Vật lý màng mỏng -Phương pháp bốc bay
Vật lý màng mỏng -Phương pháp bốc bay
... hình thành nên màng Lắng đọng vật lý (PVD) Chuyển Pha khí Pha khí Ngưng tụ Bốc bay Pha ngưng tụ Pha ngưng tụ (lỏng rắn) (rắn) PVD PVD types are: Bốc bay Nhiệt bốc bay Bốc bay chùm điện ... Nguồn bốc bay nhiệt chùm điện tử Tính chất bốc bay chùm điện tử Phức tạp bốc bay nhiệt đa Có thể đạt nhiệt độ 3000oC Sử dụng nồi bốc bay với đáy Cu Tốc độ lắng động ÷ 10 nm/s Vật liệu bốc bay - ... frbwrthes@gmail.com Phương pháp PVD Lắng động vật lý (PVD) trình màng mỏng vật liệu hình thành đế theo bước sau: Vật liệu cần lắng đọng, chuyển thành phương tiện vật lý Hơi chuyển ngang qua vùng...
- 75
- 1,059
- 6
Vật lý màng mỏng -Phương pháp chế tạo màng hóa học
... cách sử dụng kĩ thuật 1987 – PLD thành công việc chế tạo màng mỏng siêu dẫn nhiệt độ Cuối thập niên 80 – PLD kĩ thuật tiếng việc chế tạo màng mỏng ý đến nhiều 1990’s – phát triển nhanh chóng ... trúc màng Giai đoạn có tác dụng làm bay hết dung môi lại màng, vật chất kết nối với chặc chẽ hình thành nên biên hạt làm ảnh hưởng đến vi cấu trúc màng Đối với màng nhạy khí cấu trúc xốp màng ... nhiều loại oxit khác phủ thành công phương pháp Phương pháp dùng để phủ màng nhạy PH Al2O3, Ta2O5, loại màng chống oxi hóa ăn mòn… Loại Sensor pH pH pH Màng Sensor Al2O3 Si3N4 Ta2O5 Khoảng đo (pH)...
- 29
- 385
- 0
Vật lý màng mỏng -Phương pháp đo tính chất màng quang
... máy quang phổ hai chùm tia Minh họa Ellipsomet Đo phân cực ellipsometry phương pháp đo quang nhạy để xác định đại lượng quang học: n, độ hấp thụ, số điện môi và độ dày màng Nguyên lý đo: ... hấp thụ Khi hạ nhiệt độ thì tính chất quang quang ban đầu chúng thiết lập lại Sự biến đổi nhiệt – quang xảy cách thuận nghịch Vật liệu nhiệt sắc: VO2 VO2/W Màng nhiệt sắc Gọi Tc nhiệt độ ... NỘI DUNG Các đặc trưng quang Máy quang phổ UV/Vis Máy đo ellipsomet Màng mỏng nhiệt sắc Các đặc trưng quang Hệ số phản xạ R(λ): R( ) IR ( ) I0 ( ) Io IT IR...
- 14
- 309
- 0
Vật lý màng mỏng -Phương pháp phân tích màng hóa
... -Khó phân tích vật liệu cách điện -Mẫu phải -Bề mặt mẫu bị hỏng chùm điện tử chiếu tới -Độ nhạy vừa phải Ưu điểm: _ Độ phân giải không gian cao _ Phân tích tương đối nhanh _Có thể phân tích bề ... mẫu) Nhược điểm: - Quét ảnh diện tích hẹp (tối đa 150μ ốc độ ả ậ ỏ ề ặ ẫ ố PHƯƠNG PHÁP PHÂN TÍCH THÀNH PHẦN HÓA HỌC, CẤU TRÚC,TRẠNG THÁI LIÊN KẾT HÓA HỌC CỦA MÀNG PHỔ KẾ ĐIỆN TỬ AUGER (AES) Hiệu ... nhẹ (Z≥3) _Phân tích định lượng tốt _Cho thông tin hóa học giá trị ( ăn mòn, oxi hóa ) PHỔ KẾ QUANG ĐIỆN TỬ TIA X (XPS) Nguyên lý hoạt động: ♦ Chùm tia X có lượng cỡ 1keV bắn lên màng mỏng c điệ...
