Chương 2 THỰC NGHIỆM
2.2. CÁC PHƯƠNG PHÁP NGHIÊN CỨU ĐẶC TRƯNG CẤU TRÚC VẬT
2.2.2 phổ tán xạ năng lượng ti aX (EDX)
EDX là một phương pháp được sử dụng rộng rãi trong khoa học vật liệu để xác định thành phần hóa học của vật liệu rắn dựa vào việc ghi lại phổ tia X phát ra từ vật liệu rắn do tương tác với các bức xạ (chùm điện tử có năng lượng cao trong kính hiển vi điện tử).
Nguyên lý của phép phân tích EDX: Khi chùm điện tử có năng lượng lớn được chiếu vào vật rắn, nó sẽ đâm xuyên sâu vào nguyên tử vật liệu rắn và tương tác với các lớp điện tử bên trong của nguyên tử. Tương tác này dẫn đến việc tạo ra các tia X có bước sóng đặc trưng tỷ lệ với nguyên tử số (Z) của nguyên tử theo định luật Moseley:
Có nghĩa là, tần số tia X phát ra là đặc trưng với nguyên tử của mỗi chất có mặt trong chất rắn. Việc ghi nhận phổ tia X phát ra từ vật rắn sẽ cho thơng tin về các ngun tố hóa học có mặt trong mẫu đồng thời cho các thông tin về tỉ phần các nguyên tố này.
Độ chính xác của EDX ở cấp độ một vài phần trăm (thông thường ghi nhận được sự có mặt của các nguyên tố có tỉ phần cỡ 3-5% trở lên). Tuy nhiên, EDX tỏ ra không hiệu quả với các nguyên tố nhẹ (ví dụ B, C...) và thường xuất hiện hiệu ứng trồng chập các đỉnh tia X của các nguyên tố khác nhau (một nguyên tố thường phát ra nhiều đỉnh đặc trưng Kα, Kβ..., và các đỉnh của các nguyên tố khác nhau có thể chồng chập lên nhau gây khó khăn cho phân tích).
Hình 2.2. Ngun lý của phép phân tích EDX
Thực nghiệm: Phổ tán xạ năng lượng tia X được đo trên máy JEOL- JSM tại Viện Khoa học vật liệu, Viện Hàn lâm Khoa học-Công nghệ Việt Nam. Hạt nhân nguyên tử Điện tử bắn ra ngoài Kích thích bên ngồi Chiếu xạ nl