Mục tiêu của màng làm điện cực phải là trong suốt dẫn điện. Để tăng độ trong suốt và dẫn điện của màng SnO2 ta thêm chất phụ pha tạp vào là tạp chất F-. Hoá chất sử dụng là muối SnCl4.5H2O hoà tan trong dung môi là cồn tuyệt đối và pha tạp thêm dung dịch NH4F + HF (1g NH4F + 2ml HF). Ở đây, sự có mặt của Flo có tác dụng làm giảm điện trở và tăng độ trong suốt cho màng điện cực.
Sau đó hỗn hợp được phun lên đế nóng từ một thiết bị phun trượt trong điều kiện áp suất thường. Không khí được sử dụng làm khí phun.
Hình 3.3. Sơ đồ máy phun nhiệt phân dung dịch
Các ký hiệu trên hình là:
1. Lò gia nhiệt có quán tính nhiệt thấp. 2. Mô tơ.
4. Giá đỡ ống phun dung dịch.
5. Khóa điện hồng ngoại (dùng để đóng mở van khí).
6. Khóa điện dưới dùng để đóng mở nguồn điện nuôi mô tơ. 7. Khóa điện trên dùng để đóng mở nguồn điện nuôi mô tơ. 8. Sợi dây
Màng điện cực trong suốt SnO2: F được chế tạo với các thông số sau : + Nhiệt độ phun : T = 380- 400oC
+ Áp suất luồng khí phun : P = 0.375 Kgf/cm2 + Tần số phun: 46 lần/ 1 phút.
+ Thời gian phun : t = 30 phút.
+ Dung dịch phun được pha theo tỷ lệ như sau:
1g SnCl4.5H2O + 10ml C2H5OH + 0.056 ml dd NH4F + HF
Các màng sau khi phun có độ đồng đều cao (thể hiện qua màu sắc hình ảnh giao thoa ánh sáng bề mặt), độ truyền qua T ≥ 80% với điện trở sơ bộ đo được là 10Ω - 20Ω/□. Đây là điện trở và độ tuyền qua phù hợp để khảo sát các tính chất quang điện của màng CuInS2.
Ta có công thức tính điện trở của vật dẫn điện :
R =
S l
Trong đó là điện trở suất, l là chiều dài của mẫu, S là diện tích của tiết diện cho dòng điện đi qua.
Nếu cho chiều rộng và chiều dài của mẫu bằng nhau ta có khái niệm điện trở vuông thuận tiện cho việc nghiên cứu màng mỏng.
R□ = d l l = d (Ω/□).
Với d là độ dày màng.