... KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN 1.Nhiễu xạ tia X: a,c,e: as-deposited b,d,f: annealed a,b,c,d: 415 nm e,f : 800 nm a,b,e,f:phủ lên đế SiO2 c,d: phủ lên đế Si Phổ quang electron tia X TÍNH CHẤT QUANG ... chìa khóa để chế tạo màng oxit từ bia kim loại Kết phổ XRD cho thấy số mạng giảm độ dày màng tăng lên ( chuyển từ pha anatase sang pha rutile) Kết phổ XPS cho thấy màng TiO2 có tính hợp phức sau ... nhiệt Độ rộng vùng cấm( 3,09ev) màng có bề dày 800nm Sau ủ nhiệt cấu trúc tinh thể TiO2 hình thành ( chuyển từ pha anatase sang pha rutile ( cấu trúc bền vững hơn )- ủ nhiệt 1000K) ...