Đây là phương pháp đang được dùng tại phòng thí nghiệm vật lý ứng dụng. Bản chất của nó là quá trình nhiệt phân bụi dung dịch lỏng trên đế nóng do luồng áp suất cao tạo ra. Do đó để sử dụng được phương pháp này thì vật liệu tạo màng phải được hòa tan vào trong dung môi. Sau đó dung dịch được đưa vào trong thiết bị phun phân tán dung dịch. Dưới áp suất của luồng khí, dung dịch sẽ được tán thành các hạt nhỏ và được luồng khí cuốn theo đưa tới bề mặt đế. Tại bề mặt đế, tùy vào từng quy trình, tính chất của vật liệu chế tạo mà lò đốt sẽ cấp nhiệt để các quá trình phản ứng hình thành màng diễn ra theo mong muốn. Luồng khí nén ngoài tác dụng mang vật liệu tới đế, nó còn có các quá trình tương tác với đế và vật liệu cả về mặt cơ học lẫn vật lý. Nó kiểm soát lượng vật liệu, kích thước hạt bụi trong luồng khí phun đồng thời làm giảm quá trình tăng nhiệt của đế. Do đó, việc chọn áp suất, tần số phun là rất quan trọng khi chế tạo vật liệu bằng phương pháp này. Với việc kiểm soát áp suất và tần số phun, ta có thể ổn định nhiệt độ tạo màng, tránh những sốc nhiệt làm ảnh hưởng đến cấu trúc và tính chất của vật liệu.
Phương pháp phun nhiệt phân dung dịch các muối kim loại trên đế nóng có các ưu điểm là: khả năng cho phép tạo được các màng mỏng có độ dày tùy ý mà các phương pháp khác khó có thể làm được; có thể pha tạp dễ dàng với nồng độ pha tạp
tuỳ ý, có thể tạo màng nanocomposite một cách đơn giản bằng hỗn hợp dung dịch với các muối của các kim loại khác nhau. Kích thước hạt có thể điều khiển một cách tương đối bằng điều khiển nồng độ dung dịch và áp lực của luồng hơi cũng như nhiệt độ đế tạo màng. Một ưu điểm nữa của phương pháp này là có thể ứng dụng rộng rãi trong chế tạo công nghiệp cũng như việc sản xuất thương mại và dân dụng.
Các thông số cơ bản của hệ tạo mẫu có tác dụng quy định phẩm chất của vật liệu là:
- Nhiệt độ đế và độ ổn định nhiệt độ. - Áp suất hơi.
- Tần số phun dung dịch.
Tất cả các thông số này phải đạt được trạng thái tối ưu và được kiểm soát chặt chẽ.
CHƢƠNG 2. THIẾT BỊ, HÓA CHẤT THỰC NGHIỆM VÀ PHƢƠNG PHÁP KHẢO SÁT