... nghiên cứu tính chất của màng CrN được tổng hợp bằng các phương pháp khác nhau. Trong đó, phương pháp phún xạ mạ ion (SIP) được xem là phương pháp hữu hiệu nhất để tạo màng CrN vì có thể điều kiển ... 13 TỔNG HỢP MÀNG CỨNG CrN BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MẠ ION (SIP) Đinh Thị Mộng Cầm, Nguyễn Hữu Chí, Lê Khắc Bình, Trần Tuấn, Nguyễn Thị Hải Yến, Trần Quang Trung Trường Đại học Khoa học Tự ... tốt, mật độ màng cao. Mục tiêu của công trình này là tổng hợp màng CrN bằng phương pháp phún xạ mạ ion, sau đó khảo sát cấu trúc tinh thể, độ bám dính, ứng suất và độ bền hoá học của màng theo...