- 16
- 231
- 0
Vật lý màng mỏng -Phương pháp phún xạ
... giải hấp vật lý phản xạ ÷ 10 eV: làm hư hại bề mặt di chuyển bề mặt 10 ÷ 30 eV: phún xạ > 30 eV: cấy ion Các loại phương pháp phún xạ Phún xạ DC Phún xạ RF Phún xạ phản ứng Phún xạ magnetron ... điện trở thấp nên điện trường cao vùng Các loại phún xạ Phún xạ diod Phún xạ phản ứng Ion plating ion plating phản ứng Phún xạ magnetron phún xạ chùm ion Nguyên tử vào trạng thái khí Ở target: ... frbwrthes@gmail.com Phún xạ Trong phún xạ, lượng chuyển từ ion tới đến nguyên tử target, phá liên kết nguyên tử, bứt nguyên tử khỏi target Tại sử dụng phương pháp phún xạ? Phún xạ có độ đồng điều...
- 81
- 395
- 1
BÀI THỰC TẬP 1, lớp cao hoc vật lý điện tử K20 - TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP BỐC BAY CHÂN KHÔNG
... số phương pháp tạo màng lắng đọng vật lý (PVD) Một số phương pháp tạo màng lắng đọng vật lý (PVD): - Phương pháp bốc bay • Bay trực tiếp chân không: cung cấp lượng cho vật liệu để chuyển vật ... bốc bay chùm điện tử nhược điểm lớn nguồn bốc bay nhiệt điện trở ? Hãy giải thích rõ điều Ưu điểm lớn nguồn bốc bay chùm điện tử nhược điểm lớn nguồn bốc bay nhiệt điện trở là: nguồn bốc bay ... nhôm bốc bay Bài thực tập TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC I Tóm tắt lý thuyết Định nghĩa tượng phún xạ Phún xạ tượng nguyên tử bề mặt vật liệu bị bị bắn phá ion có lượng cao Sơ...
- 13
- 612
- 0
Nghiên cứu màng mỏng La0.7 Sr0.3 MnO3 kích thước nanô mét chế tạo bằng phương pháp bốc bay xung laser
... công màng mỏng La0.7Sr0. 3MnO3 phơng pháp bốc bay xung laser + Nghiên cứu ảnh hởng điều kiện chế tạo lên tính chất từ trở màng mỏng La0.7Sr0. 3MnO3 + Nghiên cứu hiệu ứng từ trở từ trờng thấp màng mỏng ... khí 2.1.2 Chế tạo màng mỏng La0.7Sr0. 3MnO3 phơng pháp bốc bay xung laser (Pulsed Laser Deposition - PLD) Phơng pháp bốc bay xung laser phơng pháp có nhiều u điểm cho việc chế tạo màng mỏng ôxit ... hớng nghiên cứu phòng thí nghiệm nên lựa chọn đề tài cho luận văn là: Nghiên cứu màng mỏng La0,7Sr0, 3MnO3 kích thớc nanô mét chế tạo phơng pháp bốc bay xung laser Mục tiêu luận văn: + Chế tạo...
- 67
- 676
- 0
Vật lý màng mỏng -Tạo màng bằng phương pháp Sogel
... Các phương pháp phủ màng Sol – gel 1, Phương pháp phủ nhúng (dip – coating) 2, Phương pháp phủ quay (spin – coating) 3, Phương pháp phủ phun phủ dòng chảy 4, Q trình xử lý nhiệt VI Tạo màng phương ... coating Hình 10 phương pháp phủ thơng dụng phòng thí nghiệm Hình 1: Một số phương pháp phủ màng Sol–gel 1, Phương pháp phủ nhúng (dip – coating): Đây phương pháp đựơc dùng nhiều mơn Vật lý ứng dụng ... Các phương pháp phủ màng Sol – gel: Điều kiện tiên q trình phủ màng Sol–gel là: phòng thí nghiệm phải sạch, dung dịch phủ màng lọc đế thuỷ tinh số thiết bị phải rửa Một số phương pháp phủ màng...
