Eu3+ thấy vật liệu phát xạ mạnh vùng ánh sáng đỏ với trình dịch chuyển đặc trưng ion Eu3+ từ trạng thái 5D0 7Fj (j = 0, 1…6) đỉnh phát xạ tương ứng với dịch chuyển từ trạng thái 5D0 7F2 lớn Tuy nhiên, tỉ lệ cường độ đỉnh lại với đỉnh phát xạ khác lớn cấu trúc tinh thể mạng khác làm tăng xác suất tích lũy điện tử trạng thái lưỡng cực điện hay lưỡng cực từ khác Hình 3.13 Phổ kích thích huỳnh quang ứng với bước sóng phát xạ 612 nm Hình 3.13 trình bày phổ kích thích huỳnh quang ứng với phát xạ 612 nm cho thấy vật liệu hấp thụ mạnh bước sóng 393 nm 467nm Các đỉnh hấp thụ dịch chuyển mức lượng ion Eu3+ từ trạng thái 7F0 lên trạng thái 5L6 5D2 [25] Để so sánh với phát xạ ion Eu3+ Sr6B(PO4)5, tiến hành khảo sát tính chất quang bột huỳnh quang Y2O3 pha tạp ion Eu3+ bước sóng kích thích 393 nm 3.2.2.1 Sự phụ thuộc tính chất quang vào nhiệt độ thiêu kết Hình 3.14 trình bày phổ huỳnh quang bước sóng kích thích 393 nm đo nhiệt độ phòng của mẫu bột Y2O3 pha tạp 8% Eu thiêu kết nhiệt độ 9000C, 10000C, 11000C, 11500C 12500C Kết thu cho thấy, vật liệu phát xạ 37 mạnh vùng xạ màu đỏ với xạ đặc trưng ion Eu3+ mạng tinh thể vật liệu Trong đỉnh xạ 612 nm có cường độ mạnh Tương tự trường hợp mẫu Sr6B(PO4)5 pha tạp Eu, nhiệt độ thiêu kết 10000C cường độ huỳnh quang vật liệu thấp Với mẫu nung nhiệt độ 10000C, cường độ huỳnh quang mạnh Điều giải thích nhiệt độ thiêu kết thấp q trình hình thành tinh thể chưa hồn thiện, đồng thời nhiệt độ thiêu kết thấp thay Eu vào mạng tinh Y2O3 thấp, cộng thêm nhóm hydroxyl bị loại bỏ Khi nhiệt độ thiêu kết tăng lên tinh thể hoàn thiện dần thay nguyên tử Eu cho Y tăng lên, đồng thời nhóm hydroxyl bị loại bỏ mạnh làm cho cường độ huỳnh quang tăng lên Hình 3.14 Phổ huỳnh quang bột huỳnh quang Y2O3 pha tạp 8% Eu, thiêu kết từ 9000C đến 12500C, bước sóng kích thích 393 nm đo nhiệt độ phòng (trái) vạch phát xạ 612 nm phổ tương ứng (phải) Như bột Y2O3 pha tạp Eu chế tạo có cường độ huỳnh quang lớn mẫu nung 10000C Kết phù hợp với hình thái cấu trúc tinh thể khảo sát Khi nhiệt độ thiêu kết tăng lên (ở nhiệt độ 1100, 1150 12500C) tinh thể có xu hướng kết đám lại với nhau, kích thước hạt tăng lên nên quãng đường tự quang tăng lên, lượng photon bị hấp thụ làm cho cường độ huỳnh quang giảm 38 3.2.2.2 Sự phụ thuộc tính chất quang vào tỷ lệ pha tạp ion Eu3+ Như bột huỳnh quang Sr6B(PO4)5 pha tạp ion Eu3+, nghiên cứu ảnh hưởng tỷ lệ pha tạp lên tính chất quang vật liệu Y2O3 pha tạp ion Eu3+ để tìm điều kiện phát xạ tối ưu cho vật liệu, thu kết hình 3.15 Kết cho thấy với tỷ lệ pha tạp khác vật liệu phát xạ mạnh