... và đo khối lợng đã đợc thiết kế và chế tạo thành công. Trong công nghệ này, chúng tôi chỉ sử dụng thiết bị quang khắc một mặt, vật liệu bảo vệ trong xử lí ăn mòn là ô-xít silic SiO2 chế tạo ... của công nghệ vi cơ, công nghệ này đã đợc ứng dụng để chế tạo các cấu trúc và các bộ cảm biến ứng dụng trong nhiều lĩnh vực khác nhau nh trong công nghiệp, kỹ thuật, y tế, quân sự, Trong những ... khai và thành công trong một số loại cảm biến nhờ công nghệ này. Trên cơ sở chế tạo thành công cảm biến áp suất với cấu trúc cơ bản là một màng phẳng, một mẫu cảm biến mới với một tâm cứng...