Trong quá trình làm thực nghiệm ,chúng tôi đã tạo được màng có độ trong suốt cao (T>80%) nhưng độ dẫn điện thấp do ủ nhiệt trong không khí (sẽ giải thích lý do chương 3) .Để cải thiện tính dẫn điện của màng ,chúng tôi nung mẫu trong môi trường chân không.
Hình 2.13: Hệ thống nung mẫu trong môi trường chân không được chế tạo trong quá trình thực hiện đề tài
Các mẫu trong đề tài được ký hiệu như sau :x-y-z Trong đó :
- x: hàm lượng pha tạp Al (% nguyên tử): từ 0 đến 8%.
- y: sau khi ủ nhiệt (1: ủ nhiệt lần 1 trong không khí, 2: ủ nhiệt lần 2 trong chân không): 1 và 2.
- z: số lần lặp lại quá trình tráng quay (số lớp) :từ 3 đến 6 Các mẫu chế tạo được liệt kê theo các bảng sau :
Ký hiệu mẫu % Al Ủ nhiệt Số lớp 0-1-6 0 1 6 1-1-6 1 1 6 2-1-6 2 1 6 4-1-6 4 1 6 6-1-6 6 1 6 0-2-6 0 2 6 1-2-6 1 2 6 2-2-6 2 2 6 4-2-6 4 2 6 6-2-6 6 2 6
Từ kết quả khảo sát tính chất quang, điện của các mẫu màng theo các nồng độ pha tạp Al khác nhau, chúng tôi chọn ra mẫu chứa hàm lượng Al có độ dẫn điện tốt nhất và độ truyền qua cao nhất và để tiến hành khảo sát ảnh hưởng của các thông số công nghệ đến tính chất màng.
Hình 2.14 : Các mẫu màng trước khi ủ nhiệt trong chân không ( x-1-6) và các mẫu sau khi ủ nhiệt trong chân không (x-2-6)