3.2.2 .Oxy hóa nhi t
3.3.4.Các giai n ca quá trình quang kh c
3.3. Quang kh c
3.3.4.Các giai n ca quá trình quang kh c
Hình 3.25. S quá trình quang kh c a. Chu n b b m t - Tách t p ch t trên b m t bán d n. Ph ng pháp: + Th i khí nit có áp su t cao + V sinh b ng hóa ch t + Dịng n c có áp su t cao + Dùng c r a - S y tách m: Trên b m t các bán d n th ng có m do ó c n ph i lo i b ng cách gia nhi t kho ng 150~200oC
- Ph l p n tích s c p: làm t ng kh n ng k t dính gi a bán d n và m quang. n tích s c p th ng s d ng là HMDS (hexamethyldislazane)
b. Ph l p c m quang
giai n này n n c quay trên máy quay trong môi tr ng chân không. Các thơng s ki m sốt trong giai n này:
+ T c 3000-6000 vòng/phút + Th i gian quay: 15-30 giây + dày l p ph : 0.5-15µm
Cơng th c th c nghi m tính dày l p ph c m quang
w kp t
2
=
i k: h ng s c a thi t b quay spinner (80-100) p: hàm l ng ch t r n trong ch t c m quang (%) w: t c quay c a máy quay (vịng/1000)
Hình 3.26. Quá trình ph c m quang
Các s c th ng g p trong quá trình ph l p photoresist:
c Nguyên nhân ng kh c ph c
Xu t hi n các ng c
Do trong resist có các h t
n có ng kính l n
n dày l p ph .
Dày ng biên ng s c trên b m t Hình 3.27. Các s c th ng g p khi ph c m quang
c. S y s b
c ích: làm bay h i dung mơi có trong photoresist. Trong q trình y dày l p ph s gi m kho ng 25%. Ph ng pháp th c hi n:
- Dùng lò i l u nhi t. u ki n: Nhi t : 90-100oC, th i gian: 20 phút - Dùng t m gia nhi t: Nhi t : 75-85oC, th i gian: 45 giây
- Dùng sóng viba và èn h ng ngo i.
d. Chi u ánh sáng (chuy n hình nh t m t n lên c m quang)
Trong giai n này, h s c chi u ánh sáng chuy n hình nh lên n, m t n c t gi a h th u kính và n n.
Có 3 ph ng pháp chi u d a vào v trí t m t n : - t n ti p xúc
- t n t cách photoresist kho ng cách nh
Hình 3.28. Các ph ng pháp chi u sáng So sánh 3 ph ng pháp: Ph ng pháp u m Khuy t m t n ti p xúc Giá c h p lí phân gi i cao: 0.5 µm Làm h m t n do l p oxit trên m t n b x t. Các v t b n trên m t n s in lên phototresit t n t cách photoresist kho ng cách nh Giá c h p lí phân gi i th p: 1-2µm Do nh h ng c a nhi u x nên h n ch chính xác c a hình nh. l p l i c a hình nh kém t n t cách xa phân gi i r t cao: < 0.07 Giá thành cao
e. Tráng r a: Dùng hóa ch t tách các c m quang ch a óng r n.
f. y khơ: Làm cho c m quang c ng hoàn toàn, ng th i tách tồn b dung
mơi ra kh i c m quang. u ki n s y:
- Nhi t : 49-54oC - Th i gian: 30 phút (adsbygoogle = window.adsbygoogle || []).push({});
g. n mòn
h. T y b c m quang: bán d n c r a và s y khô. Dùng dung d ch
ki m ho c khí hịa tan c m quang. Dùng hóa ch t tách c m quang:
- S d ng hóa ch t nóng hịa tan c m quang
- Các hóa ch t th ng s dùng: acid sulfuric, acid phosphoric và hydrogen peroxide
- u m: tách c m quang nhanh
- Nh c m: giá thành hóa ch t cao, tác ng n môi tr ng Ph ng pháp khơ (dùng khí):
- Ph ng pháp này khơng c h i do s d ng khí oxy plasma oxy hóa hồn tồn c m quang nên cịn c g i là tro hóa c m quang. L ng khí
o thành s c tách b ng b m chân không. CxHy (c m quang) + O2→ CO + CO2 + H2O