- 25
- 322
- 1
Vật lý màng mỏng -Tính chất của màng mỏng Pb(Zr,Ti)O3 được chế tạo bằng phương pháp lắng tụ hơi hóa học hữu cơ kim loại dùng hệ thống cung cấp rắn
... Các màng mỏng PZT lắng tụ thành công cách dùng MOCVD hệ thống cung cấp rắn, chế tự điều chỉnh xuất để hoạt động để giữ tỉ lượng thành phần màng, tỉ số đầu vào tiền chất nhiệt độ đế 620oC Màng lắng ... điện tính chất bề mặt chuyển tiếp khác Trong nghiên cứu này, tập trung vào chế tự điều chỉnh lắng tụ màng mỏng PZT cách dùng hệ cung cấp rắn xác định đặc tuyến dòng rò tụ điện màng mỏng Pt/PZT/Pt ... lập tiền chất hữu - kim loại Pb(DPM)2, Zr(DPM) 4, Ti(OiPr) 2(DPM)2 dùng tiền chất nguồn Pb, Zr Ti tương ứng Ar tạp chất cao (300sccm) dùng khí tải tiền chất hữu kim loại Khí O2 tạp chất cao (1000sccm)...
- 9
- 351
- 0
Vật lý màng mỏng -Các phương pháp chế tạo màng cơ
...
- 18
- 429
- 0
Vật lý màng mỏng -Các phương pháp chế tạo màng
... CÁC PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO MÀNG Phương pháp ngưng tụ vật lý (PVD) Phương pháp ngưng tụ hóa học (CVD) Physical Vapor Deposition Chemical Vapor Deposition Các hạt vật liệu ngưng tụ đế → Màng ... lượng, vật liệu cần phủ màng bị hóa Một chất khí đưa vào (precursor) Với tác nhân cung cấp lượng, vật liệu cần phủ màng bị hóa HAI PHƯƠNG PHÁP PVD PHỔ BIẾN Phương pháp bốc bay chân không Phương ... nằm phương pháp tuyến với mẫu đơn vị thời gian Ni: số hạt nằm phương hợp với phương pháp tuyến góc αi Ưu điểm & hạn chế p.p bốc bay nhiệt điện trở ƯU ĐIỂM Đơn giản Rẻ tiền Kh ôn g HẠN CHẾ Vật...
- 32
- 1,039
- 2
Vật lý màng mỏng -Chế tạo màng Nitric Coban bằng kĩ thuật bốc bay xung laser phản ứng
... kĩ thuật bốc bay m àng mỏng từ thay Một công nghệ chế tạo màng mỏng vật liệu từ đầy hứa hẹn xuất kĩ thuật bốc bay xung laser ( PLD ) PLD đ ược sử dụng để bốc bay nhiều vật liệu khác kim loại, ... nghệ PLD cho công nghiệp chậm Mục đích báo chứng tỏ PLD kỹ thuật đáng tin cậy cho việc bốc bay màng từ nitric Để hoàn thành mục tiêu này, màng mỏng Nitric Cobal cần chuẩn bị cách ăn mòn bia Co ... giống kỹ thuật phún xạ , PLD không phụ thuộc vào từ trường để bốc bay màng mỏng, thuận lợi cho trình tạo màng [4] Trong thời gian gần đây, người ta thấy PLD phương pháp ưa thích việc sản xuất màng...
- 9
- 351
- 0
Vật lý màng mỏng - Các phương pháp đo tính chất màng nhiệt
... điểm màng bán dẫn pha tạp có vùng bước sóng phản xạ rộng ( >800 nm) bền màng kim loại cơ, nhiệt hóa học Phương pháp xác định tính chất màng Hệ đo ảnh AFM chụp ảnh bề mặt vật liệu Bề dày màng ... qua màng (AZO) TS = 160oC, P = 3.1 0-3 torr, khoảng cách x = 2,5 cm Chiết suất màng oxít mỏng ảnh hưởng thành phần nguyên tố, sai hỏng, tạp pha vào màng, tinh thể màng hay loại liên kết Phương pháp ... phân cực ánh sáng sau phản xạ bề mặt vật liệu bị thay đổi tuỳ theo tính chất quang vật liệu vật liệu có chiều dày khác SƠ ĐỒ HỆ ĐO UV-VIS _ Chiều dày d màng mỏng xác định biết thay đổi trạng thái...
