Vật lý màng mỏng -Phương pháp bốc bay

... hình thành nên màng Lắng đọng vật lý (PVD) Chuyển Pha khí Pha khí Ngưng tụ Bốc bay Pha ngưng tụ Pha ngưng tụ (lỏng rắn) (rắn) PVD  PVD types are:  Bốc bay  Nhiệt bốc bay  Bốc bay chùm điện ... Nguồn bốc bay nhiệt chùm điện tử Tính chất bốc bay chùm điện tử Phức tạp bốc bay nhiệt đa Có thể đạt nhiệt độ 3000oC Sử dụng nồi bốc bay với đáy Cu Tốc độ lắng...

Ngày tải lên: 15/08/2015, 09:24

... cách sử dụng kĩ thuật 1987 – PLD thành công việc chế tạo màng mỏng siêu dẫn nhiệt độ Cuối thập niên 80 – PLD kĩ thuật tiếng việc chế tạo màng mỏng ý đến nhiều 1990’s – phát triển nhanh chóng ... trúc màng Giai đoạn có tác dụng làm bay hết dung môi lại màng, vật chất kết nối với chặc chẽ hình thành nên biên hạt làm ảnh hưởng đến vi cấu trúc màng Đối với màng nhạy khí c...

Ngày tải lên: 15/08/2015, 09:24

... máy quang phổ hai chùm tia Minh họa Ellipsomet Đo phân cực ellipsometry phương pháp đo quang nhạy để xác định đại lượng quang học: n, độ hấp thụ, số điện môi và độ dày màng Nguyên lý đo: ... hấp thụ Khi hạ nhiệt độ thì tính chất quang quang ban đầu chúng thiết lập lại Sự biến đổi nhiệt – quang xảy cách thuận nghịch Vật liệu nhiệt sắc: VO2 VO2/W Màng nhiệ...

Ngày tải lên: 15/08/2015, 09:24

... -Khó phân tích vật liệu cách điện -Mẫu phải -Bề mặt mẫu bị hỏng chùm điện tử chiếu tới -Độ nhạy vừa phải Ưu điểm: _ Độ phân giải không gian cao _ Phân tích tương đối nhanh _Có thể phân tích bề ... mẫu) Nhược điểm: - Quét ảnh diện tích hẹp (tối đa 150μ ốc độ ả ậ ỏ ề ặ ẫ ố PHƯƠNG PHÁP PHÂN TÍCH THÀNH PHẦN HÓA HỌC, CẤU TRÚC,TRẠNG THÁI LIÊN KẾT HÓA HỌC CỦA MÀNG PHỔ KẾ ĐIỆN TỬ AU...

Ngày tải lên: 15/08/2015, 09:24

... giải hấp vật lý phản xạ ÷ 10 eV: làm hư hại bề mặt di chuyển bề mặt 10 ÷ 30 eV: phún xạ > 30 eV: cấy ion Các loại phương pháp phún xạ  Phún xạ DC  Phún xạ RF  Phún xạ phản ứng  Phún xạ magnetron ... điện trở thấp nên điện trường cao vùng Các loại phún xạ Phún xạ diod Phún xạ phản ứng Ion plating ion plating phản ứng Phún xạ magnetron phún...

Ngày tải lên: 15/08/2015, 09:24

... số phương pháp tạo màng lắng đọng vật lý (PVD) Một số phương pháp tạo màng lắng đọng vật lý (PVD): - Phương pháp bốc bay • Bay trực tiếp chân không: cung cấp lượng cho vật liệu để chuyển vật ... bốc bay chùm điện tử nhược điểm lớn nguồn bốc bay nhiệt điện trở ? Hãy giải thích rõ điều Ưu điểm lớn nguồn bốc bay chùm điện tử nhượ...

