PHÁT XẠ ĐIỆN TỬ THỨ CẤP Thực Hiện: Nguyễn Văn Thọ Phát xạ điện tử thứ cấp gì? Nguồn: Scanning electron microscopy (SEM) D.S Su CƠ SỞ LÝ THUYẾT • Hệ số phát xạ thứ cấp • Is Tổng dịng phát xạ electron thứ cấp • Ip Tổng dịng phát xạ electron sơ cấp Characterization of the Dose Effect in Secondary Electron Emission Prashanth Kumar B.E, University of Madras, 2003 Tóm tắt lý thuyết lye dekker • n(x;E0)dx số hạt thứ cấp tạo lượng ban đầu E0 hạt tới với độ dày dx độ sâu x so với bề mặt Characterization of the Dose Effect in Secondary Electron Emission Prashanth Kumar B.E, University of Madras, 2003 Tóm tắt lý thuyết lye dekker • f(x) Là hàm phân bố hạt thứ cấp dọc theo trục x thoát bề mặt Characterization of the Dose Effect in Secondary Electron Emission Prashanth Kumar B.E, University of Madras, 2003 Tóm tắt lý thuyết lye dekker Độ mát lượng hạt sơ cấp tính định luật Whiddington's: dE/dx = -Ep/R A số đặt trưng cho vật liệu, R độ xuyên sâu R xác định thông qua n nằm khoảng 1,3 – 1,6 Characterization of the Dose Effect in Secondary Electron Emission Prashanth Kumar B.E, University of Madras, 2003 Tóm tắt lý thuyết lye dekker Với K hệ số, r xác định thông qua: Sử dụng điều kiện Ta có Characterization of the Dose Effect in Secondary Electron Emission Prashanth Kumar B.E, University of Madras, 2003 ...Phát xạ điện tử thứ cấp gì? Nguồn: Scanning electron microscopy (SEM) D.S Su CƠ SỞ LÝ THUYẾT • Hệ số phát xạ thứ cấp • Is Tổng dịng phát xạ electron thứ cấp • Ip Tổng dịng phát xạ electron... Effect in Secondary Electron Emission Prashanth Kumar B.E, University of Madras, 2003 Tóm tắt lý thuyết lye dekker • n(x;E0)dx số hạt thứ cấp tạo lượng ban đầu E0 hạt tới với độ dày dx độ sâu x... Effect in Secondary Electron Emission Prashanth Kumar B.E, University of Madras, 2003 Tóm tắt lý thuyết lye dekker • f(x) Là hàm phân bố hạt thứ cấp dọc theo trục x thoát bề mặt Characterization