M Ở ĐẦU
3.3. Cấu trúc thành phần thông qua phân tích phổ tán xạ năng lượng
Sử dụng phương pháp phân tích phổ phân tán năng lượng (EDS) một số mẫu WO3/TiO2/ITO đã được phân tích thành phần cấu tạo tại các điểm khác nhau kí hiệu là “Spectrum” (hình 3.7).
Hình 3.7. Ảnh SEM của màng WO3/TiO2/ITO dày chế tạo bằng phương pháp lắng đọng điện hóa tại điện thế -3.5V/SCE trong thời
gian 900 giây
Kết quả phân tích trên một mẫu với thời gian lắng đọng 900 giây được trình bày trên bảng 3.1. Từ kết quả này nhận thấy, ngoài các nguyên tố cấu thành các lớp màng ITO, WO3, TiO2, vẫn tồn tại tạp chất không mong muốn là cac-bon (C). Điều tương tự này cũng nhận thấy trong phân tích ITO trước đây [9], chứng tỏ C đã tồn tại sẵn trong ITO. Vì phương pháp EDS được thực hiện ngay trên bề mặt mẫu, nên thành phần nguyên tử của các lớp nằm dưới (như ITO) không phản ánh đúng thực chất cấu tạo của một hỗn hợp các ôxit. Tuy nhiên, một cách định tính, có thể xem xét sự khác nhau chính giữa các thành phần W, Ti và O.
Bảng 3.1. Số liệu thành phần các nguyên tố có mặt trong mẫu WO3/TiO2 (900 giây) Vị trí đo C O Ti In Sn W Total Spectrum 1 5.02 32.98 20.12 1.02 0.37 40.49 100.00 Spectrum 2 6.20 32.88 12.58 0.66 0.19 47.50 100.00 Spectrum 3 5.50 29.95 19.49 1.58 0.67 42.80 100.00 Spectrum 4 5.60 26.89 5.82 0.86 0.25 60.58 100.00 Spectrum 5 8.16 33.77 8.48 0.47 0 49.12 100.00 Spectrum 6 0 35.13 10.36 0.74 0.16 53.61 100.00 Spectrum 7 5.39 29.43 20.59 1.13 0.47 42.99 100.00 Spectrum 8 6.52 31.56 6.67 0.40 0.07 54.79 100.00
Kết quả phân tích cho thấy, màng đa lớp WO3/TiO2/ITO có thành phần các nguyên tố phân bố theo chiều sâu (từ bề mặt vào trong đế ITO) như sau: phía trên cùng hầu hết là WO3, ở phía dưới cùng hầu hết là TiO2
và ITO; ở một số chỗ có sự thay thế Ti bằng W, cho nên thành phần nguyên tử Ti giảm và W tăng.