Kết quả chụp ảnh chụp kính hiển vi điện tử quét ZnO 6 lớp không pha tạp (hình 3.4) và màng ZnO:Al với hàm lượng pha tạp Al 2% (hình) sau khi ủ nhiệt trong không khí ở 5000C không cho thấy sự khác biệt hình thái bề mặt màng.
Hình 3.4 : Ảnh SEM mẫu 0-1-6 (X 50000)
Hình 3.6 : Ảnh SEM mẫu 2-1-6 ( X 80000)
Hình 3.8 :Ảnh SEM mẫu 2-2-6 (X 100000)
Trong quá trình chế tạo màng, chúng tôi chọn chế độ nung mẫu sau mỗi lần tráng phủ là 450oC để bay hơi dung môi và phân huỷ hoàn toàn các hợp chất hữu cơ theo tham khảo các công trình [7], [8], [9]. Nhiệt độ ủ nhiệt được chọn 500oC vì các màng được tráng phủ trên đế thuỷ tinh. Ở nhiệt độ cao hơn 530oC, các nguyên tử kim loại kiềm có trong đế thuỷ tinh sẽ khuếch tán vào màng làm ảnh hưởng đến cấu trúc và tính chất của màng. Chúng ta có thể nhận thấy các hạt ZnO:Al sau khi phân huỷ hợp chất hữu cơ có hoạt tính rất lớn nên dễ dàng liên kết với nhau và hình thành màng ZnO:Al có cấu trúc xít chặt. Như vậy, việc chọn nhiệt độ ủ nhiệt 500oC trong 1 giờ là hợp lý cho quá trình kết tinh và hình thành màng, khử được các sai hỏng. Kích thước các hạt lớn và đồng đều làm tăng độ dẫn điện của màng do giảm sự tán xạ của hạt tải tại các biên hạt và sai hỏng trong tinh thể, làm tăng độ linh động của hạt tải [8].
Kết hợp với kết quả phân tích XRD (hình 3.2 và 3.3) với ảnh SEM (hình 3.6 và 3.8) ta thấy quá trình ủ nhiệt lần 2 trong chân không không thấy sự tái kết tập xảy ra do đó không ảnh hưởng lớn đến kích thước hạt và hình thái bế mặt
gần như không đổi . Kích thước hạt lớn khoảng 50-60 nm, khá đồng đều các hạt gắn kết tốt vào nhau. Cấu trúc màng có độ xếp chặt cao,có kích thước nhỏ. Điều đó chứng tỏ màng có độ đồng đều cao.