... biến vi sai: để tăng độ nhạy và độ tuyến tính của đặc tính cảm biến ngời ta mắc cảm biến theo sơ đồ vi sai (hình 4.11d,đ,e). Khi mắc vi sai độ nhạy của cảm biến tăng gấp đôi và phạm vi làm vi c ... nhạy và độ tuyến tính của tụ kép vi sai cao hơn tụ đơn và lực tơng hỗ giữa các bản cực tri t tiêu lẫn nhau do ngợc chiều nhau. b)c) Hình 4.14 Cảm biến tụ kép vi sai XV a) XVXV ... phát sinh lực hút, lực này cần phải nhỏ hơn đại lợng đo. 4.4.2. Cảm biến tụ kép vi sai Tụ kép vi sai có khoảng cách giữa các bản cực biến thiên dịch chuyển thẳng (hình 4.14a)...