vùng xạ màu đỏ vùng xạ 580 nm đến 720 nm, với bước sóng đặc trưng ion Eu3+, đỉnh phát xạ mạnh 612 nm tương ứng với trình dịch chuyển mức lượng từ 5D0 7F2 ion Eu3+ Khi tỷ lệ pha tạp ion Eu3+ tăng lên cường độ huỳnh quang tăng lên Điều giải thích lượng Eu tăng thay Eu vào vị trí nút mạng Y tăng lên, làm cường độ huỳnh quang tăng lên Nhưng tỷ lệ pha tạp tăng lên q cao có hấp thụ lẫn giữ tâm phát xạ dẫn đến tượng dập tắt huỳnh quang xẩy tỷ lệ pha tạp cao Hình 3.15 Phổ huỳnh quang bột huỳnh quang Y2O3 pha tạp Eu với tỷ lệ khác nhau, thiêu kết 10000C đo bước sóng kích thích 393 nm nhiệt độ phòng (trái) vạch phát xạ 612 nm phổ tương ứng (phải) Như nghiên cứu bột huỳnh quang Y2O3 pha tạp ion Eu3+ phát quang tốt thiêu kết 10000C với tỷ lệ pha tạp 8% ion Eu3+ 39 KẾT LUẬN Đề tài tổng hợp thành công hai hệ vật liệu Sr6B(PO4)5 Y2O3 pha tạp ion Eu3+ phương pháp đồng kết tủa Vật liệu thu phát xạ mạnh vùng ánh sáng đỏ Nhóm vật liệu Sr6B(PO4)5 pha tạp ion Eu3+ Vật liệu có cấu trúc đa pha tinh thể, cấu trúc phụ thuộc lớn vào nhiệt độ thiêu kết tỷ lệ pha tạp Eu mạng tinh thể Vật liệu thu gồm pha cấu trúc chủ yếu là: Sr6P5BO20; Sr3(PO4)3; Sr2P2O7; SrBPO5 Sr3Eu(PO4)3 Khi tỷ lệ pha tạp Eu thấp pha cấu trúc Sr6P5BO20 chiếm tỷ lệ chủ yếu vật liệu tổng hợp được; tỷ lệ pha tạp tăng lên 5% bắt đầu hình thành pha cấu trúc Sr3Eu(PO4)3 nhận thấy tỷ lệ pha cấu trúc tăng tỷ lệ pha tạp Eu tăng Sự thay đổi mặt cấu trúc vật liệu có ảnh hưởng lớn đến tính chất quang vật liệu tổng hợp Vật liệu kết tinh tốt với pha cấu trúc mong muốn Sr6P5BO20 11000C có kích thước phân bố từ 300 nm đến 800 nm Vật liệu phát quang mạnh vùng ánh sáng đỏ, với bước sóng phát xạ từ phát xạ từ 570 nm đến 810 nm Đây đỉnh phát xạ đặc trưng ion Eu3+ mạng tinh thể vật liệu Trong đỉnh phát xạ đỉnh phát xạ mạnh 605 nm, dịch chuyển mức lượng từ trạng thái 5D0 trạng thái 7F2 ion Eu3+ mạng tinh thể Kết cho thấy vật liệu phát xạ tốt thiêu kết 11000C có tỷ lệ pha tạp Eu 5% Nhóm vật liệu Y2O3 pha tạp ion Eu3+ Vật liệu có cấu trúc tinh thể đơn pha Khi nhiệt độ thiêu kết 4000C vật liệu tồn đồng thời hai pha tinh thể Y(OH)3 Y2O3 vật liệu Lúc vật liệu có hình thái bề mặt không rõ ràng Khi nhiệt độ thiêu kết tăng lên pha cấu trúc Y2O3 hình thành rõ rệt vật liệu hoàng toàn tinh khiết với pha cấu trúc Khi nhiệt độ thiêu kết tăng lên 10000C vật liệu cho kết tinh tốt nhất, hệ phân bố kích thước khoảng 60 nm đến 100 nm Khi nhiệt độ thiêu kết tăng lên hạt có xu hướng kết đám lại với nhau, hạt có kích thước khơng đồng Vật liệu phát quang mạnh vùng ánh sáng đỏ, với bước sóng phát xạ từ phát xạ từ 570 nm đến 720 nm Đây đỉnh phát xạ đặc trưng ion Eu3+ mạng tinh thể vật liệu Trong đỉnh phát xạ đỉnh phát xạ mạnh 612 nm, dịch chuyển mức lượng từ trạng thái 5D0 trạng thái 7F2 ion Eu3+ mạng tinh thể Kết cho thấy vật liệu phát xạ tốt thiêu kết 10000C có tỷ lệ pha tạp Eu 8% Các bột huỳnh quang chế tạo phù hợp cho việc ứng dụng tráng, phủ thiết bị hiển thị màu thiết bị chiếu sáng 40 TÀI LIỆU THAM KHẢO C Jeffrey Brinker, George W.Scherer, “Sol-gel Science: The physis and chemistry of sol-gel processing”, published by Academic press limited, 1990 CHEN Lei, JIANG Yang, Yang Guangtao, ZHANG Guobin, XIN Xingliang, KONG Daxing, New red phosphor (Y,Gd,Lu)BO3: Eu3+ for PDP applications, Journal of Rare Earths, Vol 27, No 2, Apr 2009, p 312 Chunfang Wu, Yuhua Wang, Wei Jie Hydrothermal synthesis and luminescent properties of LnPO4:Tb (Ln = La, Gd) phosphors under VUV excitation Journal of Alloys and Compounds 436 (2007) 383–386 Cui Xiangzhong, Zhuang Weidong, Zhang Xiying, Xia Tian, Long Zhen, Yu Zhijian, Zhao Chunlei, Huang Xiaowei, Synthesis of Spherical (Y,Gd)BO3: Eu3+ Phosphor Using W/O Emulsion System, Journal of Rare Earths 24 (2006) 719 – 723 Cui Xiangzhong, Zhuang Weidong, Zhang Xiying, Xia Tian, Long Zhen, Yu Zhijian, Zhao Chunlei, Huang Xiaowei, Red Emitting Phosphor (Y,Gd)BO3: Eu3+ for PDP Prepared by Complex Method, Journal of Rare Earths, Vol 24, Spec Issue, Dec, 2006, p 149 Cull et al, Patent No : 2002/0079479 A1 Dae - Su Kim, Rhim – Youl Lee, Synthesis and Photoluminescence properties of (Y,Gd)BO3: Eu3+ phosphor prepared by ultrasonic spray, Journal of Materials Science 35 (2000) 4777 – 4782 Dan Wang, Yuhua Wang, Luminescence properties of LaPO4: Tb, Me (Me = Gd, Bi, Ce) under VUV excitation, Materials Research Bulletin (2007) Dean, J.A Langes’s Handbook of Chemistry, 13th ed.; Mcgraw-hill book company: New york, 1985 10 Eric D Jones (2001), Light emitting diodes (LEDS) for general ilumination, Sandia National Laboratories, Pupblished by Pptoelectronics Industry Developnent Association 11 G Blasse, B.C Geiabmaier, Luminescent Materials, Springer, Berlin, 1994 12 Guorong Hu, Xinrong Deng, Zhongdong Peng, Yanbing Cao, Ke Du, “Morphology and luminescence of (Y,Gd)BO3:Eu phosphor particles prepared by urea-assisted spray pyrolysis ”, Journal of Alloys and Compounds 452 (2008) 462-466 13 Hao Bui Van et al, Synthesis of Y2O3: Eu3+ micro-and nanophosphors by sol-gel process, APCTP-ASEAN Workshop on Advanced Materials Science and Nanotechnology(AMSN2008)-Nha Trang, Vietnam – September 15-21,2008 41 14 J.Zhong et al, Luminescemnt properties of NaGd(PO4)4: Eu3+ and energy transfer from Gd3+ to Eu3+, Applied Physic B, Laser and Optics, 06 August 2009 15 Jin T , Jin E., Sano M., Chi B., Yazawa T., (2008), “ Fabrication and Luminescent Characteristics of Y2O3:Eu3+ Nanotubes by Hydrothermal Treatment”, Chem Lett., 37, pp.370-371 16 K.A Gschneidner, Jr., J.