spectroscopy EDX hay EDS)[1,6]
Phương pháp tán xạ năng lượng tia X (EDX hay EDS) chủ yếu được thực hiện trong các kính hiển vi điện tử. Ở đó, ảnh vi cấu trúc vật rắn được ghi lại thông qua việc sử dụng chùm điện tử có năng lượng cao tương tác với vật rắn. Khi chùm điện tử có năng lượng lớn được chiếu vào vật rắn, nó sẽ đâm xuyên sâu vào nguyên tử vật rắn và tương tác với các lớp điện tử bên trong của nguyên tử. Tương tác này
26
dẫn đến việc tạo ra các tia X có bước sóng đặc trưng tỉ lệ với nguyên tử số (Z) của nguyên tử theo định luật Mosley:
4 2 15 2 3 2 0 3 ( 1) (2.48 10 )( 1) 8 4 e e m q f v Z Hz Z h (2.4)
Điều đó có nghĩa là, tần số tia X phát ra là đặc trưng với nguyên tử của mỗi chất có mặt trong chất rắn. Việc ghi nhận phổ tia X phát ra từ vật rắn sẽ cho thông tin về các nguyên tố hóa học có mặt trong mẫu đồng thời cho các thông tin về tỉ phần các nguyên tố này.
Có nhiều thiết bị phân tích EDX nhưng EDX chủ yếu được phát triển trong các kính hiển vi điện tử, ở đó các phép phân tích được thực hiện nhờ các chùm điện tử có năng lượng cao và được thu hẹp nhờ hệ các thấu kính điện từ. Phổ tia X phát ra sẽ có tần số (năng lượng photon tia X) trải trong một vùng rộng và được phân tích nhờ phổ kế EDX, do đó ghi nhận thông tin về các nguyên tố cũng như thành phần. Kỹ thuật EDX được phát triển từ những năm 1960 và thiết bị thương phẩm xuất hiện vào đầu những năm 1970 với việc sử dụng detector dịch chuyển Si, Li hoặc Ge.
Luận văn nghiên cứu mẫu vật liệu bằng phương pháp phân tích EDX trên máy SEM-JEOL-JSM 5410LV của Nhật Bản tại Bộ môn Vật lý chất rắn – Khoa Vật lý – trường Đại học Khoa học Tự nhiên – ĐHQGHN, với chế độ chụp: 0Pa, 10kV, khoảng cách làm việc 8-19 mm, độ phóng đại tối đa x 200.000 lần.