Ngày tải lên: 27/05/2015, 15:37

... công màng mỏng La0.7Sr0. 3MnO3 phơng pháp bốc bay xung laser + Nghiên cứu ảnh hởng điều kiện chế tạo lên tính chất từ trở màng mỏng La0.7Sr0. 3MnO3 + Nghiên cứu hiệu ứng từ trở từ trờng thấp màng mỏng ... khí 2.1.2 Chế tạo màng mỏng La0.7Sr0. 3MnO3 phơng pháp bốc bay xung laser (Pulsed Laser Deposition - PLD) Phơng pháp bốc bay x...

Ngày tải lên: 25/03/2015, 11:56

... Các phương pháp phủ màng Sol – gel 1, Phương pháp phủ nhúng (dip – coating) 2, Phương pháp phủ quay (spin – coating) 3, Phương pháp phủ phun phủ dòng chảy 4, Q trình xử lý nhiệt VI Tạo màng phương ... coating Hình 10 phương pháp phủ thơng dụng phòng thí nghiệm Hình 1: Một số phương pháp phủ màng Sol–gel 1, Phương pháp phủ nhúng (dip – coating): Đây phươ...

Ngày tải lên: 15/08/2015, 09:24

... Các màng mỏng PZT lắng tụ thành công cách dùng MOCVD hệ thống cung cấp rắn, chế tự điều chỉnh xuất để hoạt động để giữ tỉ lượng thành phần màng, tỉ số đầu vào tiền chất nhiệt độ đế 620oC Màng lắng ... điện tính chất bề mặt chuyển tiếp khác Trong nghiên cứu này, tập trung vào chế tự điều chỉnh lắng tụ màng mỏng PZT cách dùng hệ cung cấp rắn xác...

Ngày tải lên: 15/08/2015, 09:24

Ngày tải lên: 15/08/2015, 09:24

... CÁC PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO MÀNG Phương pháp ngưng tụ vật lý (PVD) Phương pháp ngưng tụ hóa học (CVD) Physical Vapor Deposition Chemical Vapor Deposition  Các hạt vật liệu ngưng tụ đế → Màng  ... lượng, vật liệu cần phủ màng bị hóa  Một chất khí đưa vào (precursor)  Với tác nhân cung cấp lượng, vật liệu cần phủ màng bị hóa  HAI PHƯƠNG PHÁP PVD PHỔ BIẾN Phương pháp...

Ngày tải lên: 15/08/2015, 09:24

... kĩ thuật bốc bay m àng mỏng từ thay Một công nghệ chế tạo màng mỏng vật liệu từ đầy hứa hẹn xuất kĩ thuật bốc bay xung laser ( PLD ) PLD đ ược sử dụng để bốc bay nhiều vật liệu khác kim loại, ... nghệ PLD cho công nghiệp chậm Mục đích báo chứng tỏ PLD kỹ thuật đáng tin cậy cho việc bốc bay màng từ nitric Để hoàn thành mục tiêu này, màng mỏng...

Ngày tải lên: 15/08/2015, 09:24

... điểm màng bán dẫn pha tạp có vùng bước sóng phản xạ rộng ( >800 nm) bền màng kim loại cơ, nhiệt hóa học Phương pháp xác định tính chất màng Hệ đo ảnh AFM chụp ảnh bề mặt vật liệu Bề dày màng ... qua màng (AZO) TS = 160oC, P = 3.1 0-3 torr, khoảng cách x = 2,5 cm Chiết suất màng oxít mỏng ảnh hưởng thành phần nguyên tố, sai hỏng, tạp pha vào màng, tinh thể màng...

Ngày tải lên: 15/08/2015, 09:24

... dày phương pháp tốc độ bay bốc khó điều khiển Đồng thời, việc chế tạo màng đa lớp khó khăn với phương pháp Phương pháp phún xạ: Hình - Quá trình phún xạ Cơ chế phương pháp phún xạ: Phún xạ không ...  Ít tốn nguyên liệu phún xạ ta điều chỉnh dòng phún xạ Bài 2: TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP BỐC BAY CHÂN KHÔNG I LÝ THUYẾT: Định nghĩa:  Bốc...

Ngày tải lên: 27/05/2015, 22:29