-C.G Bünzli and V.K Pecharsky, Handbook on the Physics and Chemistry of Rare Earths, Volume 37, Elsevier, 2007 17 Karen S Brewer, Andrew P Magyar, Ann J Silversmith, Daniel Depatment of Chemistry and Physics Hamilton College, Clinton, NY and Davidson College, Davidson, NC Energy Transfer from Chelated Ligands 18 19 Lakowicz J R (1999), “Principl of Fluorescence Spectroscopy”, Springer Lisa C.Klein, Sol-Gel technology for thin films, fibers, preforms, electronics, and specialty shapes, Noyes publications, 1988 20 M Longo, Harold S Horowitz, Preparation and characterization of Materials, Eds J.M.Honig and C.N Rao Acad Press N Y 1981, 29 - 46 21 M.P Pechini, Patent No : US 3.330697, 1967 22 N.R Rao Mater Sci and Eng B18( 1993 ) 1-21 23 O’Connor D V., Phillips D (1984), “Time-corelated single photon counting”, Academic Pr, ISBN-10: 0125241402 24 P Flesch, Light and Light Sources: High-Intensity Discharge Lamps, Springer, 2006 25 Shionoya S., Yen W M (1999), Phosphor Handbook, CRC Press, Florida, USA, 26 Srivastava et al, Patent No : US 6.436.313 B1 27 T Nishio F Fujiki J Mat Sci Lett, Preparation of super conducting YBa2Cu3O7-x fibers through metal citrate gel as a precursor US 2002/0079479A1, 12, 394-398, 1993 28 William M Yen Shigeo Shionoya, Hajime Yamamoto Dr Yamamoto 2006 by Taylor& Francis Group, LLC Phosphors handbook 29 Xiangzhong Cui, Weidong Zhuang, Zhijian Yu, Tian Xia, Xiaowei Huang, Hongwei Li, “ Preparation of red phosphor ( Y,Gd )BO3:Eu by soft chemistry methods ” Journal of Alloys and Compounds 451 (2008) 280-285 30 Y.-I Kim et al J Lumin 99 (2002) 91 31 Youhyuk Kim et al, Energy Transfer from Gd3+ to Eu3+ in (Y,Gd)BO3: Eu3+, Bull Korean Chem Soc 1997, Vol 18, No.10 42 32 Yuhua Wang, Tadashi Endo, Ling He, Chunfang Wu, Synthesis and photoluminescence of Eu3+-doped (Y,Gd)BO3 phosphors by a mild hydrothermal process, Journal of Crystal Growth 268 (2004) 568 – 574 33 Yun Chan KANG and Seung Bin PARK, Morphology of YxGd1-x)BO3: Eu3+ Phosphor Particles Prepared by Spray Pyrolysis from Aqueous and Colloidal Sollutions, Jpn J Appl Phys Vol.38 (1999) pp L1541-L1543, Part 2, No 12B, 15 December 1999 Ngày 08/10/2013 THỦ TRƯỞNG ĐƠN VỊ Chủ nhiệm đề tài Lê Tiến Hà 43