- 13
- 345
- 0
PHƯƠNG PHÁP BỐC BAY VÀ PHÚN XẠ - Bài 1 TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC
... dày phương pháp tốc độ bay bốc khó điều khiển Đồng thời, việc chế tạo màng đa lớp khó khăn với phương pháp Phương pháp phún xạ: Hình - Quá trình phún xạ Cơ chế phương pháp phún xạ: Phún xạ không ... Ít tốn nguyên liệu phún xạ ta điều chỉnh dòng phún xạ Bài 2: TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP BỐC BAY CHÂN KHÔNG I LÝ THUYẾT: Định nghĩa: Bốc bay chân không phương pháp tạo màng lắng đọng vật lý ... độ dày màng mỏng phún xạ ( nêu rõ ảnh hưởng nào? ) Trả lời: - Độ dày màng mỏng phún xạ liện quan đến hiệu suất trình phún xạ - Hiệu suất trình phún xạ = NA/Ni Với: NA tổng nguyên tử phún xạ Ni...
- 15
- 2,361
- 2
Từ khóa: tổng hợp các dạng bài tập vật lý 12 và phương pháp giảiday vật lý thcs bang phuong phap ban tay nan bộtlưu trữ dữ liệu vật lý và các phương pháp truy xuấthướng dẫn học sinh giải bài tập vật lý 12 bằng phương pháp tương tựbáo cáo thực tập địa vật lý với 4 phương pháp chính pp từ pp điện pp phóng xạ pp trọng lựcphương pháp bốc baychế tạo dây thanh nano zno bằng phương pháp bốc bay nhiệt đơn giảngiải pháp xử lý đất yếu bằng cọc xi măng đất phương pháp tính toán cao học xây dựnglý luận và phương pháp dạy học vật lýtrinh bay quy luat co ban cua phep bien chung duy vat va y nghia phuong phap luanphân tích tính cách mạng của phép biện chứng duy vật và ý nghĩa phương pháptom tat ly thuyet va phuong phap giai bai tap vat li 12 tap 12 nguyen ly bien chung duy vat va y nghia phuong phap luanxử lý ctnh bằng phương pháp biến đổi vật lý hoá họccơ sở lý thuyết của phương pháp sắc ký bản mỏngNghiên cứu sự biến đổi một số cytokin ở bệnh nhân xơ cứng bì hệ thốngNghiên cứu vật liệu biến hóa (metamaterials) hấp thụ sóng điện tử ở vùng tần số THzNghiên cứu tổ chức chạy tàu hàng cố định theo thời gian trên đường sắt việt namđề thi thử THPTQG 2019 toán THPT chuyên thái bình lần 2 có lời giảiGiáo án Sinh học 11 bài 13: Thực hành phát hiện diệp lục và carôtenôitGiáo án Sinh học 11 bài 13: Thực hành phát hiện diệp lục và carôtenôitQuản lý hoạt động học tập của học sinh theo hướng phát triển kỹ năng học tập hợp tác tại các trường phổ thông dân tộc bán trú huyện ba chẽ, tỉnh quảng ninhTìm hiểu công cụ đánh giá hệ thống đảm bảo an toàn hệ thống thông tinThơ nôm tứ tuyệt trào phúng hồ xuân hươngThiết kế và chế tạo mô hình biến tần (inverter) cho máy điều hòa không khíSở hữu ruộng đất và kinh tế nông nghiệp châu ôn (lạng sơn) nửa đầu thế kỷ XIXTổ chức và hoạt động của Phòng Tư pháp từ thực tiễn tỉnh Phú Thọ (Luận văn thạc sĩ)Tranh tụng tại phiên tòa hình sự sơ thẩm theo pháp luật tố tụng hình sự Việt Nam từ thực tiễn xét xử của các Tòa án quân sự Quân khu (Luận văn thạc sĩ)Giáo án Sinh học 11 bài 14: Thực hành phát hiện hô hấp ở thực vậtGiáo án Sinh học 11 bài 14: Thực hành phát hiện hô hấp ở thực vậtChiến lược marketing tại ngân hàng Agribank chi nhánh Sài Gòn từ 2013-2015Đổi mới quản lý tài chính trong hoạt động khoa học xã hội trường hợp viện hàn lâm khoa học xã hội việt namMÔN TRUYỀN THÔNG MARKETING TÍCH HỢPTÁI CHẾ NHỰA VÀ QUẢN LÝ CHẤT THẢI Ở HOA KỲQUẢN LÝ VÀ TÁI CHẾ NHỰA Ở HOA KỲ